当前位置:首页 >> 信息与通信 >>

keithley产品


致力于

不断创新
这本吉时利 2004 版全系列产品 目录, 令您能够在很短时间内对测试 行业中最完整, 最先进的产品有一个 初步的了解。 同时这本目录中的测试 仪器亦是吉时利公司解决测试测量问 题 57 年来宝贵经验之结晶。

我 们 的 网站 , 做 为 一 个内 容广 泛的 测试 与测 量 信 息资 源平 台 ,除 了 选型 指南 与 技术 介绍 外 , 您还可浏览到应用指南,技术白皮书,在线的网 络研讨会,下载驱动与相关软件,查看产品的技 术指标,说明书以及提交您的订货需求等信息。

2004 年 产 品 目 录 主 要是 概 括 了世 界 上 最 灵 敏,准确度最高的测试仪器。 还 提 供 了 方 便 用 户 使 用的选型指南以 及详细的技术介 绍,以便帮助用 户快速, 有效地做出选择。 您 还 可 以 通 过 浏 览 我 们 的网站: www.keithley.com.cn, 取 最 新 和 更 详 细 的 获 资讯。 我们将竭诚为用户提供满意的服务。 设立的全球化的营销体系, 吉时利 技术专家队伍将为您

提供最好的技术支持,让您获得满足您需要的产 品。 我 们 的 销 售 工 程 师 结 合 我 们 的 电 话 营 销 人 员 与在线服务,将为您提供全天候,全球化的服务 与 支 持 。 吉 时 利拥 有成 功 的经 验与 合 格的 团队 , 帮助您完成重要的测量工作。

请 即 联 系我 们, 我 们 将 协助 您与 贵公 司抓 住 新出现的机遇,并从中获益而不断发展!

Joseph P.Keithley 董事长、总裁和首席执行官

www.keithley.com.cn
2
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

吉时利的承诺是让每位客户满意
吉 时 利 仪 器 公 司 已 经 拥 有 遍 布 全 球 的 产 品 服 务 网 络 和 应 用 支 持 机 构, 积 累 了 长 期 的 全 球 范 围 的 客 户 服 务 经 验。 种 让 用 户 满 意 的 承 诺 将 保证 您 无 论 遇 这 到 任 何 问 题 都 能 得 到 及 时 的、 貌 的 协 助, 您 只 需 要 打 个 电 话。 礼 而 吉时 利 的 应 用 部 门 致 力 于 帮 助 用 户 解决 他 们 在 测 试 中 遇 到 的 问 题, 论 是 无 售 前 还 是 售 后。 们 的 应 用 工 程 师 们 时 刻 准 备 帮 助 我 们 的 用 户 应 对 他 们 的 测 试 我 挑 战, 论是 制 造商 还是 工 作 在 实 验 室环 境 的 科 研 人 员。 用工 程 师们 将在 每 不 应 个 工 作 日 为 您 解 决 测 试 问 题, 们 的 工 作不 仅 仅 是 简 单 地 回 答 客 户 提 出 的 问 题, 他 而 是 实 实 在 在 帮 助 用 户 解 决 测 量 问 题。 用 工 程 师 的 工 作 包 括 应 :
● ● ● ●

目录
数字多用表, 数据采集 / 开关系统.................4 - 21 程控开关与控制........................22 - 30 射频/微波开关及测试.............. 31 - 39 快速响应电源...........................38 - 40 电流 / 电压源和测量仪器.....................41 - 50 光电测试..................................51 - 55 半导体参数测试系统................56 - 61 弱电流 / 高阻测量仪器...........................62 - 69 低电压 /

协 助 设计 测 试 系 统 解 释 与 仪器指 标 相关的 测 量 要 求 仪器操 作 示 范 解 决 仪器 和 测 量 系统 的 问 题

如 果 您 希 望 在 购 买 之 前 评 估 一 下 我 们 的 仪 器, 您 与 就 近 的 办 请 事 处/代 表 处 联 系,以 获 取 免 费 的 产 品 演 示。 美 国 吉 时 利 仪 器 公 司 帮 助 您 应 对 测 试 与 测 量 中 的 挑 战, 与 下 列 办 事 除 处 / 代 表 处 联 系 外,也 欢 迎 拔 打 全 国 免 费 服 务 电 话:800-810-1334 。 北京办事处 地址:北京市朝阳区德胜门外马甸裕民路12 号 E1 座元辰鑫大厦705 室 邮编:100029 电话:010-82254887/82251886 传真:010-82251892 上海代表处 地址:上海市延安中路 841 号东方海外大厦 1206 室 邮编:200040 电话:021-62898246/62894910 传真:021-62899335 深圳代表处 地址:深圳市深南中路 2 号新闻大厦 11 楼 14 室 邮编:518027 电话:0755-82090093/82090095 传真:0755-82090087 E-mail: shenzhen@keithley.com E-mail: shanghai@keithley.com E-mail: china@keithley.com

低阻测量仪器...........................70 - 74 PCI总线数据采集板卡..............75 - 78 维修信息.........................................79 客户满意承诺................................80

此样本仅提供了吉时利测试测量解决方案的常用部分。 欲了解吉时利的所有产品请 联系上列办事处 / 代表处,索阅完整的2004 测试与测量产品样本(英文版和CD) 。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

3

数 字 多 用 表,数 据 采 集 / 开 关 系 统
技术介绍:数字多用表
数字多用表( Digital Multimeters,简称 DMM) 用于将模拟信号转换为数字信息。 一般来 讲,数字多用表最少应有这5 种功能,即直流电 压、交流电压、直流电流、交流电流和电阻。虽 然技术指标各不相同, 但大多数数字表都具有图 1 的结构框图。

模数转换
模数转换器(A/D Converter )作为数字表 的核心部分, 实现将模拟信号转换为数字信号的 功能, 直接影响仪器的关键特性, 如读数速率、 线 性、分辨率、串模抑制比和精度。数字信号可用 于前面板显示测量结果,或者通过接口(GPIB、 RS-232 或 Ethernet)传输给计算机作进一步的 分析处理。

图 1:数字多用表框图

分辨率
分辨率(Resolution)定义为最小可检测到 的信号变化量与满量程之比。例如,一台仪表满 量程时显示为19,999, 而其最小可检测到的变化 为± 1 个末位字,那么分辨率则为1/19999 或 0. 005%。 分辨率也经常表述为一个整数加一个分数的 形式,如5 1/2(五位半) 。整数表示能显示0-9 全 部数字的位数, 分数表示最高位能显示一个或多 个非零数字,如 0,1,2。

图 2:5 1/2 与 6 1/2 数字多用表的准确度曲线图

灵敏度
灵敏度(Sensitivity)与分辨率相似,也表 示仪器可检测到最小的输入信号变化量。 不同的 是,灵敏度不与满量程相比较,表示为某功能最 小量程下的最小变化量(有单位) 。例如,一台7 1/2 数字表,最小量程为 200mV ,其灵敏度为 10nV。

± 1?C、± 5?C 工作环境温度,24 小时、90 天或 1年的校准周期。 准确度可以通过控制环境温度和 选择更短的校准周期来改善。 图2示例了一个准确 度的变化曲线,一条线表示5 1/2 数字表,另一条 表示6 1/2 数字表,准确度表达式都是±(0.1%+ 1 个字) 。

2 线与 4 线电阻
2 线电阻测量时,数字表电流源的测试电流 也流过测试引线,而引线接入数字表的HI-LO 输 入端。这种方法在大多数电阻测量时结果良好。 然而其问题是流过测试引线(RL)产生的电压降 会引入测量误差,尤其对低阻测量时。 (图 5) 4 线电阻测量 (也称Kelvin法) ,引入另外两 条线 (Sense 端) 直接将被测电阻RX 接入数字表 内高输入阻抗的电压测量端。由于高输入阻抗, Sense 引线(等效电阻 RL)中流过的电流极小, 产生的电压降可忽略不计, 通过Sense端测得的 电压就是RX 上的电压。 因此4线法对低阻可精确 测量。

负载影响与输入阻抗
负载影响指由于输入阻抗不是无限大而对被 测电路造成的干扰。 输入阻抗指数字表输入端的 等效电阻和电容。 负载误差(图3)指数字表实际测量得到的 电压(VM)与理想情况下的电压(VS)之差。 输入端电压降误差(图 4)指由于数字表输入端 电压降不为零导致的实测电流(IM)与理想情况 下流过 RL 的电流(IS)之差。

准确度
准确度(Accuracy)表示为两部分,±(读 数的%+量程的%)或(读数的 ppm +量程的 ppm) 由计算公式可见, 。 在某一量程内越接近零 的地方, 与量程相关部分的贡献对准确度的影响 越大。而接近满量程的地方,读数项对准确度的 影响会越大。在接近满量程附近准确度应最佳。 一般来说,准确度与这些条件有关,包括

www.keithley.com.cn
4
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

数字多用表,数据采集 / 开关系统

图 3:负载误差

图 4:输入端电压降误差

速度与建立时间
每一台表都有一个与其输入电路相关的建立 时间。 仪表的读数速率或称测量速度与建立时间 是独立的。对高精度的数字表,有时必须等一定 的输入信号建立时间才能达到满精度。 有几种参数影响测量速度,包括积分速率 (N P L C ) ,滤波设置,量程设置,自动校零 (AutoZero) ,触发延迟与显示设置。要想达到最 快的速度,设置如下: 积分速率(NPLC)= 0.01 滤波=关闭    量程=固定(不用自动量程)    自动校零(AutoZero)=关闭    触发延迟= 0.0    显示=关闭 请注意,最快速度时准确度并不是最高的。 NMRR = 20 log

峰值测量偏差 串模干扰峰值

共模抑制比 (简称CMRR)指仪表对加在输 入 HI 和 LO 端共模信号的抑制能力。这项指标一 般是用一个 1K Ω的不平衡电阻加在一个输入端 上测量所得, 更大的不平衡电阻会引起CMRR变 坏。CMRR 用 dB 表示(类似NMRR) ,分为DC, 50Hz 或 60Hz。CMRR 影响直流与交流测量,一 般为一偏置误差。

过载保护
这是一个电气牢固与可靠性的指标, 以保护 仪表在可能遭遇到的供电高压时的安全。 一般情 况下对高电压易敏感的是最低的量程如电压 (100mV)和电阻。与过载保护相似的是最大共 模电压,指 LO 或 COMMON 端能安全承受到大 地的最大电压。输入端总是应该接最低阻抗。

图 5:2 线与 4 线电阻测量

串模与共模抑制比
串模干扰指干扰信号直接串接到输入信号 中。 最主要的串模干扰来自市电频率和其谐波信 号。串模抑制比(简称 NMRR)表示为 dB,对 应频率为50Hz或60Hz。 串模干扰大小为噪声峰 值或直流信号上的偏差量。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

5

数字多用表,数据采集 / 开关系统
数字多用表选型指南
型号
分辨率 扩展通道数

2000
6? 10
12

2010
7? 10
12

2001
7? 10
12

2002
81?2 10

直流电压
灵敏度 最大读数 基本准确度 比例测量 直流峰值测量 100 nV 1000 V 0.002% 10 nV 1000 V 0.0018% ? 10 nV 1100 V 0.0018% 加选件 ? 1 nV 1100 V 0.0006% 加选件 ?

交流电压(TRMS)
灵敏度 最大读数 基本准确度 带宽 dB,dBm 频率,周期 峰值 / 平均数 / 有效值 AC, AC + DC 总谐波失真,谐波 频谱峰值 8Vrms 正弦波信号源 19Vrms 正弦波信号源 100 nV 750 V 0.05% 3 Hz–300 kHz ? ? 100 nV 750 V 0.05% 3 Hz–300 kHz ? ? 100 nV 775 V (1100 V pk) 0.03% 1 Hz–2 MHz ? ? ? ? 100 nV 775 V (1100 V pk) 0.02% 1 Hz–2 MHz ? ? ? ?

电阻(2/4 线)
灵敏度 最大读数 基本准确度 连续测试 二极管测试 偏置补偿 干电路 恒流源 开路检测 100 ?? 120 M? 0.008% ? ? 1 ?? 120 M? 0.0032% ? ? ? ? ? 1 ?? 1 G? 0.0032% ? ? ? 100 n? 1 G? 0.0007% ? ? ? ?

?

直流电流
灵敏度 量程 基本准确度 在线电流 10 nA 10 mA–3 A 0.03% 1 nA 10 mA–3 A 0.03% 10 pA 200 ?A–2 A 0.03% ? 10 pA 200 ?A–2 A 0.027% ?

交流电流(TRMS)
灵敏度 量程 基本准确度 带宽 1 ?A 1 A–3 A 0.1% 3 Hz–5 kHz 1 ?A 1 A–3 A 0.1% 3 Hz–5 kHz 100 pA 200 ?A–2A 0.1% 20 Hz–100 kHz 100 pA 200 ?A–2A 0.1% 20 Hz–100 kHz

一般特性
接口 读数保持 数字 I/O 读数内存 最高速度 温度测量 仿真语言 GPIB, RS-232 ? 1024 rdg. 2000 rdg/s TC 8840/42, 196/199 GPIB, RS-232 ? 1024 rdg. 2000 rdg/s TC, RTD 196/199 GPIB ? 加选件可达 30,000 2000 rdg/s TC, RTD GPIB ? 加选件可达 30,000 2000 rdg/s TC, RTD HP 3458

www.keithley.com.cn
6
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

数字多用表,数据采集 / 开关系统

型号
分辨率 扩展通道数

2015, 2015-P
6?
12

2016, 2016-P
6?
12

2700
6? 80
12

2701
6? 80
12

2750
61?2 200

直流电压
灵敏度 最大读数 基本准确度 比例测量 直流峰值测量 100 nV 1000 V 0.002% 100 nV 1000 V 0.002% 100 nV 1000 V 0.002% 与多通道卡配合 100 nV 1000 V 0.002% 与多通道卡配合 100 nV 1000 V 0.002% 与多通道卡配合

交流电压(TRMS)
灵敏度 最大读数 基本准确度 带宽 dB,dBm 频率,周期 峰值 / 平均数 / 有效值 AC, AC + DC 总谐波失真,谐波 频谱峰值 8Vrms 正弦波信号源 19Vrms 正弦波信号源 100 nV 750 V 0.05% 3 Hz–300 kHz ? ? 100 nV 750 V 0.05% 3 Hz–300 kHz ? ? 100 nV 750 V 0.06% 3 Hz–300 kHz ? 100 nV 750 V 0.06% 3 Hz–300 kHz ? 100 nV 750 V 0.06% 3 Hz–300 kHz ?

? ? (2015-P) ?

? ? (2016-P) ?

电阻(2/4 线)
灵敏度 最大读数 基本准确度 连续测试 二极管测试 偏置补偿 干电路 恒流源 开路检测 100 ?? 120 M? 0.008% ? ? ? 100 ?? 120 M? 0.008% ? ? ? ? ? ? ? ? ? 100 ?? 120 M? 0.008% ? 100 ?? 120 M? 0.008% ? 1 ?? 120 M? 0.008% ?

