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FEMAG晶体生长专业模拟软件--仿真结果图片


FEMAG晶体生长专业模拟软件
仿真结果图片整理

FEMAG软件概况
? FEMAG软件是世界上第一款商业的材料晶体生长数值模拟软件,由比利时 新鲁汶大学教授Dr. Fran?ois Dupret于20世纪80年代中期领导开发。 ? Dr. Fran?ois Dupret是第二届晶体生长模型国际研讨会主席、EUROTHERM相 变热力学研讨会联合主席、机械工程学位委员会主席,曾担任国际晶体生 长(Journal of Crystal Growth)期刊主编。

? FEMAG软件拥有国际上最先进、最高效、最全面的晶体生长工艺模拟技术 和多物理场耦合仿真功能,可模拟的晶体生长工艺包括提拉法(柴氏法,Cz 法)、泡生法(Ky法)、区熔法(FZ法)、坩埚下降法(垂直布里兹曼法, VB法)、物理气相传输法(PVT法)等,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、 半导体、蓝宝石等领域。ON Semiconductor(安森美半导体)、美国Kayex、 Siltronic(世创电子材料)、AXT(美国晶体技术集团)、韩国Nexolon、LG、 韩国汉阳大学、Norut(挪威北方研究所)、日本SUMCO集团、Gritek(有 研新材料)、天津环欧半导体材料、中环股份、北京有色金属研究总院、 清华大学等企业和科研机构,均是FEMAG软件的用户。

FEMAG软件产品
目前,FEMAG软件包括以下六款产品: ?FEMAG/CZ——FEMAG提拉法晶体生长模拟软件 ?FEMAG CZ/OX——FEMAG提拉/泡生法晶体生长模拟软件 ?FEMAG/FZ——FEMAG区熔法晶体生长模拟软件 ?FEMAG/DS——FEMAG三维定向凝固模拟软件 ?FEMAG/VB——FEMAG VB/VGF法晶体生长模拟软件 ?FEMAG/PVT——FEMAG物理气相传输法晶体生长模拟软 件

应用领域
FEMAG软件已在以下行业中得到了广泛的应用: ?半导体用单晶硅生产与研发 ?太阳能光伏用单晶硅、多晶硅锭生产与研发 ?集成电路级单晶硅生产与研发 ?航空发动机涡轮叶片单晶高温合金生产与研发 ?LED光电技术用氧化物晶体和蓝宝石晶体生产与研发 ?晶体生长熔炉设计与生产

FEMAG-CZ软件
FEMAG直拉法模拟软件(FEMAG-CZ)用于模拟直拉法工艺(包括Cz, MCz, VCz,泡生法)。 FEMAG-CZ直拉法模拟软件用于新的热场设计,并研发新的方法以满足新 的商业需求点,比如:
?大直径晶锭生长 ?无缺陷硅晶锭生长 ?提高成品率 ?氧含量控制 ?降低碳含量 ?晶锭半径和沿轴向的电阻率差异减小 ?CCZ工艺仿真 ?磁场设计 ?蓝宝石生长工艺设计

FEMAG-CZ直拉法模拟软件

FEMAG 3D 熔体流动模拟结果

FEMAG动态模拟

直拉法晶体生长中的填隙原子和空 位的动态预测

直拉法晶体硅生长中的OSF (氧化诱生层错)预测

直拉法晶体生长的三维应力分布

硅晶体直拉法生长氧含量预测

直拉法硅晶体生长硼浓度 分布预测

连续提拉法(CCZ)温度预测

连续提拉法(CCZ)熔体自由表面上部 的氩气流场分布

在横向磁场作用下的三维熔体流动

在横向磁场作用下的三维等温线分布

FEMAG-FZ软件
FEMAG区熔法软件(FEMAG-FZ)用于模拟区熔法 生长工艺 (FZ, PFZ) FEMAG区熔法软件专注于设计新的热场,并研发 新的方法以满足新的商业需求点,比如: ?无缺陷晶锭生长 ?提高成品率 ?节省R&D成本

FEMAG-FZ区熔法模拟软件

区熔法工艺的等温线预测

FEMAG预测区熔法生长晶体缺陷

模拟晶体转速对熔体流动的影响

FEMAG-DS软件
FEMAG定向凝固模拟软件(FEMAG-DS)适用于铸锭定向 凝固过程工艺(DS, HEM, VB, VGF) FEMAG定向凝固模拟软件用于设计新的热场,并研发新的 方法以满足新的商业需求点,比如: ?晶体微结构 ?优化 ?扩大生产规模

定向凝固工艺中的三维熔体流动,速 度剖面和界面预测

定向凝固铸锭炉

定向凝固工艺等温线和界面形状的二 维仿真图

为晶粒生长研究所进行的定向凝固速 度分布预测

参考
?所有仿真图片来自http://www.femagsoft.com ?文字的翻译原文来自http://www.femagsoft.com

?更多内容欢迎访问百度文辑: FEMAG Introduction(FEMAG晶体生长模拟软件介 绍资料和参考论文) http://wenku.baidu.com/album/view/6ccfca371066 1ed9ad51f3e6


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