直流电流
灵敏度 量程 基本准确度 在线电流 10 nA 10 mA–3 A 0.03% 10 nA 10 mA–3 A 0.03% 10 nA 20 mA–3 A 0.03% 10 nA 20 mA–3 A 0.03% 10 nA 20 mA–3 A 0.03%

交流电流(TRMS)
灵敏度 量程 基本准确度 带宽 1 ?A 1 A–3 A 0.1% 3 Hz–5 kHz 1 ?A 1 A–3 A 0.1% 3 Hz–5 kHz 1 ?A 1 A–3 A 0.15% 3 Hz–5 kHz 1 ?A 1 A–3 A 0.16% 3 Hz–5 kHz 1 ?A 1 A–3 A 0.15% 3 Hz–5 kHz

一般特性
接口 读数保持 数字 I/O 读数内存 最高速度 温度测量 仿真语言 GPIB, RS-232 ? 2 in/5 out (TTL) 1024 rdg. 2000 rdg/s T/C 8840/42, 196/199 GPIB, RS-232 ? 2 in/5 out (TTL) 1024 rdg. 2000 rdg/s T/C 196/199 GPIB, RS-232 ? 2 in/5 out (TTL) 55,000 rdg. 2000 rdg/s T/C, RTD, Thermistor Ethernet, RS-232 ? 450,000 rdg. 3500 rdg/s T/C, RTD, Thermistor HP 3458 GPIB, RS-232

110,000 rdg. 2500 rdg/s T/C, RTD, Thermistor

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

7

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2000 型数字多用表
● ● ● ● ●

13 种内置测量功能 在 41/2 时可达 2000 读数 / 秒 多种扫描卡选件,支持多点测试 IEEE-488 和 RS-232 接口 与 Fluke 8840/42 命令兼容

2000型61/2 数字多用表是一款快速、 精确和高可靠性的仪器, 并且易学易用,价格实惠。它具有很宽的测量量程和很高的精度- DC 电压从 100nV 到 1kV(90 天基本准确度为 0.002%) ,DC 电阻 从 100 ?? 到 100M?(90 天基本准确度为 0.008%) 。2000 表提供了出色的测量速度,在六位半时通过 IEEE - 488 总线 可达到 50 个读数 / 秒,在41/2 时最快可以达到 2000 读数 / 秒,存储在内部的1024 个读数的缓存器中,是快速测量的极 佳选择。2000 表有 13 种测量功能,包 括直流电压 / 电流、交流电压 / 电流、2 线 /4 线电阻、频率 / 周期、dB/dBm,及 温度、导通、二极管测量功能。

2001 / 2002 型高性能数字表
● ● ● ● ● ●

真 71 / 2 (2001 型)或 8 1 /2 (2002 型)分辨率 丰富的测试功能 动态范围宽,速度快 可选配多通道扫描卡 / 测温卡 IEEE - 488.2 接口,支持 SCPI 2002 可仿真 HP3458A 命令

吉时利 71/2 数字表 2001 和 81/2 数字表 2002 不只是能够完成 常规的数字表可以完成的功能, 还可以提供常规数字表以外的更广 泛的功能。 他们的高分辨率提供了宽的动态范围, 使其可以在一个 1 量程内测量从 1?V 到 20V 的信号。在 4 /2 时,2001 和 2002 都可 达到 2000 读数 / 秒,这对要求快速和多功能测量的应用是非常关键的。在71/2 时,2002 表测 DC 电压和电阻时,满精度时 速度可达到 44 读数每秒。2002 表采用了独特的单步 4 线欧姆测试方法,速度比给定的电源周期还快一倍。这也消除了使用 快速测试夹具导致引线电阻改变带来的误差。 内置的引线开路检测电路也可以消除很多产品测试方面的问题。 专利的电路设 计使 2001 和 2002 的交流测试比其他同类产品精度高几倍,好于0.1% 的精度可延伸到 1Hz。

www.keithley.com.cn
8
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2000 型数字表指标
直流电压
测试条件:MED(1PLC)1 或SLOW(10PLC) 或MED(1PLC) (带滤波器10) 功能 电压 量程 100.0000 1.000000 10.00000 100.0000 1000.000 100.0000 1.000000 10.00000 100.0000 1.000000 10.00000 100.0000 10.00000 100.0000 1.000000 3.00000 分辨率 0.1 ?V 1.0 ?V 10 ?V 100 ?V 1 mV 100 ?? 1 m? 10 m? 100 m? 1 ? 10 ? 100 ? 10 nA 100 nA 1 ?A 10 ?A 100 m? 10 ?V 10 ?V 10 ?V 测试电流或 输入端压降 输入电阻 > 10 G? > 10 G? > 10 G? 10 M? ±1% 10 M? ±1% 准确度:±(读数的ppm+量程的ppm) (例如:10ppm=0.001%) 24小时 14 90天 1年 23 oC ± 1 o 23 oC ± 5 o 23 oC ± 5 o 30 + 30 40 + 35 50 + 35 15 + 6 25 + 7 30 + 7 15 + 4 20 + 5 30 + 5 15 + 6 30 + 6 45 + 6 20 + 6 35 + 6 45 + 6 30 + 30 80 + 40 100 + 40 20 + 6 80 + 10 100 + 10 20 + 6 80 + 10 100 + 10 20 + 6 80 + 10 100 + 10 20 + 6 80 + 10 100 + 10 150 + 6 200 + 10 400 + 10 800 + 30 1500 + 30 1500 + 30 60 + 30 300 + 80 500 + 80 100 + 300 300 + 800 500 + 800 200 + 30 500 + 80 800 + 80 1000 + 15 1200 + 40 1200 + 40 40 + 100 20 + 6 20 + 6 20 + 6 100 + 100 30 + 7 30 + 7 30 + 7 120 + 100 40 + 7 40 + 7 40 + 7

电阻 15

电流

mV V V V V9 ? k? k? k? M? M?11, 16 M?11, 16 mA mA A A

1 1 100 10 10 700 700 < 0.15 < 0.03 < 0.3 < 1

mA mA ?A ?A ?A nA// 10M? nA// 10M? V V V V

温度系数 0o-18oC 和28o-50oC 2+6 2+1 2+1 5+1 5+1 8+6 8+1 8+1 8+1 8+1 70 + 1 385 + 1 50 + 5 50 + 50 50 + 5 50 + 5 8+1 8+1 8+1 8+1

导通 2W 二极管测试

1 k? 3.00000 V 10.00000 V 10.00000 V

1 mA 1 mA 100 ?A 10 ?A

直流工作特性 2
功能 DCV ( 全程量), DCI ( 全程量), 及 2W 电阻(<10M 量程) 位数 61?2 3, 4 61?2 3, 7 61?2 3, 5 51?2 3, 5 51?2 5 51?2 5 41?2 5 读数 / 秒 5 30 50 270 500 1000 2000 PLCs 10 1 1 0.1 0.1 0.04 0.01
8

速度与噪声抑制比
积分时间 10 PLC 1 PLC 0.1 PLC 0.01 PLC 读数 / 秒 5 50 500 2000 位 数 61?2 61?2 51?2 41?2 有效值噪声 10V 量程 < 1.5 ?V < 4 ?V < 22 ?V < 150 ?V 串模抑制比 共模抑制比 NMRR12 CMRR13 60 dB 140 dB 60 dB 140 dB — 80 dB — 80 dB

直流系统速度 2, 6
量程改变 3: 50/s. 功能改变 3: 45/s. 自动量程时间 3, 10: <30ms. ASCII 读数至 RS-232(19.2K 波特率): 55/s. 最大内触发速率 : 2000/s. 最大外触发速率 : 400/s.

DC 说明
1. 根据量程,把下列准确度指标加到量程的ppm:1V 和 100V, 2ppm; 100mV, 15ppm; 100? 15ppm; <1M? 2ppm; 10mA和 1A, 2ppm; 100mA, 20ppm. 2. 速度是对 60Hz,使用出厂缺省设置(*RST).自动量程关,显示关,触发延迟 = 0. 3. 速度包括测量及二进制数据传输出GPIB. 4. 自动校零关闭. 5. 采样数 = 1024, 自动校零关闭. 6. 自动校零关闭, NPLC = 0.01. 7. 电阻 = 24 读数 / 秒. 8. 1 PLC = 16.67ms @ 60Hz, 20ms @ 50Hz/400Hz. 开机时自动检测频率 . 9. 信号>500V 时, 对于超过 500V 部分,加上 0.02ppm/V 误差. 10. 电阻加上 120ms . 11. Input HI 及 LO 的引线电阻,必须有10% 匹配. 12. 供电频率 ±0.1%. 13. 在 LO 引线中有 1k? 不平衡电阻. 14. 相对于校准准确度. 15. 指标适用于 4 线电阻,对 2 线电阻,加 1? 附加误差. 16. 后面板输入准确度指标,增加下列指标到温度系数“读数的 ppm” :10M? 70 ppm, 100M? 385 ppm. 工作 环境温度:0?C 到 50?C 相对湿度50% (@ 35?C).

一般特性
10VDC 量程线性: ±(读数 2ppm + 量程 1ppm). DCV, ,温度,导通,二 极管测试输入保护 : 1000V, 全量程. 最大 4W 引线电阻: 100? 及 1k? 量程:每引线 10% 量程 ; 其它量程:每引线 1k? . DC 电流输入保护 : 3A, 250V 保险丝. 分流电阻: 0.1? 对 3A, 1A 及 100mA 量程. 10 ? 对 10mA 量程. 导通测试阈值:1? 到 1000 ?. 自动校零关误差 : 加 ±(量程误差 2ppm + 5?V) 对 <10 分钟及 ±1°C 变化. 过量程: 除 1000V, 3A,二极管情况下,量程的 120% .

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

9

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2000 型数字表指标(续)
真有效值交流电压、电流
准确度 1:±(读数的%+量程的%),23 oC ± 5oC 电压量程 100.0000 mV 1.000000 V 10.00000 V 100.0000 V 750.000 V 分辨率 0.1 ?V 1.0 ?V 10 ?V 100 ?V 1 mV 校准周期 90 天 1年 温度系数 8 电流量程 1.000000 A 3.00000 A 分辨率 1 ?A 10 ?A 校准周期 90 天 /1 年 90 天 /1 年 温度系数 8 3Hz-10Hz 0.35 + 0.03 0.35 + 0.03 0.035 + 0.003 3Hz-10Hz 0.30 + 0.04 0.35 + 0.06 0.035 + 0.006 10Hz-20kHz 0.05 + 0.03 0.06 + 0.03 0.005 + 0.003 10Hz-5kHz 0.10 + 0.04 0.15 + 0.06 0.015 + 0.006 20kHz-50kHz 0.11 + 0.05 0.12 + 0.05 0.006 + 0.005 50kHz-100kHz 0.60 + 0.08 0.60 + 0.08 0.01 + 0.006 100kHz-300kHz 4 + 0.5 4 + 0.5 0.03 + 0.01

高波峰因数附加误差 ±(读数 % ) 7
波峰因数 : 附加误差 : 1–2 0.05 2–3 0.15 3–4 0.30 4–5 0.40

交流系统速度 2, 5
功能 / 量程改变 6: 4/ 秒. 自动量程时间 : <3 秒. ASCII 读数到 RS-232 (19.2K 波特率) 4: 50/ 秒. 最大内触发速率 4: 300/ 秒. 最大外触发速率 4: 260/ 秒.

交流工作特性 2
功能
ACV (全量程), 及 ACI ( 全量程)

位数
61/2 3 61/2 3 61/2 4 61/2 3 61/2 4

读数 / 秒
2s/ 读数 1.4 4.8 2.2 35

速率
SLOW MED MED FAST FAST

带宽
3 Hz-300 kHz 30 Hz-300 kHz 30 Hz-300 kHz 300 Hz-300 kHz 300 Hz-300 kHz

一般特性
输入阻抗: 1M? ±2% //<100pF. ACV 输入保护: 1000Vp. 最大 DCV: 任何 ACV 量程 400V. ACI 输入保护: 3A, 250V 保险丝. 输入端压降: 1A 量程: <0.3V rms. 3A 量程: <1V rms. 分流电阻: 0.1? 全 ACI 量程. AC CMRR: >70dB 在 LO 端引线电阻 1k? . 最大波峰因数: 在满量程时为 5 . VOLT HERTZ PRODUCT: ≤8 X 107 V·Hz. 过量程: 除 750V 及 3A,量程的 120%.

附加低频误差 ±(读数 % )
SLOW 20Hz — 30Hz — 50Hz — 100Hz — 200Hz — 30Hz 50Hz 100Hz 200Hz 300Hz > 300Hz 0 0 0 0 0 0 MED 0.3 0 0 0 0 0 FAST — — 1.0 0.18 0.10 0

AC 说明
1. 指标适合 SLOW 及正弦波 >5% 量程. 2. 速度是对 60Hz,使用出厂缺省设置(*RST).自动校零关闭,自动量程关闭,显示关闭,速度包括 测量及二进制数据传输出GPIB. 3. 0.01% 步进设置误差,触发延迟 = 400ms. 4. 触发延迟 = 0. 5. DETector: BANDwidth 300, NPLC = 0.01. 6. 触发延迟最大有用极限 = 175ms. 7. 适用于非正弦波>5Hz. 8. 适用于 0°–18°C 及 28°–50°C.

www.keithley.com.cn
10
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

数字多用表,数据采集 / 开关系统

触发和存储
读数保持准确度:读数 0.01%, 0.1%, 1%, 或者 10% . 触发延迟: 0 到 99 小时 (1ms 步进). 外触发延迟: 200?s + <300?s 抖动,自动校零关 , 触发延迟 = 0. 存储: 1024 读数.

温度特性
热电偶 2,3,4 温度类型 J K T 量 程 –200 to +760°C –200 to +1372°C –200 to +400°C 分辨率 0.001°C 0.001°C 0.001°C 9 天 /1 年(23°C ± 5°C) 准确度 1 相对于参考结 ±0.5°C ±0.5°C ±0.5°C

数学功能
相对,最小 / 最大 / 平均 / 标准差(对存储读数) ,dB,dBm,极限测试,%,及客户设定显示 单位 mX+b. DBM 参考电阻: 1 到 9999 ?(1? 步进) .

温度说明
1. 2. 3. 4. 温度 <–100°C, 加 ±0.1°C 及 >900°C 加 ±0.3°C. 温度能以 °C, K 或 °F 显示. 准确度基于 ITS-90. 不包括热电偶误差 .

标准编程语言
SCPI (可编程仪器的标准命令 )

程控接口
GPIB (IEEE-488.1, IEEE-488.2) 及 RS-232C.

频率与周期
交流电 压量程 100 mV 到 750 V 频率 量程 3 Hz 到 500 kHz 周期 量程 333ms 到 2 ?s 闸门 分辨率± ( 读 准确度(90 天 /1 年) ±(读数的%) 0.01 时间 数的 ppm) 1s (SLOW) 0.333

电源: 100V / 120V / 220V / 240V ±10%. 电源频率:45Hz to 66Hz, 上电自动检测 . 功耗: 22VA (Model 2000), 25VA (Models 2015, 2015-P, 2016). VOLT HERTZ PRODUCT: ≤8 X 107 V·Hz. 工作环境: 0°C 到 50°C. 80% 相对湿度(@ 35°C). 存储环境:-40°C 到 70°C. 保修期 :3 年. 安全: 遵照 73/23/EEC, EN 610110-1, UL 3111-1. EMC: 遵照 89/336/EEC, EN 55011, EN 50082-1, EN 61000-3-2, EN 61000-3-3, FCC part 15 class B. 预热: 1 小时. 体积 : 机架: 89mm 长 X 213mm 宽 X 370mm 高(31?2 in X 83?8 in X 14 9?16 in). 实验台 (含把手和底脚): 104mm 长 X 238mm 宽 X370mm 高(41?8 inX 93?8 in X149?16 in). 重量: 2000: 2.9kg (6.3 lbs.). 2015, 2015-P, 2016: 4.2kg (8.8 lbs). 交货重量: 5kg (11 lbs).

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

11

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2001 和 2002 主要指标
2001 主要指标
直流电压
量 程 200mV 2 V 20 V 200 V 1000 V 分辨率 10 nV 100 nV 1 ?V 10 ?V 100 ?V 准确度 ±(读数 ppm 输入电阻 + 量程 ppm)90 天 >10 G? 25 + 6 >10 G? 18 + 2 >10 G? 18 + 4 10 M? ±1% 27 + 3 10 M? ±1% 31 + 6

2002 主要指标
直流电压
量 程 200mV 2 V 20 V 200 V 1000 V 分辨率 1 nV 10 nV 100 nV 1 ?V 10 ?V 准确度 ±(读数 ppm 输入电阻 + 量程 ppm)90 天 >100 G? 15 + 8 >100 G? 6 + 0.8 >100 G? 6 + 0.15 10 M? ±1% 14 + 2 10 M? ±1% 14 + 0.4

电阻
量 程 20 ? 200 ? 2 k? 20k? 200k? 2M? 20M? 200M? 1G? 分辨率 1 ?? 10 ? ? 100 ?? 1 m? 10 m? 100 m? 1? 10 ? 100 ? 电流源 9.2 mA 0.98 mA 0.98 mA 89 ?A 7 ?A 770 nA 70 nA 4.4 nA 4.4 nA 准确度 ±(读数 ppm + 量程 ppm)90 天 52 + 7 36 + 7 33 + 4 32 + 4 72 + 4.5 110 + 4.5 560 + 4.5 10000 + 100 20000 + 100

电阻
量 程 20 ? 200 ? 2 k? 20 k? 200 k? 2 M? 20 M? 200 M? 1 G? 分辨率 100n? 1?? 10?? 100? ? 1m? 10m? 100m? 1? 10? 电流源 7.2 mA 960 ?A 960 ?A 96 ?A 9.6 ?A 1.9 ?A 1.4 ?A 1.4 ?A 1.4 ?A 准确度 ±(读数 ppm + 量程 ppm)90 天 15 + 6 15 + 4 7 + 0.4 7 + 0.4 29 + 0.8 53 + 0.5 175 + 0.6 500 + 3 2000 + 15

直流电流
量 程 200 ?A 2 mA 20 mA 200 mA 2 A 分辨率 10 pA 100 pA 1 nA 10 nA 100 nA 最大 输入端压降 0.25 V 0.31 V 0.4 V 0.5 V 1.5 V 准确度 ±(读数 ppm + 量程 ppm)90 天 300 + 25 300 + 20 300 + 20 300 + 20 600 + 20

直流电流
量 程 200 ?A 2 mA 20 mA 200 mA 2 A 分辨率 10 pA 100 pA 1 nA 10 nA 100 nA 最大 输入端压降 0.25 V 0.3 V 0.35 V 0.35 V 1.1 V 准确度 ±(读数 ppm + 量程 ppm)90 天 275 + 25 275 + 20 275 + 20 300 + 20 600 + 20

功率 电压: 90–134V 和 180–264V, 全球通用自适应. 频率: 50Hz, 60Hz, 或者 400Hz 自适应. 功耗: <55 VA. 环境 工作温度: 0° 到 50°C. 存储温度: –40° 到 +70°C. 湿度: 80% R.H., 0° 到 35°C. 高度: 4,500m (15,000 ft) 可工作; 12,000m (40,000 ft.) 不可工作 . 体积重量 体积: 90mm 长 X 214mm 宽 X 369mm 高 (3 1?2 in X 81?2 in X 141?2 in). 重量: 4.2kg (9.2 lbs). 标准 EMI/RFI: 遵照 VDE 0871B ( Vfg 1046/1984), IEC 801-2, FCC part 15 Class B, CISPR-22 (EN55022). 安全: 遵照 IEC348, CAN/CSC22.2 No. 231, MIL-T-28800E1.

频率计数器
量程: 1Hz–15MHz. 准确度: ±(读数 0.03% ).

DC 在线电流
量程: 100?A to 12A. 准确度: ±(5% + 2 字) 超过 2 年. 检验电阻: 典型值 1m? 到 10? .

温度
线性化 J, K, N, T, E, R, S, B 热电偶类型,遵照 ITS-90 和 100? 铂电阻标准. 请参考 2001 或 2002 技术数据手册,查阅更详细指标 .

www.keithley.com.cn
12
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2015 和 2016 全谐波失真多用表 2015 - P 和 2016 - P 音频分析多用表
● ● ● ● ● ● ● ● ●

THD,THD +噪声,和 SINAD 测量 带有 20Hz - 20kHz 正弦波信号发生器 快速频率扫描 2015 - P,2016 - P:支持频谱峰值检出功能 2015,2015 - P:4Vrms 单端或 8Vrms 差分输出 2016,2016 - P:9.5Vrms 单端或 19Vrms 差分输出 可检测单次谐波分量 5 个工业标准的音频滤波器 13 种数字多用表测试功能(六位半)
这些仪器结合了话音信号的质量测试和六位半数字表的所有功能。

测试工程师可以用他们进行宽范围的电压、 电阻、 电流、 频率和失真测 量,而所有这些都集成在一个半机架尺寸的仪器内。 2016 与 2016 - P 输出正弦波音频信号的幅度是2015 的 2 倍,可以满足大于 8Vrms 的 应用需求。2015 - P 与 2016 - P 为频谱分析提供了额外的测试能力,即频谱峰值检出功能。2015 - P, 2015,2016 - P 和 2016 在传统的时域仪器内采用先进的 DSP 技术,实现对元件、器件和系统的非线性 失真的评测。他们可以测量从20Hz 到 20kHz 音频范围的全谐波失真(THD) 。他们可测量宽范围的输入 信号(可达 750Vrms)和很低的残余失真(-87dB)的信号。除了全谐波失真(THD) ,2015-P,2015, 2016 - P 和 2016 还可以计算全谐波失真+噪声和信噪比加失真(SINAD)。

2010 低噪声数字多用表
● ● ● ● ● ● ●

71/2 数字表 极低的本底噪声 100nV 7ppm 基本 DC 电压准确度 可选内置扫描卡 干电路和低功率测量模式 15 种测量功能 内置比例测量功能
2010 低噪声数字多用表快速、精确,非常适合产品测试,比如精密传感器,变送器,A/D 和 D/A 转换器,整流器,基准源,连接

器,开关和继电器等。2010 支持 15 种测量功能,包括交直流电流 / 电压,2 线 /4 线电阻,干电路电阻,温度(热电偶或热电阻) ,频 率,周期,比例,导通测量和二极管测量等。2010 提供了一整套电阻特性的测量能力,如线性化和隔离度的测量,用于连接器、开关 或继电器等。这些功能包括一个低功率电阻测量,一个干电路测试,一种偏置补偿欧姆测量和一个扩展的电阻测量量程。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

13

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2000 系列数字表的选件-扫描卡
● ●



2000-SCAN - 10 通道扫描卡 2001-SCAN - 10 通道扫描卡, 带 2 个高速通道 2001-TCSCAN - 9 通道热电偶 测温卡

三种扫描卡可以用于2000、 2001、 2002和 2010 型数字表。只要在数字表的后面板插入适 合您应用需求的扫描卡, 即可创建满足应用要求 的多点测试测量系统,最多可以达到 10 个测试 点。 将扫描和测量功能集合在一起, 可以减少对 其他设备的依赖, 消除由触发时序和过程控制等 引入的复杂情况,有效地缩短测试时间。

www.keithley.com.cn
14
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2701 以太网式数据采集 / 开关系统

● ● ●

无论何地,使测量更容易,更经济 单机配置可达 80 个差分通道 可选 12 种不同的插入式开关 / 控制 模块

2701型以太网式数字多用表 /数据采集系统首次在一台 高度集成的系统中结合了以太网的资源和优势,进行远距离的 控制和采集。在最新科技的61/2 数字表,22 位 A/D 转换器的基 础上,2701 可与 PC 机内置的以太网接口直接相连。 2701型多用表可为工厂、 质量控制实验室和研发部门 提高产量,减少成本。它可以利用以太网的资源和优势,确保 在嘈杂的环境下远端遥控数据采集的稳定性。 插入不同的 77XX型开关 / 控制模块, 2701 可配置多达 80个差分通道。 每个通道都可以提供内置式信号调理、 300V隔 离,可分别设置到 14 项测量 / 控制功能的任何一项。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

15

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2700 和2750 数据采集 /开关系统


● ● ● ● ● ●



结合数字多用表、开关系统和记录仪的 多种功能 真 61/2 位精度(22-bit) 多种开关 / 控制模块可选 多达 200 路差分输入(300V 隔离) 便捷的前面板输入 TestPointTM 启动软件 LabVIEWTM, LabWindowsTM/CVI, Visual Basic, C/C++ 和 TestPoint 驱动程序 可选的 ExceLINX-1A 数据采集软件

2700 和 2750 结合了精密测量、程控开关和控制功能,集成在一个紧凑的机箱内, 可用于实验台或安装在机柜内。这些经济、高性能的测试平台可替代分立的数字表,开 关系统,数据记录仪,插卡式数据采集仪器和VXI/PXI 系统。不断扩充的开关/ 控制模块 为广泛的工业应用提供了出众的灵活 性和测试的有效性。 2700和 2750无可 比拟的优良特性, 也为系统集成商提供 了多通道、造价低廉的高性能自动测试 系统方案。插入式的模块具有灵活方便 的特点,支持通道数从 20 到 200 路(双 刀开关) 可给被测物提供激励源, , 完成信 号通道切换、 系统控制等, 而且能够做多达 14 种测试功能的精密测量。 数字 I/O 功能可 以用于与其他自动化设备之间的触发连接和 超限后的报警输出,扫描速率超过 200 通道 / 秒 (最高可达 2500 读数 / 秒) ,可提高测试的工作效率。

2700, 2701 与 2750 数据采集 / 开关系统,统称为集成系列 (2700 Integra Series) 数据 采集与自动测试系统。有关该系统的详细介绍与应用实例,参见《集成化数据采集与自动测 试系统文集》 。

www.keithley.com.cn
16
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2700,2701 和 2750 型模块选型指南
模块 # 模拟 输入 20 结构 Multiplexer w/CJC Multiplexer 2或4 线 1 x 20 or two 1 x 10 1 x 32 or two 1 x 16 1 x 40 or 1 x 20 1 x 32 or two 1 x 16 N/A 接头 类型 Screw terminals D-sub (IDC) Screw terminals D-sub (solder or crimp) D-sub (solder or crimp) Screw terminals 最大 电压 300V 最大开 关电流 1A 开关 速度 < 3 ms 其它 Automatic CJC 32 channels of commonside 4-wire ? Maximum 125 VA. 2 channels @ 3A. Reed relays

7700 7701 7702 7703 7705 7706

32

150V

1A

< 3 ms

40 32

Multiplexer Reed Relay Multiplexer 40 channel independent SPST Multiplexer w/CJC + Analog Output + Digital Outputs + Counter/Totalizer Digital I/O + Multiplexer Multiplexer w/CJC 6 x 8 Matrix Solid-state Multiplexer w/CJC

300V 300V

1A 500mA

< 3 ms < 1 ms

NA

300V

2A

< 3 ms

Programmable for Form C Two ±12V analog outputs, 100 kHz counter, & 16 digital outputs

20

1 x 20 or two 1 x 10

300V

1A

< 3 ms

7707 7708 7709 7710

10

1 x 10 or two 1x 5 1 x 40 or two 1 x 20 2- or 4-pole 1 x 20 or two 1x 10
Crosstalk

D-sub (IDC) Screw terminals D-sub (IDC) Removable screw terminals SMA SMA

300V

1A

< 3 ms

32 digital I/O + (33V, 100mA) Automatic CJC Daisy chain for larger matrix Long relay life, higher speed 500 channels/s

40 48 20

300V 300V 60V

1A 1A 0.1A

< 3 ms < 3 ms < 0.5 ms

7711 7712

Insertion Loss VSWR

2GHz Dual 1x4 Multiplexer 3.5GHz Dual 1x4 Multiplexer

<1.0dB <1.1dB

<1.2 <1.45

<-55dB <-50dB

60V 42V

0.5A 0.5A

< 10 ms < 10 ms

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

17

数字多 用 表,数据采集 / 开关系统
2700,2701 和 2750 指标
直流特性 1
2 条件:MED(1 PLC) 或 10 PLC 或 MED(1 PLC)带数字滤波器 10

输入电阻 测试电流± 5% 功能
电压 11

或开路检测电压 3 2700/2701 2750

准确度: ±(读数的 ppm +量程的 ppm) (ppm = parts per million) (e.g., 10ppm = 0.001%) 24 小时 4 90 天 1年 23oC ± 1o
15 + 30 15 + 6 10 + 4 15 + 6 20 + 6 80 + 40 20 + 20 20 + 20 20 + 6 20 + 6 20 + 6 20 + 6 150 + 6 800 + 30 80 + 40 25 + 40 25 + 40 25 + 90 40 + 100 60 + 30 100 + 300 200 + 30 1000 + 15

温度系数
(1 + 5)/°C (1 + 1)/°C (1 + 1)/°C (5 + 1)/°C (5 + 1)/°C (8 + 1)/°C (8 + 1)/°C (8 + 1)/°C (8 + 1)/°C (8 + 1)/°C (8 + 1)/°C (8 + 1)/°C (70 + 1)/°C (385 + 1)/°C (8 + 1)/°C (8 + 1)/°C (8 + 1)/°C (8 + 1)/°C (8 + 1)/°C (50 + 5)/°C (50 + 50)/°C (50 + 5)/°C (50 + 5)/°C

量程
100.0000 1.000000 10.00000 100.0000 1000.000 1.000000 10.00000 100.0000 1.000000 10.00000 100.0000 1.000000 10.00000 100.0000 1.000000 10.00000 100.0000 1.000000 1.000 20.00000 100.0000 1.000000 3.000000 mV V V V V5 ?24 ?24 ? k? k? k? M? 23 M?7, 23 M?7, 23 ? ? ? k? k? mA mA A A

分辨率
0.1 1.0 10 100 1 1 10 100 1 10 100 1.0 10 100 1 10 100 1 100 10 100 1.0 10

或输入端压降

23oC ± 5o
25 + 35 25 + 7 20 + 5 35 + 9 35 + 9 80 + 40 80 + 20 80 + 20 80 + 6 80 + 6 80 + 10 80 + 10 200 + 10 2000 + 30 80 + 40 80 + 40 90 + 40 180 + 90 100 + 100 300 + 80 300 + 800 500 + 80 1200 + 40

23oC ± 5o
30 + 35 30 + 7 30 + 5 45 + 9 50 + 9 100 + 40 100 + 20 100 + 20 100 + 6 100 + 6 100 + 10 100 + 10 400 + 10 2000 + 30 100 + 40 100 + 40 140 + 40 400 + 90 100 + 100 500 + 80 500 + 800 800 + 80 1200 + 40

0o-18oC 和 28o-50 oC

电阻 6, 8

干电路 电阻 21, 24

导通(2 线) 电流

通道(比率)10 通道(平均)10

?V >10 G? >10 G? ?V >10 G? >10 G? ?V >10 G? >10 G? ?V 10 M?± 1% 10 M? ± 1% mV 10 M? ± 1% 10 M? ± 1% ?? 10 mA 5.9 V ?? 10 mA 5.9 V ?? 1 mA 6.9 V 12.2 V m? 1 mA 6.9 V 12.2 V m? 100 ?A 6.9 V 6.8 V m? 10 ?A 12.8 V 12.8 V ? 10 ?A 12.8 V 12.8 V ? 0.7 ?A // 10M ? 7.0 V 7.0 V ? 0.7 ?A // 10M ? 7.0 V 7.0 V ?? 10 mA 20 mV ?? 1 mA 20 mV ?? 100 ?A 20 mV m? 10 ?A 20 mV m? 1 mA 6.9 V 12.2 V nA < 0.2 V nA < 0.1 V ?A < 0.5 V 9 ?A < 1.5 V 9 比率准确度=所选通道量程准确度+配对通道量程准确度 平均准确度=所选通道量程准确度+配对通道量程准确度

温度 19
(以 °C, °F, 或 K 显示.不包括探头误差 .) 热电偶 (基于 ITS-90 温标.) 90 天 /1 年 (23°C ± 5°C) 对于 用 模拟 77XX 参考结 模块 0.2°C 1.0°C 0.2°C 1.0°C 0.2°C 1.0°C 0.2°C 1.0°C 0.2°C 1.0°C 0.6°C 1.8°C 0.6°C 1.8°C 0.6°C 1.8°C 温度 系数 0°-18°C 和 28°-50°C 0.03°C/°C 0.03°C/°C 0.03°C/°C 0.03°C/°C 0.03°C/°C 0.03°C/°C 0.03°C/°C 0.03°C/°C

直流测试速度 15
单通道, 60Hz (50Hz) 操作
功能 DCV, DCI, ? (<10M), 热电偶 , 热敏电阻 位数 6.5 12,16 6.516 6.5 12,16 5.5 12,16 5.5 16, 17 5.5 17 4.5 17 3.5 6.516 6.516 5.5 17 6.516 6.516 5.5 16, 17 6.516 6.516 5.5 17 读数 / 秒 PLCs 5 (4) 10 35 (28) 1 45 (36) 1 150 (120) 0.1 300 (240) 0.1 500 (400) 0.1 2500 (2000) 0.01 3500 (2800) 0.002 1.4 (1.1) 10 15 (12) 1 33 (25) 0.1 0.9 (0.7) 10 8 (6.4) 1 18 (14.4) 0.1 2.5 (2) 10 15 (12) 1 25 (20) 0.1 通道 / 秒 2700 2701 2750 180/s 500/s 230/s 170/s 500/s 230/s 45/s 115/s 60/s 通道 / 秒 2701 2750 75/s 65/s 50/s 50/s 440/s 210/s 440/s 210/s 115/s 55/s

类型 J K N T E R S B

量程 –200 到 +760 °C –200 到 +1372°C –200 到 +1300°C –200 到 +400°C –200 到 +1000°C 0 到 +1768°C 0 到 +1768°C +350 到 +1820°C

分辨率 0.001°C 0.001°C 0.001°C 0.001°C 0.001°C 0.1°C 0.1°C 0.1°C

2701 和 2750 2701 4W? (<10M)

4W? OComp, RTD 22

4 线热电阻: (100? 铂电阻 [PT100], D100, F100, PT385, PT3916,或用户型. 偏置补偿开) –200° 到 630°C 0.01 °C 0.06°C 热敏电阻: (2.2k?, 5k?, 和 10k?)20 –80° 到 150°C 0.01 °C 0.08°C

通道 ( 比率), 通道 ( 平均) 0.003°C/°C 多通道,进内存 18 0.002°C/°C

直流速度 15,18
量程改变(除 4W?)16 : 功能改变 16: 自动量程时间 16: ASCII 读数到 RS-232 (19.2k 波特率): 最大外触发速率 : 2700/2750 50/s (42/s) 50/s (42/s) <30 ms 55/s 375/s 2701 50/s (42/s) 50/s (42/s) <30 ms 300/s 2000/s

7710 扫描 DCV 7710 扫描 DCV 带极限或时标 7710 扫描 DCV 与 2W? 交替 多通道,内存到 GPIB 16, 18 或者以太网

7702 扫描 DCV 7700 和 7708 扫描温度 (T/C) 7710 扫描 DCV 7710 扫描 DCV 带极限或时标 7710 扫描 DCV 与 2W? 交替

2700 65/s 50/s 145/s 145/s 40/s

www.keithley.com.cn
18
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

数字多 用 表,数据采集 / 开关系统

直流测量速度与噪声抑制能力
速度 分辨率 10 50 1 Off 0.1 Off 0.01 Off 0.002 Off RMS 噪声 10V 量程 读数 / 秒 12 位数 2700,2750 2701 NMRR CMRR14 0.1 (0.08) 6.5 < 1.2 ?V < 2.5 ?V 110 dB13 140 dB 15 (12) 6.5 < 4 ?V < 6 ?V 90 dB13 140 dB 500 (400) 5.5 < 22 ?V < 40 ?V — 80 dB 2500 (2000) 4.5 < 150 ?V < 300 ?V — 80 dB 3500 (2800) 3.5 — < 1 mV — 60 dB

DC 说明
1. 除在 1000V 及 3A,20% 超量程. 2. 加下列“量程ppm”误差, 100mV 15ppm; 1V及 100V 2ppm; 2750型 1? 和干电路? 40ppm; 10→ 1M? 2ppm,2700/ 2701型 100? 30ppm, 20mA 及 1A 10ppm, 100mA 40ppm. 3. ±2%(用数字多用表10M? 输入电阻,在10M? 及 100M? 量程用>10G? 输入电阻) ,干电路电阻Input HI,连接 Sense HI ±25%;不连接,加30mV. 4. 相对于校准准确度. 5. 信号 >500V, 加 0.02ppm/V 对超过 500V 部分. 6. 指标适用于 4 线 ?, 1?, 10?, 及 100? 偏置补偿.77XX 插入模块, LSYNC 开.偏置补偿状态下,开路检测电压为 12.8V. 2线 ? 加 1.5? 到“量程 ppm”误差. 1? 量程仅适用于4 线 ?. 7. 输入 HI 及 LO 的引线电阻必须有 10% 匹配, 8. 采用插入模块时,加上下列“量程ppm”误差:

直流测量特性
直流电压
A-D 线性: 2.0 ppm 读数 + 1.0 ppm 量程 . 输入阻抗 : 100mV–10V 量程: 可选 >10G? // <400pF 或 10M? ±1%. 100V, 1000V 量程: 10M? ±1%. 干电路: 100k? ± 1% // <1?F. 与地绝缘: 500V 峰值, >10G ? 和 <300pF 任何端子到机壳 . 输入偏置电流: <75pA, 23°C. 共模电流: <500nApp (50Hz 或 60Hz). 自动校零误差: 加 ±(量程误差 2ppm + 5?V) 对 < 10 分钟及 ±1°C. 输入保护: 1000V, 全量程. 300V 带插入模块.

10 k? 所有模块 : 7701, 7703, 7707, 7709 模块: 7706, 7708, 7710 模块: 7710 模块 23°C ±5°C:
9. 10. 11. 12. 13. 14. 15. 16. 17.

100 k? 100 ppm 50 ppm 110 ppm

1 M? 1000 ppm 500 ppm 1100 ppm

10 ppm 5 ppm 11 ppm

10 M? 220 ppm 1% 5000 ppm 1.1 %

100 M? 2200 ppm 10 % 5% 11 %

采用插入模块时加上1.5V. 仅适于使用插入模块情况下,DCV 比率测量或 DCV 和热电偶平均测量. 采用 7701, 7703 及 7707 型,加 6?V 到“量程”误差.7706 及 7709 型加 3?V. 自动校零关闭. LSYNC 开,市电频率 ±0.1 %. LSYNC 关,用 60dB 对 ≥ 1PLC. 对 LO 1k? 不平衡电阻. AC CMRR 是 70dB. 速度是对 60Hz(50Hz) ,使用出厂缺省设置(*RST) ,自动量程关,显示关闭,极限关闭,触发延迟=0, 速度包括测量及二进制数据传输出GPIB 或 ASCII 数据传输到以太网和RS-232(仅读数) . 采样数 = 1000, 自动校零关闭 (进入存储缓冲).

电阻
最大 4W?引线电阻: 每引线量程的 80% (干电路模式) . 对1? 量程每引线 5?; 对10?, 100?, 和 1k? 量程每引线量程的 10%; 每引线 1k? 任何其它量程. 偏置补偿: 可选 4W?, 1?, 10?, 100?, 1k?,及 10k? 量程. 导通阈值: 1 到 1000 ? 输入保护: 1000V, 所有 Source 输入端, 350V Sense 输入端. 300V 对插入模块.

18. 自动校零关闭, NPLC = 0.01 ( 2700 和 2750), NPLC = 0.002 (2701). 19. 附加误差:

插入模块 前面板 7701/03/07 7709 模拟 参考结 0.1 0.2 0.3 0.1 0.1 0.6 0.6 0.3 模拟 参考结 0.3 0.4 0.6 0.4 0.3 1.2 1.2 1.7 7700/08/ 10 用 CJC 0.8 0.8 0.8 0.8 0.8 0.5 0.5 0.5 7706 用 CJC 1.6 1.6 1.6 1.6 1.6 1.0 1.0 1.0 7710 用 CJC 4.5 1.0 2.5 2.5 2.5 2.2 2.2 2.2

直流电流
分流电阻: 100mA–3A, 0.1 ?. 20mA, 5 ?. 输入保护.: 3A, 250V 保险丝.

热电偶
温标: ITS-90. 参考结 :内部,外部,或模拟的(固定). 开路检查: 可选每通道 ,开路>11.4k ? ±200?.

类型 量程 J –200° to 0°C K –200° to 0°C N –200° to 0°C T –200° to 0°C E –200° to 0°C R 0° to +400°C S 0° to +400°C B +350° to +1100°C 类型 量程 J 0° to + 760°C K 0° to + 1372°C N 0° to + 1300°C T 0° to + 400°C E 0° to + 1000°C R 0° to + 1768°C S 0° to + 1768°C B 0° to + 1820°C

模拟 参考结 0.1 0.2 0.3 0.2 – 0.4 0.4 0.8 7710 用 CJC 1.5 – 0.5 0.5 0.5 0.9 0.9 0.9 70°–100°C 0.22°C 0.10°C 0.04°C

20. 引线电阻 >0?, 加上以下温度测量误差/? :

2.2 k? (44004) 5.0 k? (44007) 10 k? (44006)

100°–150°C 1.11°C 0.46°C 0.19°C

21. 仅适于 4 线 ?, 偏置补偿开,LSYNC 开. 22. 干电路 1k? 量程,最大 2 读数 / 秒. 23. 2750 前面板输入加下列误差到温度系数“读数ppm” :1M? 25ppm, 10M? 250ppm, 100M? 2500ppm.工作环境适 于 0°C 到 50°C 及 50% 相对湿度 (@ 35°C). 24. 仅适于 2750. 25. 前面板分辨率限于0.1?.

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

19

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2700,2701 和 2750 指标(续)
交流测量指标 1
准确度: ±(读数 % + 量程 % ), 23 °C ± 5 °C 功能 电压 2 量程 100.0000 1.000000 10.00000 100.0000 750.000 mV V V V V 分辨率 0.1 1.0 10 100 1.0 ?V ?V ?V ?V ?V 校准周期 90 天 ( 全量程 ) 1年 ( 全量程 ) (温度系数 )/°C 3 电流 2 1.000000 A 3.00000 A 14 1.0 ?A 10 ?A 90 天 /1 年 (温度系数 )/°C 3 频率 4 100 mV 到 750 V 0.333 ppm 3.33 ppm 33.3 ppm 90 天 /1 年 3 Hz –1 0 Hz 0.35 + 0.03 0.35 + 0.03 10 Hz –2 0 kHz 0.05 + 0.03 0.06 + 0.03 20 kHz –5 0 kHz 0.11 + 0.05 0.12 + 0.05 50 kHz –1 00 kHz 0.6 + 0.08 0.6 + 0.08 100 kHz –3 00 kHz 4.0 + 0.5 4.0 + 0.5

0.035 + .003 0.005 + .003 3 Hz–10 Hz 10 Hz–3 kHz 0.30 + 0.04 0.10 + 0.04 0.35 + 0.06 0.16 + 0.06 0.035 + 0.006 0.015 + 0.006 (3 Hz–500 kHz) (333 ms–2 ?s) 100 ppm + 0.333 ppm (SLOW, 1s 闸门) 100 ppm + 3.33 ppm (MED, 100ms 闸门) 100 ppm + 33.3 ppm (FAST, 10ms 闸门)

0.006 + .005 3 kHz–5 kHz 0.14 + 0.04 0.18 + 0.06

0.01 + .006

0.03 + .01

附加误差± (读数的%)
低频误差 20 Hz– 30 Hz – 50 Hz – 100 Hz – 200 Hz – 30 Hz 50 Hz 100 Hz 200 Hz 300 Hz >300 Hz MED 0.3 0 0 0 0 0 1–2 0.05 50kHz 2–3 0.15 50kHz FAST — — 1.0 0.18 0.10 0 3–4 0.30 3kHz 4–5 0.40 1kHz

交流测量速度 7, 13
单通道, 60Hz (50Hz) 操作 功能 位数 读数 / 秒 ACV, ACI 6.5 2s/ 读数 6.5 4.8 (4) 6.5 9 40 (32) 频率, 6.5 1 (1) 周期 5.5 9 (9) 4.5 35 (35) 4.5 10 65 (65) 多通道 7710 扫描 ACV 10, 11: 500/s. 7710 扫描 ACV 自动延迟开: 2 秒 / 读数. 速率 SLOW MED FAST SLOW MED FAST FAST 带宽 3 Hz–300 kHz 30 Hz–300 kHz 300 Hz–300 kHz 3 Hz–300 kHz 30 Hz–300 kHz 300 Hz–300 kHz 300 Hz–300 kHz

波峰因数 : 5 附加误差 : 最大基础频率 : 最大波峰因数: 满量程时为 5 .

交流测量特性
交流电压
测量方法 :交流耦合 , 真有效值 . 输入阻抗: 1M? ±2% // <100pF. 输入保护: 1000Vp 或者 400VDC. 300Vrms 用插入模块时.

交流系统速度 7, 9, 11
AC 系统速度: 量程变化:12 功能变化:12 自动量程时间: ASCII 读数到 RS-232 (19.2k 波特率): 最大外触发速率: 2700/2750 (19.2k) 4/s (3/s) 4/s (3/s) < 3s 50/s 250/s 2701 (115.2K) 4/s (3/s) 4/s (3/s) < 3s 300/s 2000/s

交流电流
测量方法 : 交流耦合 ,真有效值 . 分流电阻: 0.1?. 输入端压降: 1A <0.5Vrms, 3A <1.5Vrms. 加 1.5Vrms 用插入模块时. 输入保护: 3A, 250V 保险丝.

AC 说明
1. 除 750V 及 3A 外 20 % 过量程 . 2. 指标适用于SLOW 模式及正弦波输入>量程 5%.SLOW 及 MED 采用多次 A/D 采样.FAST 采用 DETector:BANDwidth 300 和 nPLC = 1.0. 3. 适用于 0°–18°C 及 28°–50°C. 4. 方波输入>ACV 量程 10%,除 100mV 量程. 如果输入<20mV, 100mV量程频率必须>10Hz. 5. 适于非正弦波>5Hz. 6. 在 LO 引线 1k? 不平衡. 7. 速度是对60Hz(50Hz) ,使用出厂缺省设置( *RST) ,自动量程关,显示关闭,极限关闭,触发延迟= 0, 8. 在 50 或者 60Hz (±10%)ACV输入,加上下列“量程%”误差:100mV 0.25%, 1V 0.05%, 10V 0.13%, 100V 0.03%, 750V 0.015 (仅 2701 型). 9. 自动校零关闭. 10. 采样数 = 1024. 11. DETector:BANDwidth 300 和 nPLC = 1.0 (仅 2701 型). 12. 最大有用极限外触发延迟 = 175ms. 13. 包括测量及二进制数据传输出GPIB 或 ASCII 数据传输到以太网和RS-232 (仅读数).

频率及周期
测量方法 : 交互式计数技术 . 闸门时间: SLOW 1s, MED 100ms, 及 FAST 10ms.

交流
AC CMRR 6: 70dB. VOLT HERTZ PRODUCT: <= 8 X107.

www.keithley.com.cn
20
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

数字多用表,数据采集 / 开关系统

2790 型数字源表安全气囊测试系统










快速与简便的安全气囊电性测 试以及其它汽车电子测试应用 单台仪器组成的精密低阻与绝 缘电阻测量系统 程控恒压源(50-500V)支持 快速的高阻测量 程控恒流源 (0-50mA) 并带干 电路钳位, 防止低阻测量时被 测器件老化或损坏 适合单或双气囊测试、 单或双 定位测试台以及混合了器件测 试与激励源的应用

主机指标
参见 2700 技术指标(18 页)

系统速度
高阻:13 读数 / 秒 低阻:9 读数 / 秒


2790 数字源表开关系统是一个快速与简化汽车安全气囊以及其它汽车电子测试 应用的测量系统,而且是目前唯一的一套已经商业化的系统,集成了电源、测量、转 换开关,可测量绝缘电阻与导通电阻,并且全部功能都在一个紧凑的半机架尺寸的仪 表内实现。2790 提供程控的高电压源与低电流源,支持多通道之间的开关切换。这种 独特的设计,为汽车安全气囊以及其它汽车电子测试应用建立了一种新的高性能价格 比的标准。

支持恒流或恒压方法测量极端电阻
注:7751,7752 和 7753 插卡校准周期 2 年, 主机为 1 年。系统的保修期为 1 年

2790 内含 6 1/2 数字表,支持宽广的高精度电阻测量、交直流电流与电压测量、 以及频率与温度等的测量, 因此可以覆盖很广的应用。 采用2790 系统可以简化系统集 成的要求,对混合多种测量要求的应用,比如测试复杂的汽车座位系统,包括安全气 囊、安全带张力、座位加热器、开关与马达等,这是最佳的选择。 2790 有将测试序列存入仪表内存的功能,而执行时直接调用预存好的测试序列, 这样可省掉由控制器频繁发命令而耽误的通讯时间,将系统的工作效率进一步提高, 提升产能。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

21

程控开关与控制
技术介绍
为了使测试系统达到准确和精确就需要选择 适当的仪器, 在设计测试方法方面需要有创造性, 同时要仔细地考虑技术指标和误差源。大多数测 试系统设计的十分复杂,设计者们最关心的是将 不受控制的变量减少到最少。 为了实现这个目的, 此系统开关的性能就应该被严格限定。 对于接近仪器测量准确度, 分辨率或灵敏度 极限的那些测量,应该加以特别的考虑。通常这 称为 “临界点测试要求” 被选择的开关要支持这 , 些测试要求。如果设计的系统在“临界点测试要 求”下有预期的表现,那么一般条件下的测试要 求也同样能满足。 其次,画出系统框图。这样确定开关的数量 和仪器的数量 (源和测试) 所需要的开关和配置 , 的型号就逐渐的勾画出来。按这样步骤重复几 次,您就能确定实际所需的开关系统。 一旦您完成了如下步骤, 您就已经为您的测 试系统配置好了开关。


确认所需的开关和开关卡的配置 选择适当的开关系统 选择源和测试设备 选择电缆和其他附件 确定适合的保险丝、限流电阻、二极管等。 确定不确定度并与被要求的准确度进行比较。
图3









如何为我的应用配制一个开关系统?
无论您自己设计开关系统或是向Keithley的 应用部门寻求帮助, 您需要为您的测试系统定义 一些参数, 并且知道您想的每件事情是怎样相互 关联的。 首先,定义出您需要的参数。这包括:




开关结构
开关的种类繁多,开关系统配置也可大可 小,这决定于最终开关系统设计的效率。另外还 要考虑在系统集成时开关之间的连接与电缆等的 要求。下面介绍几种基本的开关结构框图。

测量——列出所有的测量类型和准确度要求 源—列出所有必需的信号源。 数量——列出被测物接线端的数量和相关的 设备数量。 信号特性:列出信号类型,大小,频率和阻 抗要求 测试速度——您所要求的测试速率是多少? 环境 - 温、湿度等。 通讯接口—— GPIB,RS-232,以太网
图2





上图的例子中 DUT 上需要用 4 台不同的仪 器去测试10个不同的测试点。 假如每次您都必须 要连接几台仪器同时测试一些测试点, 那么您就 需要一个矩阵开关卡。但是,如果每次仅需要连 接一台仪器去测试一个测试点, 那么您可结合一 个 1 分4 多路复用器和一个1 分10 多路复用器配 置成这个结构。 这个多路复用器使用了14个继电 器, 如果您选择矩阵开关卡,全部配置好需要40 个继电器。 而采用多路复用器您最终节省26个继 电器。 仔细的制定计划就能设计更合理的和更经 济的开关系统。









一个开关结构(如图2)可以被描述为开关 的电特性机械结构,或它在测试系统里的功能。 这些关于信号连通回路或电气连接的描述, 对于 描绘电路图或连接测试系统是必要的。 矩阵开关(图3)是开关系统中最常用到的 类型。但首先,不要将矩阵开关与开关主机混淆 ——带矩阵开关的开关主机(通常称为开关主 机) 。用一块矩阵开关卡可以将任一输入连接到 任一输出端上,卡可以单个用或内部相连使用。 这样的结构就使复杂连线和相互连接的系统 达到最小化,并能简化 DUT 的接口。

图4

多路复用开关(图4)在测试过程中用于连 接一台仪器到多个待测体或者多台仪器测试一个 待测体。 为了扩展开关系统的能力, 多路复用开关常 与矩阵型或其他结构的开关组合使用, 可提供额 外的隔离度,减少通道间的串扰,或者组成特殊 结构的开关系统。

图 1:通用测试系统

www.keithley.com.cn
22
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

程控开关与控制

性能指标
接触电动势 (开关的 最小电压信号) 偏置电流 (开关的最 小电流信号) 特性阻抗 热电偶冷端节点 4线

用于:
小于1V的精密电压测量, 如 温度系数测试,漂移量的测 试等。 测量小于 1mA信号,如半导 体特性分析和绝缘阻抗测 试。 用于测量在 RF 开关里信号 的完整性。 精密测量热电偶传感器 精密测试小于 1K ? 的电阻 值。 开关用于切换电源和大功率 电路 用于在高压系统里绝缘及安 全检测。 开关通常不能用在既有最大 电压又有最大电流的测试系 统。这就是告诉您只能选择 其一。 当开关一年四季都在不停的 工作,热开关(最大信号幅 度)的寿命比冷开关(无信 号)寿命短很多。

开关密度
高密度能力的吉时利开关设计能简化开关与 控制系统, 使所需的主机和板卡数目减少到最少。 半机架型7001能最大支持80通道开关控制 (2线 方式) 10插槽7002能提供400通道开关控制 , (2 线方式) 707A能处理576个通道或矩阵节点, , 而 708A 能处理 96 个通道或矩阵节点。这些高密度 的开关卡可很容易的在主机中相互连接起来。

图5

通道状态
7000 和 700 系列开关主机在前面板提供全 部的通道和节点状态显示, 他们都能图形显示主 机内每个通道开 \ 关工作状态,很容易开发应用 软件、调试和修改系统。这些信息同样可以通过 IEEE 总线来设置和获得。

(图5) 扫描卡是一种特殊的多路复用器, 这 种开关卡可以顺序或连续地闭合, 有时候还具有 跳过一些通道闭合的能力。 孤立开关是由互不关联的继电器开关组成, 常有多个极, 孤立开关不连接到任何其他的电路, 因此它能很容易地组合成灵活和独特的输入 / 输 出结构,当然需要一些附加的外部连接。这种类 型的开关通常用于增加电路之间的隔离,提供安 全联锁,驱动其他的继电器或电路,或者组合成 特殊的拓扑结构例如:二元阶梯或树型结构等。

最大电流 最大电压 最大功率

扩展
7001, 7002, 和 707A 各自都能提供一个模 拟背板,如果应用中需要很多卡,那它们可以相 互连接将卡配置成大的矩阵或组合成多路复用 器。这种背板设计使配置更加灵活,减少了插卡 间的连接。

开关寿命

电性指标
在一个测试系统里,开关卡的电性指标对 整个系统的性能和信号的完整性起重要的作用, 当使整个系统试图达到高准确度、分辨率、灵敏 度,或者使卡上通过高频信号、大电流、高电压 信号时,就需要掌握开关卡的电性指标。开关卡 的指标一般不能用做系统指标, 要考虑系统测试 的关键要求。如果是要求去测试 1V 电压信号时 提到了 1 微伏的精度,那可以肯定的是开关卡的 接触电动势不能是几百微伏。 当用开关控制供电 电源的通断时,必须考虑开关的电流指标。当被 测试的电阻小于 1K 欧姆,开关可能要求支持四 线法测试。 开关卡的指标仅是单块卡的性能。如果与 另外的卡相连接, 实际的性能参数如偏置电流和 插损在整个系统指标里将不仅仅是单块卡的指 标。每个额外的卡和接头都会使系统性能降低。 在某些完整测试系统应用里这些 (包括开关的指 标)可能是必须要考虑的。 图 6 描述一些性能指标,它们在什么条件下 可以适用于改善系统的性能。 有许多其他的特性要

图 6:开关的性能指标

考虑, 这取决于卡的型号和信号的级别, 还有测试 系统预期的性能。可以依照开关的关键参数在开 关选择指南里查找。许多开关实际适合多种类型 的测试,你应当在作出选择之前在所有的开关卡 里仔细的查看它的规格。吉时利开关手册很深入 地探讨了开关的特性和影响测试性能的因素。

提升系统测试速度
触发连接 ——是一种独特的触发概念,在 7001 和 7002 开关主机上提供可程控的硬件触 发, 硬件触发提供比在IEEE总线上更精确的、 可 重复性更好的高速触发总线。 通过在仪器后面板 的 DIN 连接器,一根专用的电缆对6 个独立的不 同层次进行硬件触发,除此之外还提供标准的 trigger-in 和 channel ready(在仪器后面板上) BNC接口。 吉时利大多数产品有触发连接, 他们 可以组成一个紧密的测试系统。在有些系统里, 这些仪器实际可以在不需要 PC指令的条件下自 动地相互触发。 内存 - 每个开关主机都内置存储器用于保 存和调出继电器的设置。这个永久性存储器能掉 电不丢失设置,并能开机后还原设置,有助于减 少编程和提高系统速度,从而提高产量。 数字 I/O - 为了便于程控,数字 I/O 被内 置在里面。TTL 兼容的输入 / 输出量可以被编程 通过 IEEE-488 接口去监控工作状况,在出现情 况时中断或是控制外部逻辑电路和设备。

主机性能
开关主机为测试系统选择适合的开关卡提 供了适当的自动化的和可程控的环境。7001(2 槽)和7002(10 槽)开关系统兼容多达40 多种 开关 / 控制卡。这些主机可以适合实验用测试系 统、工业生产线测试、中级自动化系统等等。 707A 主机能支持矩阵和多路复用开关卡配 置,最多能插6 块卡,支持从707X 到 717X 系列 开关卡,在主-从配置模式最多可以结合5 台主 机。在一个大型自动化系统应用里,允许单台主 机控制最多 2880 个继电器。如果您仅仅需要一 种开关卡测试时,KEITHLEY 单槽的 708A 能可 以节省您的存放空间和节约您的经费。 某些开关 卡是特别设计用于半导体的小信号测量领域的。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

23

程控开关与控制

开关控制器选择指南
ATE 程控开关系统 型号
插卡数 最大多路选通开关容量 可扩展性

半导体测试距阵开关 707A
6 最大达 576 路 主 / 从方式最多 能达到 5 台主机 2880 路通道 14 交互式程控显示全部 通道的工作状态 8 输入 /8 输出 有

7001
2 最大达 80 路 带触发连接

7002
10 最大达 400 路 带触发连接

708A
1 最大达 96 路 主 / 从方式最多 能达到 5 台主机 480 路通道 14 交互式程控显示全部通 s 道的工作状态 8 输入 /8 输出 有

可用到开关 / 控制 卡的(个数) 前面板 开关量输入 / 输出 IEEE-488 总线

超过 40 种 可程控显示全部通 道的工作状态 1 输入 /4 输出 有

超过 40 种 可程控显示全部通 道的工作状态 1 输入 /4 输出 有

开关控制卡
一般电压 / 电流卡 直 流 低电流 低电压 大电流 高电压 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

射频 光电应用

? ?

? ?

www.keithley.com.cn
24
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

程控开关与控制

7001 程控开关控制器
● ● ●

● ● ●

DC、RF 和光信号开关能力 支持宽范围的输入信号 非常方便与数字表和数字源 表组合成自动测量系统 可显示全部通道的工作状态 2 个独立插槽 支持 40 多种开关 / 控制卡

7001 是一个半机架尺寸的高密度开关控制器,在工业测试测量方面支持最宽范围的 信号接入。DC 开关能力从纳伏到 1100 伏,从飞安(10-15A)到5 安,再加上RF 和光开关 能力,使7001 成为应用广泛的测量工具。可以不接计算机而由7001 自己控制测试过程中 的每一步动作。简单的程序即可控制通道间隔、扫描间隔和扫描次数。一个内置的非易失 存储器可以存储 100 种开关状态的组合。 7001 的每一个插槽都可达到 40 个通道的容量。这意味着 7001 需要的开关卡更少, 减少了对开关硬件的需要。7001 的模拟背板连接可将 2 块卡组成一个 1x80 的多路复用器 或一个 4x20 的矩阵,或一个复用器 / 矩阵的组合(矩阵可被扩展) 。 7001 的主机上的真空荧光显示屏,可同时显示每一通道的开关状态。这些显示包括 开关组合状态的图形显示,使得配置测试系统,修改和调试都非常方便。插槽内的两个卡 的状态是一边一个显示在同一个屏幕上的。 触发连接是一种高速触发总线,可以在 7001 和其他仪器之间提供简捷的触发协调。 这种总线可 以在扫描时消除 GPIB 通讯导致的延迟,大大加快 了系统总的工作速度。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

25

程控开关与控制

7002 10 插槽开关控制器
● ● ● ● ● ● ●

DC、RF 和光信号开关能力 交互式通道状态显示 可选光笔编程 方便与数字表和数字源表组合成自动测量系统 全部通道的工作状态显示 10 个独立插槽 支持 40 多种开关 / 控 制卡

7002开关系统支持多达400通道的高密 度开关控制器(双刀) 。为便于快速编程前面 板包括了独特的通道状态互动式显示。配上 高密度开关卡,扫描速度可达 165 通道 / 秒。 一个单独的 7002 主机可以支持 10 个 40 通道 卡。这样组成的 400 个通道的系统,高度仅 为 178mm(7 英寸) ,宽度为标准的19 英寸。 7002 可以与全部 7001 开关卡配合使用,这 些卡可以使7002 切换从飞安到安培, 或从纳 伏到千伏的 DC 信号,还可以切换RF 或光信 号。7002 的模拟背板设计使配置更加灵活, 并减少了插卡间的连线。 交互式的前面板显示, 可以缩短7002配 置和开发测试软件的时间。每通道的开关状 态在主机上都有显示。 一支可选的光笔通过点击的方式对前面板进行编程, 您可选择 要编程的通道或多个通道, 建立扫描列表,创建矩阵组合, 打开或关闭通道, 或者将 通道开关状态的组合存入内存等操作。 7002 的非易失存储器可存多达 500 组的通道 开关状态的组合。 7002 主机可对测试过程中的每一步进行控制, 而不需计算机的介入。 简单编程 就可控制通道间隔、 扫描间隔和扫描次数。 触发连接功能可实现通过一根专用电缆对 6 个不同层次的硬件触发。

www.keithley.com.cn
26
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

程控开关与控制

7000 系列程控开关卡选型指南
通道数 开关卡 结构

继电器 结构

最大 电压

最大 电流

最大 功率

接触 电势

最大偏 置电流

频率

接头 类型

CE

说明

高密度卡
7011-C 7011-S 7012-C 7012-S 7013-C 7013-S 7015-C 7015-S 7018-C 7018-S 7035 7036 7111-S 40 40 4 × 10 4 × 10 20 20 40 40 28 28 36 40 40 Multiplexer Multiplexer Matrix Matrix Isolated Switch Isolated Switch Multiplexer Multiplexer Multiplexer Multiplexer Multiplexer Isolated Switch Multiplexer 2 form A 2 form A 2 form A 2 form A 2 form A 2 form A 2 form A 2 form A 3 form A 3 form A 2 form A 1 form A 1 form C 110V 110V 110V 110V 110V 110V 175V 175V 110V 110V 60V 60V 110V 1A 1A 1A 1A 1A 1A 34mA 34mA 1A 1A 1A 1A 1A 60VA 60VA 60VA 60VA 60VA 60VA 0.3VA 0.3VA 60VA 60VA 30VA 30VA 60VA <1?V <500nV <1?V <500nV <1?V <500nV <5?V <5?V <5?V <5?V <1?V <4?V <500nV <100pA <100pA <100pA <100pA <100pA <100pA <1nA <1nA <100pA <100pA <100pA <100pA <100pA 2MHz 2MHz 2MHz 2MHz 10MHz 10MHz 500kHz 500kHz 2MHz 2MHz 10MHz 10MHz 2MHz Connector Screw term. Connector Screw term. Connector Screw term. Connector Screw term. Connector Screw term. Connector Connector Screw term. Yes Yes Yes Yes Yes Yes Yes Yes Yes Yes Yes Yes Yes Four independent 1 × 10 multiplexers, connection to backplane Four independent 1 × 10 multiplexers, connection to backplane Rows connect to analog backplane Rows connect to analog backplane

Solid state switch for high reliability Solid state switch for high reliability 3 pole switching 3 pole switching 9 independent 1 × 4 multiplexers 40 independent channels of 1-pole switching Four independent 1 × 10 multiplexers, connection to backplane

控制卡
7019-C Dual 3 × 6 7020 80 7020-D** 7021 30/20 Matrix Digital I/O Mux/ Digital I/O Isolated/ Digital I/O 1 form A 200V 1A 10VA <25?V <100pA 2MHz Connector Connector Yes Yes 6 线法电阻测量 40 inputs/40 outputs Dual multiplexers. Up to 30 channels, 10 digital inputs, 10 digital outputs. 0 independent channels of 1-pole switching, 10 digital inputs, 10 digital outputs 霍尔效应测量卡

2 form A 1 form A

110V 110V

1A 1A

30VA 30VA

<3?V <4?V

<100pA <100pA

10MHz 10MHz

Connector Connector

Yes Yes

7037 7037-D** 7065

30/20

RF 卡
7062 7063 7016A 7017 7038 double 1 × 5 double 1 × 5 double 1 × 4 double 1 × 4 12 2 isolated switches 2 isolated switches 2 isolated switches 2 isolated switches Three 1 × 4 multiplexers 1 pole, 5 throw 1 pole, 5 throw 1 pole, 4 throw 1 pole, 4 throw 1 pole, 1 of 4 tree 24V 5V 30V 30V 24V 50mA 50mA 500mA 1A 10mA 0.5VA 0.5VA 10VA 10VA 10W @ 1.2GHz <20?V <20?V <6?V <25?V <15?V 500MHz 500MHz 2GHz 800MHz 2GHz BNC BNC SMA SMA 75? SMB receptacle Yes 50? unterminated Yes 50? terminated Yes Optional 50? termination Yes 108 closures contact life. Yes 75? unterminated

光开关卡
7090-4-1 7090-4-2BH 7090-8-3 7090-8-4

No. of Channels

Fiber Type

Wavelength (nm)

Connector

Fiber Length

1×4 1×4 1×8 1×8

Single mode fiber (SMF-28) 9/125 Single mode fiber (SMF-28) 9/125 Single mode fiber (SMF-28) 9/125 Multimode fiber 62.5/125

1290–1650 1290–1650 1290–1650 780–1350

FC/APC FC/SPC FC/APC FC/SPC

1m Bulkhead connectors 1m 1m

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

27

程控开关与控制

7000 系列程控开关卡选型指南(续)
通道数 开关卡 结构

继电器 结构

最大 电压

最大 电流

最大 功率

接触 电势

最大偏 置电流

频率

接头 类型

CE

说明

大电流卡
7053 10 Multiplexer 2 form C 300V 5A 100VA <1mV 1MHz Screw term.

高电压卡
7054 7154 7169A 10 10 20 Multiplexer Multiplexer Isolated switch 1 form A 2 form A 1 form C 1000V 1100V 500V 500mA 500mA 500mA 10VA 10VA 10VA <35?V <30?V 1MHz 1MHz 2MHz Screw term. Screw term. Connector Yes Yes Yes

Coupon testing. Use with 7002.

低电流卡
7058 7152 7153 7158 10 4X5 4X5 10 Multiplexer Matrix Matrix Multiplexer 1 form C 2 form A 2 form A 1 form C 200V 200V 1300V 30V 100mA 500mA 500mA 100mA 10VA 10VA <250?V <20?V <50?V <200?V <1pA <1pA <1pA <1pA 3MHz 60MHz 60MHz 1MHz 2-lug triax Connector Connector BNC Yes Can also be used as a voltage switch Yes Yes Yes

低电压卡
7059 7064 7067 7168 10 20* 10 8 Multiplexer Multiplexer Multiplexer Multiplexer 2 form A 2 form A 4 form A 2 form A 200V 40V 150V 10V 100mA 100mA 350mA 50mA 2VA 2VA 10VA <1?V <1?V <1?V <30nV 3MHz 10MHz 1MHz 1kHz Screw term. Screw term. Screw term. Screw term. Yes Yes Yes Yes

4 wire resistance measurements

热电偶测温卡
7014 7057A 39 9 Multiplexer Multiplexer 2 form A 2 form A 110V 42V 1A 100mA 60VA 2VA <1?V <1?V <100pA 2MHz Screw term. Screw term. Yes Yes Built-in cold junction ref. Built-in cold junction ref: –1mV/°C (0mV at +30°C)

通用卡
7052 7056 7066 7156-D 7164-D 7166 4X5 10/20* 10 10/20* 20* 10 Matrix Multiplexer Isolated switch Multiplexer Multiplexer Isolated switch 3 form A 2 form A 2 form A 2 form A 2 form A 2 form A 200V 150V 350V 150V 100V 300V 200mA 250mA 2A 500mA 500mA 750mA 10VA 10VA 125VA 10VA 10VA 30VA <5?V <100?V <30?V <100?V <50?V 75?V typ. <100pA 3MHz 10MHz 3MHz 3MHz 3MHz 3MHz Screw term. Screw term. Screw term. Connector Connector Connector Yes Yes Yes Yes Yes Yes Switched High, Low, Guard 10 channel 2-pole, 20 channel 1-pole

Mercury wetted contacts

实验板
7061 10 * An even numbered channel and an odd numbered channel cannot be turned on at the same time (only in the 20 channel mode for 10/20 channel cards). ** Cards with a -D suffix feature D-sub connectors. Prototyping

www.keithley.com.cn
28
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

程控开关与控制

707A 矩阵开关主机
● ● ● ● ●



与 4200-SCS 无缝配合用于半导体I-V和 C-V特性分析 开关容量可达576个双刀通道(可扩展到2880) 多种开关可供选择 交互式编程 编程和存储达100种开关配置,存储在内存里,掉电不 丢失 8 通道的开关量输入/ 输出

707A 矩阵开关有 6 个插槽,可以有效地减少系统集成和开发测试系统的时间与费用。它可以控 制多达 576 个通道(可扩展到2880) 。可以调用内存中多达100 种的矩阵开关设置进行自动测试。三 个独立的背板连接用于实现多卡间的自动连接。当多种卡在同一主机中混合使用时,独立的背板可 以使每一种卡都发挥其特性。在同一主机中,矩阵卡的行之间通过背板连接起来,这样就减少了外 部的连线,从而节省了设计和系统集成的时间。

708A 矩阵开关主机
● ● ● ● ● ● ● ●

为工业产品测量优化设计的矩阵开关 高度仅为 31/2 英寸 低发热设计-不需通风口或风扇 前面板或后面板插卡均可 前面板显示开关状态 单步式编程 开关容量为96 个双刀通道(可扩展到480) 多种开关卡可供选择

高密度单槽的708A矩阵开关是为工业环境下的产品测试设计的。它只占用标准19 英寸机箱中的31/2 英寸大小,适用性很广。它 可以控制多达 96 通道(可扩展到 480) ,前面板控制且操作简便。16 通道数字 I/O 使得控制或回读系统中其他设备的状态非常容易。 708A 独特的低散热设计使其不需要通风口或风扇,在恶劣的工业环境下也可很好地工作。灰尘和其他污染物被挡在仪器机箱之外, 最大程度的减少了潜在的设备损坏。无风扇设计也使 708A 适合于洁净室的相关应用。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

29

程控开关与控制

开关卡系列(用于 707 和 708A 开关主机)
通道数 开关卡 结构

继电器 结构

最大 电压

最大 电流

最大 功率

接触 电势

最大偏 置电流

频率

接头 类型

CE 说明

低电流卡
7072 7072-HV 7174A 8X12 8X12 8X12 Matrix Matrix Matrix 2 form A 2 form A 2 form A 200V 1300V 200V 1A 1A 2A 10VA 10VA <20?V <20?V <1pA <1pA <100fA 15 MHz 4 MHz 30 MHz 3-lug triax 3-lug triax 3-lug triax Yes Optimized for semiconductor applications. Optimized for semiconductor applications. Yes Optimized for semiconductor applications.

通用卡
7071 7071-4 7074-D 7075 7076 7077 8X12 Dual 4X12 Eight 1 X12 Eight 1 X12 Dual 4X12 Dual 8X12 Matrix Matrix Multiplexer Multiplexer Matrix Matrix 3 form A 3 form A 3 form A 2 form A 2 form A 2 form A 200V 200V 200V 110V 110V 42V 500mA 500mA 500mA 1A 1A 1A 10VA 10VA 10VA 30VA 30VA 30VA <5?V <5?V <5?V <5?V <5?V <5?V <100pA <100pA <100pA <100pA <100pA <100pA 3 MHz 3 MHz 5 MHz 30 MHz 15 MHz 15 MHz connector connector connector connector connector BNC Yes Also provides screw terminal connection. Yes Screw terminals available on row connections. Yes Yes Yes Yes Isolated BNC for differential systems.

高频卡
7073 7173-50 8X12 4X12 Matrix Matrix 1-pole form A 2 form C 200V 30V 1A 0.5A 30VA 10VA <2?V <15?V <200pA <200pA 30MHz 200MHz BNC BNC Yes Yes

实验板
7070 7070-PCA 96 96 Yes 7070 includes ribbon cable to extend backplane outside mainframe.

www.keithley.com.cn
30
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

射频/微波开关及测试
技术介绍
射频开关注意事项
通常在选择射频与微波开关方案时, 以下几 点应予注意: 带宽-元器件的带宽通常指该元器件对某连续波 信号衰减不超过3dB所在的频率范围。 对数字信 号来讲,带宽可以通过以下公式得出: Bandwidth (Hz) = 0.35 ___________ rise time (s) 图 4 表示为一个 4 × 4 非阻塞型矩阵,其中 2 个 通路可同时闭合。

射频测试的注意点
使用射频开关切换射频信号并测量射频信号 功率时, 由于测试仪器的输入与信号到达仪器的 通道阻抗不匹配,会引起很大的测试不确定性。 在知道仪器的输入和信号通道的驻波比指标后, 我们可以算出测试不确定度: Mismatch = 20 × log (1 ± Uncertainty (dB) where VSWR - 1 = ___________ VSWR + 1 )

插入损耗-由于阻抗损失而导致消耗的功率。 驻波比 / 回损-由于微波器件与 50? 的传送线路 存在阻抗不匹配而引起的损耗。驻波比(VSWR) 和回损(Return Loss)的关系: VSWR (1:X) = 1 + 10 RL/(–2 0) ___________ 1 - 10 RL/(–2 0) VSWR + 1 ___________ VSWR - 1
图 2:多路选通(二层树型开关)

sig path

instr

如果信号回路和仪器输入都有较好的驻波比 (1.3:1), 那由于不匹配引起的不确定度为 0 ± 0. 15dB. 调整仪器设置对于频率可选的射频功率测试 提高准确度也很重要。 在确保内部衰减器设置的 情况下能使输入功率水平在一个给定的量程内比 仪器的噪声尽可能的高。 在测量邻信道功率或杂 散功率时,必须在A/D 噪声和由于下行转换电路 过驱动引起的互调之间找到平衡点, 内部衰减器 设置使测量范围最大。 最后,确保优质的电缆,有较好的RF 性能, 按照生产厂商的要求进行扭转。
1 2 3

Return Loss (dB) = 20 Log10

隔离度-微波器件(例如微波开关)的相邻通道 功率的比值。 隔离度表示公共通道上的功率与非 选择的输出通道功率的比值。 功率处理能力-功率处理能力通常由连接头表征。 (见图 1)
图 3:单通道 Blocking 矩阵

A

B

C

D

4

图 4:Non-blocking 矩阵 图 1:功率处理能力与接头类型,注意:如与负载不匹 配,特性将变坏。

微波开关系统可以配置成多路选通和矩阵型。 为 了保持各个通道阻抗特性的一致性, 所有通道必 须相互隔离,以求没有公共交汇点,避免并联阻 抗。所以, 多路选通型开关必须是树型 (见图2) ,

矩阵型还必须有相互独立的通道, 这样的话同时 闭合的通道数是有限的,并视选择的配置而定。 图3表示一个阻塞型(Blocking)矩阵开关, 使用的 继电器数量最少, 但同时只有一路通道闭合。非 阻塞型(Non blocking)矩阵则更加复杂, 但能允许 同时有多路闭合。

图5

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

31

射频/微波开关及测试

选型指南
主机
型号
Card Slots Max. No. of Channels or Crosspoints per Chassis Expandability Switch/ Control Cards Available Front Panel Built-in Digital I/O IEEE-488 Bus

System 40
Custom Custom Custom More than 40 Full status display with programming control Custom Yes

System 41
Custom Up to 240 RF/microwave channels Custom Full status display with programming control Yes

System 46
0 Up to 32 RF/ microwave channels NA Status display

7116-MWS
1 20 RF/micro- wave and 40 general purpose channels NA More than 40 Full status display with programming control 1 input/4 outputs Yes

Yes

开关 / 控制卡
General Purpose V and I Automatic Cold Junction Support for Thermocouples Low Current Low Voltage High Current High Voltage RF Optical Integrated Multimeter ? ? ?

? ? ? ? ? ?

?

?

? ? ? ? ? ?

www.keithley.com.cn
32
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

射频/微波开关及测试

2800 射 频 功 率 分 析 仪


● ● ●

2800 射频功率分析仪是专为满足手机、RFIC 功率放大器和 相关 RF 功率器件的射频(RF)测试需要而设计的。不同于以往 那些体积庞大,价格昂贵通用的频谱分析仪,功能繁杂,测试工 程师必须从中选出他们需要的某些功能。2800 RF 功率分析仪仅 包括无线通讯测试所需要的功能,并加以优化,且提高测试速度 后的产物。2800 是一台结构紧凑,拿来即可用的仪器,已经预设 置了适合的频率,信道数,偏置量和其他测试参数,其根据是最 新的无线通信标准。 先进的数字信号处理 (DSP) 技术, 允许2800 并行执行多项测量和数学运算操作,从而大大提高速度,减少编 程量。 2800 用于 800MHz,更高频的 DCS(1700MHz )和 PCS (1800MHz)频段,和 WCDMA(UMTS)/cdma2000 频段的 RF 功率测试。可测量主信道功率,相邻和相隔通道的杂散和干扰信 号的功率。相邻通道的功率测量用于测定邻道功率比(ACPR) , 以保证有关器件和装置工作在标准定义的极限值以内。 2800已对 RFIC 测试,手机用功放和 AMPS,cdmaOne, TDMA, GSM, GPRS, EDGE, DCS, cdma2000 1X, cdma2000 3X , 和WCDMA 标准的手机测试进行了优化。 有关其它标准的测试请与吉时利公 司联系。 2800功率测量速度达到其他窄带RF功率测量仪如频谱分析 仪的 4倍。 例如, 对CDMA 主信道功率的测量并将读数通过 IEEE - 488 总线传输到外部的控制器上仅需 6ms。它甚至可以做到测 量一个CDMA主信道功率, 相邻的上一个和下一个信道的杂散功 率,相隔的上一个和下一个信道的干扰功率,总共 5 个功率测量 通过总线传输也仅需 30ms。

● ● ●

用于无线通讯如手机等产品测试,支持新的 3G 技术 测量主信道功率,相邻和相隔信道功率 6ms 主信道功率测量 90dB 动态范围 0.5dB 的重复性 0.3dB 基本准确度 频率测量分辩率和准确度为± 50Hz

2800支持90dBm的 动态范围,可以测量低 : 达 -70dBm 的发射功率, 产品测试和自动化生产线测试 ● 手机 包括带宽为 1.23MHz 的 ● 支持无线功能的 PDA cdmaOne的信号。 连续波 主信道功率测量的重复性 ● RFIC 功率放大器 可达0.05dB (调制信号为 0.1dB) 。对低至-50dBm 0.5dB 的主信道功率测量准确度为0.3dB。这种高水平的测试使测 试工程师可以保持很窄的测量容限, 确保产品的高质量和高生产效 率。

典型应用

一个 cdmaOne 发射信号的功率谱密度图。图中显示出了相邻和相隔信道 功率的极限。2800 可以一次测量出图中的 5 个功率值。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

33

射频/微波开关及测试

2800 指标
FREQUENCY RANGE: 824–849MHz, 880–915MHz, 1710–1785MHz, 1850–1980MHz. FREQUENCYSETTINGS: CELLULAR STANDARD CDMAOne Cellular Band cdmaOnePCSBand North American Digital Cellular (NADC) Cellular Band North American Digital Cellular (NADC)PCS Band AMPS GSM Cellular 850 Band GSM Cellular 900 Band GSMDCS1800Band GSMPCS1900Band CDMA2000 Band Class 0 CDMA2000 Band Class 1 CDMA2000 Band Class 4 CDMA2000 Band Class 6 CDMA2000 Band Class 8 CDMA2000 Band Class 9 WCDMAOperating Band1 WCDMAOperating Band2 CHANNEL NUMBER, N 1 777 10131023 0 1199 1 799 9901023 1 1999 1 799 9901023 128 251 – 0–124 975 1023 – 512 885 – 512 810 – 1 799 9911023 0 1199 0 599 0 1199 0 1499 0 699 96129888 92629538 12, 62, 112, 162, 37, 87, 137, 187, 237, 287 212, 262, 85628913 CENTER FREQUENCY, MHZ 825.000 +0.03*N 825.000 + 0.030*(N-1023) 1850.0000.050*N + 825.0000.030*N + 825.000 + 0.030*(N–1023) 1849.9800.030*N + 825.0000.030*N + 825.000 + 0.030*(N–1023) 824.200 + 0.2*(N–128) 890.00.2*N + 890.0 + 0.2*(N–1024) 1710.2 + 0.2*(N–512) 1850.2 + 0.2*(N–512) 825.0000.030*N + 825.000 + 0.030*(N–1023) 1850.0000.050*N + 0.050*N 1750 + 1920.0000.050*N + 1710.0000.050*N + 880.0000.050*N + 02N .* 02N .* 1850.10.2*N + 02N .* FREQUENCY BAND, MHZ 824.7 –848.31 MHz MHz 1850.00 –1909.95 MHz MHz 824.01 –848.97 MHz MHz 1850.01 –1909.95 MHz MHz 824.01 –848.97 MHz MHz 824.200MHz848.800MHz – 880.2 –914.8 MHz MHz 1710.2 –1784.8 MHz MHz 1850.2 –1909.8 MHz MHz 824.04 –848.97 MHz MHz 1850.00 –1909.95 MHz MHz 1750.00 –1779.95 MHz MHz 1920.00 –1979.95 MHz MHz 1710.00 –1784.95 MHz MHz 880.00 –914.95 MHz MHz 1922.4 –1977.6 MHz MHz 1852.4 –1907.6 MHz MHz INTERNALREFERENCEOSCILLATORREFERENCE: Aging Year:1ppm. per Temperature Drift: (5°–40°C): 0.5ppm. EXTERNAL FREQUENCY REFERENCE INPUT: Frequency:10MHz ±1ppm. Power: >1dBm. Input Impedance: ?, 50 nominal. INPUT: Connector: N Type female. Impedance: ?. 50 Maximum Overload Value: 24dBm, continuous. VSWR: <1.2:1 input with attenuator >4dB. <1.3:1withinputattenuator≤4dB.

WCDMAOperating Band3

1712.4 –1782.6 MHz MHz

PRIMARY CHANNEL: MEASUREMENT RANGES
CDMAOne
Measurement Bandwidth Accuracy (23°C±5°C): 20dBmto – 40dBm 1.23 MHz Cell dB ±0.35 PCS±0.35 dB Cell dB ±0.5 PCS dB ±0.5 Cell dB ±0.73 PCS ±0.73 dB

NADC
100 kHz Cell dB ±0.35 PCS±0.35 dB Cell dB ±0.5 PCS dB ±0.4 Cell dB ±0.73 PCS dB ±0.6

AMPS
30 kHz ±0.35 dB

GSM
400 kHz Cell dB ±0.35 DCS±0.35 dB PCS±0.35 dB Cell dB ±0.5 DCS ±0.4 dB PCS ±0.4 dB Cell ±0.73dB DCS ±0.6 dB PCS ±0.6 dB

CDMA2000 1X
1.23 MHz All Class dB Band ±0.35

CDMA2000 3X
3.69 MHz All Class dB Band ±0.35

WCDMA
3.84 MHz All Operating ±0.35 Bands dB

–40.01dBmto– 50dBm

±0.5 dB

All Class dB Band ±0.5

All Class dB Band ±0.4

All Operating ±0.4 Bands dB

–50.01dBmto– 60dBm

±0.73 dB

All Class dB Band ±0.73

Band Class±0.6 dB2 0 Band Class±0.6 dB2 1 Band Class±0.6 dB2 4 Band Class±0.72 6 dB2 Band Class±0.6 dB2 8 Band Class±0.6 dB2 9

Operating 1 Band±0.73 dB Operating 1 Band±0.6dB Operating 1 Band±0.6dB

–60.01dBmto– 70dBm

Cell dB ±1.07 PCS ±0.94 dB

Cell dB ±0.94 PCS ±0.94dB

±0.94 dB

Cell dB ±0.94 DCS ±0.94 dB PCS ±0.94 dB

Rpaaiiy eetblt: Noise Floor:

Mod. CW Cellular Band DCSBand PCSBand

±0.1 dB ±.5B 00d ≤–77.5 dBm ≤–80.0 dBm

±0.1 dB ±.5B 00d ≤–88.6 dBm ≤–91.0 dBm

±0.1 dB ±.5B 00d ≤–89.0 dBm

±0.1 dB ±.5B 00d ≤–82.4 dBm ≤–82.9 dBm ≤–84.9 dBm

Band Class ±1.07 0 dB Band Class ±0.94 1 dB Band Class ±1.02 4 dB Band Class ±1.02 8 dB Band Class ±1.65 9 dB ±0.1 dB ±.5B 00d Band Class ≤–77.5 0 dBm Band Class ≤–80.0 1 dBm Band Class ≤–78.0 4,8 dBm Band Class ≤–73.6 6 dBm Band Class ≤–75.0 9 dBm

±0.1 dB ±.5B 00d Band Class ≤–72.7 0 dBm Band Class ≤–75.2 1 dBm Band Class ≤–73.2 4,8 dBm Band Class ≤–68.8 6 dBm Band Class ≤–70.2 9 dBm

±0.1dB ±.5B 00d Operating 1 Band ≤–68.7 dBm Operating 2 Band ≤–75.1 dBm Operating 3 Band ≤–73.1 dBm

www.keithley.com.cn
34
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

射频/微波开关及测试

ADJACENT CHANNEL (Primary Channel Input Signal in Range 5dBm to 20dBm)
Measurement Bandwidth Offset from Cellular Center CDMAOne 30 kHz ±885 kHz, ±900 kHz ±900 kHz, ±1250 kHz >55dBc ±1.0 dB ±0.5 dB NADC 25 kHz ±30kHz ±30kHz >36dBc ±1.0 dB ±0.5 dB GSM 30 kHz ±200 kHz ±200 kHz >40dBc ±1.0 dB ±0.5 dB CDMA2000 1X 30 kHz ±855 kHz ±900 kHz ±900 kHz ±1250 kHz >55dBc Band Classes 1, 8, ±1.0 0, 4, 9: dB Band Class 1.5 6: dB ±0.5 dB CDMA2000 3X 30 kHz WCDMA 3.84 MHz

±2.65 MHz >55dBc Band Classes 1, 8, ±1.0 0, 4, 9: dB Band Class 1.5 6: dB ±0.5 dB

±5 MHz >33dBc ±2.0 2 dB ±1.0 dB

Range Specified at Accuracy 1 Accuracy(23°C ±5°C) Relative primary to channel Repeatability CW

ALTERNATE CHANNEL (Primary Channel Input Signal in Range 5dBm to 20dBm)
Measurement Bandwidth Offset fromCellular Center Range Specified at Accuracy Accuracy(23°C ±5°C) Relative Accuracy to channel Repeatability CW CDMAOne 30 kHz ±1.98 MHz ±1.98MHz >55dBc NADC 25 kHz ±60kHz ±60kHz >48dBc GSM 30 kHz ±400 kHz ±400 kHz >60dBc CDMA2000 1X 30 kHz ±1.98 MHz ±1.98 MHz >55dBc Band Classes 1, 8, ±1.0 0, 4, 9: dB Band Class 1.5 6: dB ±0.5 dB CDMA2000 3X 30 kHz ±3.10 MHz >55dBc Band Classes 1, 8, ±1.0 0, 4, 9: dB Band Class 1.5 6: dB ±0.5 dB WCDMA 3.84 MHz ±10MHz >43dBc

±1.0 dB ±0.5 dB

±1.0 dB ±0.5 dB

±1.0 dB ±0.5 dB

±2.0 dB ±1.0 dB

Measurement Time (Typical):
CDMAOne Primary Channel Power Measurement Primary Channel Power Measurement, Adjacent Two Channel Power Measurements, and Alternate Two Channel Power Measurements Time complete different to 10 powermeasurements asingle at frequency Timetocomplete10power measurements asinglepower of level different at frequencies 6ms NADC 11ms AMPS 40ms GSM 4ms CDMA2000 1X 6ms CDMA2000 3X 7ms WCDMA 7ms

26ms

16ms

N/A

10ms

26ms

26ms

88ms

70ms

141 ms

450 ms

81ms

75ms

80ms

90ms

190 ms

371 ms

690 ms

325 ms

190 ms

190 ms

235 ms

OTHER MEASUREMENTS
UPPER SIDEBAND POWER (AMPS STANDARD ONLY): MEASUREMENT OF POWER RELATIVE TO CARRIER @ 10kHzOFFSET Frequency Range: 824–849MHz. Carrier Measurement Bandwidth: 1kHz. Level: 20dBm –40dBm. to Accuracy: ±0.5dB. Dynamic Range: 28dB. FREQUENCY:RANGE:824–849MHz,880–915MHz, 1710–1785MHz, 1850–1980MHz Resolution: 50Hz. Displayed Value: Difference between measured frequency and entered frequency. center Measurement Window: ±90kHz, nominal, entered from channel number center or frequency. Level: 20dBm –35dBm. to Accuracy: (with ±50Hz external reference). PEAK FUNCTION: Computes power level frequency 5 and of highest components primary power in channel spectrum. power Range: 824–849MHz, 880–915MHz, 1710–1785MHz, 1850– 1980MHz. Frequency Resolution: 5kHz. Displayed Values: in frequency MHz. Power dBm, in Measurement Window: ±1.82MHz entered from channel number center or frequency. Level: 20dBm –40dBm. to Level Resolution: ±0.01dBm. Level Accuracy: ±0.5dBm.

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

35

射频/微波开关及测试

7116-MWS 微波开关系统


● ●

● ● ●

包括控制器与射频 / 微波开关在一起的集 成化系统 紧凑的射频 / 微波开关系统,只有 3U 高 可以配置为一个 1 × 16 多路选通开关或 五个独立 1 × 4 开关 18GHz 带宽的继电器 实时显示所有开关的状态 手动或程控操作
7116-MWS 是一个完全装配好的 16 通道射频 / 微波开关系统,它设计用于简化高频切换的控制。 它采用兼容 IEEE-488 的 7001 开关主机作为开关控制器,以及机电同轴继电器,带宽从DC 至 18GHz。 其应用包括各种通讯设备与系统的生产与实验室测试。 7001中的非易丢失性存储器按照1×16多路复 用切换的形式进行预编程,使用户可以立刻操作。所有射频 / 微波开关连接使用低损耗 、半刚性的射 频电缆,以确保信号的高度完整性。它有一个闲置插槽,可以再控制最多 40 个额外的开关通道。

定制您的 RF 开关系统——系统 40
● ● ● ● ● ●

为特殊应用设计定制 预编程、 “交钥匙”解决方案 混合切换低频到高频(甚至光波) 采用标准 Keithley 控制单元 独特的前面板交互控制,实时状态显示 DC-40GHz 带宽

系统 40 根据客户的特殊需求定制。应用于测试多种通讯产品, 包括手机、传呼机、移动电台及它们的基站设施 。此外,还可用于 数字集成电路测试,包括SONET 速率,医用无线产品、特殊天线系 统和 RF 元器件。除了微波信号控制,系统 40 还可以配备在光开关 和低频信号通路中,包含音频、功率及数字控制信号。系统40 集合 了工业中处于领先地位的供应商所生产的继电器及其他元器件,能提供最低的插入损耗,驻波比(VSWR)和 隔离性能。为提高信号完整性,所有元器件的互联通过使用低损耗、半柔性或半刚性的 RF 电缆实现。

www.keithley.com.cn
36
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

射频/微波开关及测试

射频 / 微波开关系统——系统 41
● ●

● ● ●

集成控制器和微波开关系统于 4U 的小体积里 选装三种标准微波开关模块中的一种或装入定制的信号 切换模块 独特的前面板交互控制和实时开关状态显示 DC-40GHz 带宽 预编程, “交钥匙”解决方案

系统41优化了微波信号系统的开关切换。 它可以集中控制多达 240 个射频 / 微波开关通道,只须占用7 英寸高的机架,提高了性价 比。系统41 集合了工业中处于领先地位的供应商所生产的继电器及 其他元器件,能提供最低插入损耗、VSWR 和串扰。为提高信号完 整性,所有元器件的互联使用低损耗、半柔性或半刚性的RF 电缆。Keithley 提供三种可选择的标准微波开关模 块或一个用户定制的模块,使用户的特殊要求得以快速而经济地实现。

射频 / 微波开关系统——系统 46
● ● ● ● ●

标准配置或定制 标准系统最多 18GHz 带宽 定制系统最多 40 GHz 带宽 闭合次数计数器 支持通道特征数据存储

系统 46 设计用于简化自动化开关,可以测试各种通讯产品及设备。它能够控制32 个继电器,高 度才 2U(3.5 英寸) 。系统46 配置非常灵活,最多可用于32 通道的微波继电器、程控衰减器及其它元 器件的控制。无论是标准化还是定制的系统配置,均可以非常简便地满足测试需求,避免造成不必要 的开关和设备浪费。系统 46“不多不少,正好满足您的需求”的设计理念,为您提供最高的性价比。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

37

快速响应电源
技术介绍
快速响应电源
吉时利 2300 系列通讯专用电源是为了在负 载变化剧烈时保持稳定输出的电压而设计的, 如 手机,无绳电话,对讲机,无线调制解调器等手 持无线通信设备引起的瞬态较大的负载变化。 上 述这些设备100-200毫安的待机电流往往一下子 升高到800-1500毫安, 意味着负载变化了800% 或者更高。 常规电源往往只能适应50%的负载变 化。而吉时利公司2300 系列电源能胜任 1000% 的负载变化。

准确的四线法测试
为了保持对被测设备提供 精确的电压。2300 系列电源采 用四线法。 即两线输出电压。 另 外两端直接测量被测设备电压。 通过测试负载上的电压能补偿 电源到 DUT 之间因引线电阻引 起的电压降。 而且, 此类电源采 用宽带电压输出,从而获得较 小的电压降和较快的恢复时间。 见图 2。 吉时利电源另外采用了 SENSE端引线开路自动检测技 术。SENSE 端引线如果开路, 会影响对电源的反馈,从而输 出错误电压,2300 系列电源可 转换到内部本地感应或报错关 图 2:2300 系列的 4 线法连接,可确保加在负载上电压的准确性。 断电压输出。

快速负载变化时保持输出稳定
当移动通信设备进入到满功率发射状态时 , 常规电源的输出电压往往会有较大下降, 直到控 制回路能反应为止。 常规电源为了瞬态响应牺牲 了输出稳定性。因此,常规电源较大的电压降和 较长的恢复时间会引起输出电压降至被测设备电 量不足的阈值,导致在测试过程中关机并报错, 影响产能和生产效率。 在大负载变化或电源和被测件引线较大阻抗 的情况下, 2300系列电源瞬态电压降小于200毫 伏,所以 2300 系列电源在所有测试条件下,能 始终保持输出稳定,避免测试错误。见图 1。

可变输出阻抗,模拟电池内阻
移动通信设备由电池供电, 2302 和2306 电 源能模拟电池内阻的功能, 由于集成了输出电阻 可调的内阻, 此系列电源能使工程师在完全真实 的测试环境下进行测试。 而且,能在放电模式下 倒灌电流, 模拟电池性能。 因此,能使用一台仪器一 方面对被测件供电,同时 当作一个负载进行充电回 路和充电器的测试。

脉冲电流和小电流测 试
当使用常规电源时,往 往会需要在回路中放置大 电容来保持电压输出稳 定。 因此, 负载电流测试需 要感应电阻和万用表检测 负载电流,而感应电阻增 加了回路电阻,更加深了 负载电压降的问题。吉时
图 1:传统电源与吉时利 2300 系列电源响应的比较。

图 3:吉时利 2300 系列快速响应电源不需要额外设备进 行负载电流的测试。

利快速响应电源不需要电容, 本身电路回读功能 测量负载电流。见图 3。吉时利小电流测量能力 可以以0.1微安的分辨率测量睡眠电流。 而且, 也 能测量数字发射设备的负载脉冲电流, 吉时利电 源能捕捉到 60 微妙短的电流脉冲。

www.keithley.com.cn
38
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

快速响应电源

高速电源选型指南
Model
Number of Channels Power Output

2302
1 Function of V; optimized for maximum current at low V 0-15V 5A@4V 0–1 ? 10m? resolution 3A 100 nA 5A range: 33 ?s–833ms integration times

2303
1 45 W

2303-PJ
1 45 W

2304A
1 100 W

2306
2 Function of V and power consumed by other channel; optimized for maximum current at low V 0-15V 5A@4V 0–1 ? 10m? resolution (in channel 1) 3A 100 nA 5A range: 33 ?s–833ms integration times No

2306-PJ
2 Function of V and power consumed by other channel; optimized for maximum current at low V 0-15V 5A@4V 0–1 ? 10m? resolution (in channel 1) 3A 10 ?A(Ch.1) 100nA(Ch.2) 500mA and 5A ranges: 33 ?s–833ms integration times No

2306-VS
2 Function of V and power consumed by other channel; optimized for maximum current at low V 0-15V 5A@4V 0–1 ? 10m? resolution (in channel 1) 3A 100 nA 5A range: 33 ?s–833ms integration times Yes

Voltage Output Maximum Continuous Current Output Variable Resistance Output Current Sink Capacity DC Current Measurement Sensitivity Dynamic Current Measurement

0-15V 5A@9v

0-15V 5A@9V

0-20V 5A@20V

2A 100 nA 5A range: 33 ?s–833ms integration times No

2A 10 ?A 500mA and 5A ranges: 33 ?s–833ms integration times No

3A 100 nA 5A range: 33 ?s–833ms integration times No

External Triggering for Voltage Outputs and No Current Measurement Accuracy V 0.05% I 0.2% Features: Programming IEEE-488 included Open Sense Yes Lead Detection DVM Yes Relay Control Port 4 Remote Display Module Yes CE Yes

0.05% 0.2% IEEE-488 included

0.05% 0.2% IEEE-488 included

0.05% 0.2% IEEE-488 included

0.05% 0.2% IEEE-488 included Yes Yes, 1 perchannel 4 Yes Yes

0.05% 0.2% IEEE-488 included Yes Yes, 1 perchannel 4 Yes Yes

0.05% 0.2% IEEE-488 included Yes Yes, 1 perchannel No No Yes

Yes 1 Yes Yes

Yes 1 Yes Yes

Yes 2 Yes Yes

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

39

快速响应电源

2302 型电池模拟器与 2306 型电池 / 充电器模拟器
● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

模拟极快速响应负载变化 单通道或双通道 用于开发和测试电池供电的设备 可变输出阻抗,用于模拟电池响应 脉冲峰值、平均值以及基值电流的测量 100nA 直流电流灵敏度 电流逐级测量功能 电子负载(SINK)能力可达 3A 开路检测 内置数字电压表

单通道 2302 型模拟电池与 2306 型双通道模拟电池 / 充电器,是便携式或电池供 电的产品(如通讯产品)生产测试应用的理想解决方案。非常快的瞬态响应以及可变 输出阻抗所提供的性能与响应同实际电池相同。 这样工程师可以在最现实的操作条件 下测试便携式产品,消除传统电源由于瞬态响应时间慢而引起的误差和错误。 可变输 出阻抗使测试工程师能够模拟不同类型电池电量耗尽的情况。 2302 型与2306 型通过 减少测试系统的复杂性,来最大程度地增加产出, 因为这些仪表也可以测量直流与脉 冲电流。

2303 型与 2304A 型高速程控电源
适用于电池驱动设备的测试 快速响应负载变化 ● 5A 连续输出 ● 脉冲峰值、平均值以及基值电流 的测量 2304A 型 ● 100W 输出(20V@5A) ● Sink 最大电流 3A 2303 型 ● 45W 输出(15V@3A, 9V@5A) ● Sink 最大电流 2A
● ●

2303 型(45W)与 2304A 型(100W)电源为便携式、电池驱动设备的自动测 试提供电压控制与功率监控。两者都提供最多5A 来轻松处理便携式设备的负载,而 100nA 的分辨率(2303-PJ 型为 10?A)可以按0.2% 的基本精度精确监控睡眠模式电 流。快速瞬态响应模拟电池行为,输出在40?s 或不到 40?s 的时间内返回到设定电压 的 100mV范围内。 这些电源吸收电流的能力使它们可以模拟放电、充电电池的特性, 对电池充电器和与充电器有关的电路进行测试。 除了测量直流以外, 这些电源还可以 测量脉冲电流,最短为60?s,最长为833ms。可选远程显示/ 控制模块可以使显示器 与主机分开放置。DVM 输入使这两种电源可以测量和显示来自测试系统任何地方的 直流电压,从而节省了增加单独数字电压表所需的费用与空间。

www.keithley.com.cn
40
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

电流 /电压源和测量产品
技术介绍
无论是源表还是源测量单元(SMU), 都是将 精密的源与测量能力集成在一台单一的仪器之 中,它们既可以单独作为电压源或电流源,也可 以单独作为电压表或安培表。然而,它们最强的 功能在于将源与测量能力紧紧融合到一起并可同 时操作:向负载(被测器件)提供驱动电压同时 测量其流经的电流, 或是向负载提供驱动电流的 同时测量其两端的电压。当向负载(被测器件)提 供驱动电压或电流时, 内部电路通过钳制流经被 测器件的电流或是其两端产生的电压, 可以起到 保护被测器件的作用。 所有源表或是 SMU 源测量单元都可提供四 象限运行。在一、三象限,它们作为源,向负载 提供功率,而在二、四象限,它们作为电子负载 吸收功率。图1 和图 2 分别展示了源表系列提供 电流驱动测量电压和提供电压驱动测量电流的结 构原理图。图 3 展示了 2400 型源表四象限测量 能力。2400 型源表在其电压与电流极性一致的 象限可提供功率, 而在电压与电流极性相反的象 限可吸收功率。 请注意该仪器在受限区域的最大 吸收功率。 相同的输入压降。 图4显示了数字源表与SMU源 测量单元的电流源与电流测量的技术指标,图 5 显示了源表与 SMU 源测量单元的电压源与电压 测量的技术指标。需要注意的是,没有一台单独 的仪器可以覆盖全部的量程

1aA 23X SMUs 6430 SourceMeter
50aA 10aA

1fA
100fA 10fA

1pA

1nA

1?A
SOURCE

1mA

1A
1A 1A 100mA 100mA 10A* 10A*

MEASURE SOURCE MEASURE 50pA 10pA SOURCE MEASURE

如何决定在您的专业应用中是采用源表 还是源测量单元?
在区别这些产品众多的特性当中, 最基本的 不同点在于 SMU 源测量单元作为电流源或测量 电流时拥有更宽的量程,最形象的理解是将 SMU 源测量单元看成是精密源与拥有静电计测 量能力的电流表的结合体。 它在测量非常小的电 流时拥有很高的电流分辨率, 而在作为电流源时 又有更低的量程与之相配。 但与吉时利的静电计 只能测量20mA以下电流不同的是, SMU源测量 单元可测量(输出)高达 1A 的电流。同样类似 于静电计,SMU 源测量单元作为电压表时高达 100T?(1014?)的输入阻抗, 使其在测量高阻器件 两端电压时不会产生过大的负载压降。 数字源表可以理解为精密源与拥有DMM测 量能力仪器的结合体, 这就意味着其电流分辨率 不如 SMU 源测量单元。然而,数字源表各部分 测量规范相对独立,甚至可仅仅只作测量使用。 由于其有类似静电计的反馈式安培表单元, 因而 同典型的 DMM 相比,其输入压降要低得多,近 似等效零内阻的理想安培表, 在测量电流其引入 的误差要比 DMM 小得多。同时,数字源表在所 有量程作为电压表时,它的输入阻抗远远高于 10G?(1010?)。 而对于吉时利其它DMM而言, 在 直流电压量程大于等于 100V 时,其输入阻抗降 至 10M ?,因而当您测量高阻器件两端的电压 时,数字源表相对典型的DMM 而言引入的负载 误差要小得多。 6430 型亚 fA 远程数字源表由于有前置放大 器,因而同 SMU 源测量单元一样拥有静电计的 测量能力。 当安装了前置放大器后, 6430的电流 分辨率远远强于任何 SMU 源测量单元,同时它 的输入阻抗也大于 1016?,与其它数字源表拥有

24XX SourceMeter

*2430 in Pulse mode

图 4:电流源与电流测量能力

Imeter

Local Remote

IN/OUT HI SENSE HI

Isource

Vmeter/Compliance DUT Remote Local SENSE LO IN/OUT LO

1?V 23X SMUs 6430 SourceMeter 24XX SourceMeter
100?V 10?V 5?V 1?V 5?V 1?V

1mV
SOURCE MEASURE SOURCE MEASURE SOURCE MEASURE

1V

1kV
1100V 1100V 210V 210V 1100V 1100V

图 1:加电流测电压,电流或电阻的配置

图 5:电压源与电压测量能力

Imeter/Compliance

Local Remote

IN/OUT HI SENSE HI

V source

Vmeter DUT Feedback to Adjust Vsource Remote Local SENSE LO IN/OUT LO

如果您判断源表和 SMU 源测量单元两者都 可满足您的测量要求, 则需从另外的方面来考虑 选型了,表1 列举了各种其它可能对您的应用很 重要的特性,请参阅。 由于数字源表和源测量单元都具有提供电压 电流并且测量电压电流的功能, 因而通过欧姆定 律R=V/I完全可以计算得到电阻值。SMU源测量 单元可提供电压测量电流或是提供电流测量电 压, 因而可由驱动电压和测量电流值或是驱动电 流和测量电压值通过手工或是编程计算电阻。 而 数字源表与 SMU 源测量单元不同的是它具有自 动计算出电阻值的功能。 同时数字源表具有回读 输出电压或是电流的功能, 这一特性增强了其电 阻测量准确度,因为相对于源的准确度电压、电 流测量的准确度更高了。 这两大类产品都提供远 端或四线电压测量,在负载电阻小于 1K 欧姆测 量时可消除引线及接触点引入的误差, 因此保证 了加载到负载(被测器件)上的电压和电压钳位 值是准确的。

图 2:加电压测电流,电压或电阻的配置
+1A

+100mA

–200V

–20V

+20V

+200V

2400 only –100mA

2400 only

Duty cycle limited –1A

图 3:2400 和 2400-LV 数字源表

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

41

电流 /电压源和测量产品

SourceMeter SourceFeature or Function Instruments Measure Units Resistance Measurements Yes No Remote or Four-Wire Yes Yes Voltage Sense Source Readback Yes No Data Buffer Yes - 2500 rdg. Yes - 1000 rdg. Linear/Log/Custom Sweeps Yes Yes Source Memory Sweeps Yes No Contact Check Yes (Optional) No Limit Inspection Yes No Digital I/O and Component Yes No Handler Control Trigger Link Yes No Selectable Output-Off Yes No Impedance State Selectable Front/ Yes (6430 is No Rear Inputs rear input only) Connections Banana plug (6430 Preamp 3-lug triax has 3-lug triax) Guard Output/Guard Yes (Cable & Yes / No Sense Ohms) / Yes Communications Interface GPIB & RS-232 GPIB Command Language SCPI DDC Protocol

表1

这两大类系列产品都具有重要的扫描功能, 线性扫描、对数扫描或是用户自定义的扫描,特 别适用于需要电流或是电压扫描的测量当中, 同 样的源加载延时功能可用于所有的扫描步进当 中,所有的测量可使用相同的积分时间、滤波设 定、量程等等,但是并不是所有的测量程序都是 这样简单明了。例如,典型的二极管测试要求测 量正向电压、反向击穿电压及漏电流,测量电压 时需提供驱动电流而测量电流时需提供驱动电 压。当然这些测试中的每一项可以分别完成,但 是数字源表的源存贮扫描方式最多允许100个独 立源与测量配置。通过一组源存贮扫描功能,可 以一次完成二极管完整的测量序列。 当源存贮扫 描功能与其它扩展输出功能如内置极限检查、 数 字I/O, 机械接口部分相配合时, 可以很明显地发 现数字源表系列特别适合高速的不间断的生产线 测试。 提高测量可靠性的另一个特征是数字源表系 列中可选的接触检测功能(图6 所示) 。在用4 线 或 6 线法测量电阻时,确保每对驱动和测量探头

同被测器件的接触点良好 接触是非常重要的,这个 To C1 S1 HI Force 功能可以在自动测量程序 Microprocessor 开始前简单、快速地检测 T1 HI Sense 判断 Kelvin 连接的好坏。 该功能可在 0.35ms 内完 Pulse Amplifier C2 S2 LO Force Signal Comparators 成触点连接好坏的判断。 Timing Generator 通过测量驱动与测量探头 T2 Computer Interface LO Sense 之间的未知电阻与等效电 路中的设定值的差值来判 Guard Force C3 断连接的好坏。该功能仅 T3 Guard Sense 仅测量这两个电阻间的差 值,没有功率加到被测量 C4 器件之上。如果测量值相 22? 2.1? 50? 差太大,则认为接触不 T4 S3 S4 良。在数字源表中提供了 三个不同的参考值(2?、 15?、50?) ,以便针对不 图 6:接触检查电路 同的系统进行选择。很明 显可看出,如果接触良好时的电阻很高且超过 增加一套开关系统,将一台数字源表或 SMU 源 50?,则该内置的接触检测功能不适应该应用, 测量单元多路选通至多个测量点。 吉时利提供各 我们需要考虑用其它的方法来实现接触好坏的检 种开关系统与这些仪器的动态量程相配合。 如果 测判断。 仅仅需要两个通道,2400 系列的数字源表就可

当单个 SMU 源测量单元或数字源表所 能提供的电流、 电压小于测试要求值时 如何办?
多台仪器可以串连使用得到更高的电压, 或 是并连使用得到更大的电流, 这样的系统成本远 高于二、三台仪器之和,但是如果该应用要求必 须达到这些仪器的精度与准确度, 则用这种方式 将多台仪器集成起来也是一种方法。当然,如果 您集成的仪器越多, 则仪器间的协调配合也就越 困难。在高速的、短周期的测量应用上,特别是 在如下场合, 当仪器的触发反应与响应时间同驱 动 / 测量时间比较而言不可忽略时,该问题就更 加显得突出。 想得到更多的有关使用多台仪器的 信息, 请访问吉时利公司网站或是同其应用工程 师联系。 集成多台仪器对于多个器件或测量点的测试 是有效的,如果测量可以顺序的执行,则可选择

以满足应用要求, 可以将一个被测器件接到其前 面板输入,另一个接到其后面板输入,通过编程 进行前/后面板的开关切换,而前/后面板是完全 隔离独立的,这种前 / 后面板切换设定可以采用 源存贮的方式实现。 当真正要并行测试, 需要用到超过二或三台 单独的数字源表或是 SMU 源测量单元时,可以 考虑采用吉时利4200-SCS 或 4500-MTS型多通 道测试系统。这些系统将数字源表与 SMU 源测 量单元的特征与性能整合成标准模块。 4200SCS 型半导体特性分析系统可以扩展至八个源 测量模块,同时在每个源 - 测量模块中可选装类 似 6430 数字源表的前置放大器,可显著地增强 其电流量程与分辨率。4500-MTS 型模组测试系 统可扩展至九个插入式模块, 每个模块具有四个 电流驱动通道与四个电压测量通道, 电流驱动通 道具有电压钳位功能, 所以当其被钳位时又可被 用作电压源。

www.keithley.com.cn
42
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

电流 /电压源和测量产品

数字源表(SourceMeter ?) 选型指南
2400 2400-C 型号
描述 电流 Source/Sink 电压 Source/Sink

2410 2410-C
High Vlae otg ? ?

2420 2420-C
3A ? ?

2425 2425-C
High Power ? ?

2430 2430-C
Pl use ? ?

2440 2440-C
5A ? ?

2400-LV
Gnrl eea Proe ups ? ?

6430
UtaLw lr-o Cret urn ? ?

4200
Multi Channel I-V Caatrzto hrceiain ? ?

4500
Multi Channel I-V Production Test ? ?

输出功率
22W 22W 66W 100W 1000 W* 55W 2W Upto96.8W Upto216W

输出电流
Min. Max. ±10pA ±1.05 A ±10pA ±1.05 A ±100pA ±3.15 A ±100pA ±3.15 A ±100pA ±10.5 A* ±100pA ±5.25 A ±10 aA** ±105mA ±1aAw/preamp ±1Aw/4210-SMU ±0.1 nA ±1A

输出电压
Min. Max. ±1?V ±21/±210 V ±1?V ±1100 V ±1?V ±63V ±1?V ±105V ±1?V ±105V ±1?V ±42V ±1?V ±210V ±1?V ±210V ±10mV ±10V

电阻
<0.2 to ? >200M? <0.2 to ? >200M? <0.2 to ? >200M? <0.2 to ? >200M? <0.2 to ? >200M? <2.0 to ? >200M? <2.0 to ? >20T? N/A N/A

基本准确度
I V 005 .3% 005 .1% 0.06% 005 .3% 005 .1% 0.07% 005 .3% 005 .1% 0.06% 005 .3% 005 .1% 0.06% 005 .3% 005 .1% 0.06% 005 .3% 005 .1% 0.06% 005 .3% 005 .1% 0.06% 0.05 %*** 0.012%*** N/A 005 .6% 00 % .6 N/A

典型应用
? Resistive devices ? Voltage ? resistors Power ? Diodes ce fc et ? of ii n Thermistors ? Optoelectronic ? Varistors ? cells Solar components ? voltage High ? Batteries ? testing IDDQ diodes and ? Diodes protection devices ? IDDQ Airbag ? inflators tsig etn ? Power semi- ?Highpower ? 5Apump ? Particle beam cnutr odcos pulse testing laser diodes eprmns xeiet ? DC/DC ? Varistors and ? (single SET cnetr ovres other circuit electron ) ? High power poeto rtcin t a s s tr t n r n i te i g os components d v cs eie ? Ultra-high ? testing IDDQ rssatsig eitnetn c (up 10 ?) to 15 ? Semiconductor diode laser High parallel speed, DC/CW characterization t s iof: etn g ? characterization DC/CW ?HiBLEDs of transceiver modules ? Resistive MEMs ? and characterization ? PIN APD Photonic integrated circuits ? Carbon nanotube ? Optoelectronic devices caatrzto hrceiain ? Packaged parts ? Materials research ? Radio frequency inte ? Electro chemistry grated circuits RFICs)

其它特性
Programming Memory Tigr rge Guard Digital I/O Other Embedded GUI 4096 sample memory per card Internal only Cbe al N/A Optimized front for panel operation Ys e Ehre tent Up 1,000,000 to points per card Triggering digital w/PCI I/O Cbe al With optional card PCI 1 5?-digit c p b l t . measure a i i y a 2 HandlerHandler interface w/PCI d g tI/O iia l Ys e

CE * pulse In mode.

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

43

电流 /电压源和测量产品

2400 数字源表系列
● ●

● ● ● ● ● ● ● ●

设计用于高速直流参数测试 具有标准型、高电压型、大电流型、大功率型、 脉冲模式多种型号可选 20~ 1000W 功率可选 4 象限工作 0.012% 的精确度,5 1/2 的分辨率 可程控电流驱动和电压测量钳位的6线电阻测量 在 4 1/2 数位时通过 GPIB 达 1700 读数 / 秒 内置快速失败 / 通过测试比较器 数字 I/O 提供快速分选与机械手连接 可选的接触检测功能

数字源表系列特别适用于需要精密电压源与电流源驱动, 同时进行电流与电压测量的测 试应用。 所有源表均由一个精密的、 低噪声、 高稳定的带回读功能的直流电源和一个低噪声、 高重复性、 高输入阻抗的 5 1/2 位多功能表组成,形成了紧凑的单通道直流参数测试仪。其功 能相当于电压源、电流源、电压表、电流表和电阻表的综合体。 同由单独的源与测量仪器组 成的系统相比,源表具有很多优点。例如:其半个标准机架的尺寸节约了测试机架机台上宝 贵的空间,缩短了测试机站的开发、建立及维护时间,降低系统整体成本等等。另外,可免 除采用多台仪器时所带来的复杂的同步与联接等等问题考虑,简化了测试过程与控制。 所有 源表适用于进行宽量程的直流参数测试,包括采用特定的电流或电压测试电阻, 击穿电压测 量,漏电流测量,绝缘电阻测量,电特性曲线等。

更详细的介绍,可索阅 2400 系列数字源表的中文手册。

www.keithley.com.cn
44
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

电流 /电压源和测量产品

I-V 特性测试系统
所有源表类仪器均可提供四象限 操作。在第一和第三象限工作时, 作为 电源向负载输出功率。 在第二和第四象 限工作时,作为负载吸收能量。电压、 电流、电阻在各象限工作时都可以测 量。
加流,测量电压,电流或电阻结构 加压,测量电流,电压或电阻结构

2400 型和 2400-LV 型源表

2410 型高压源表

2420 型 3A 源表

2425 型 100W 源表

2430 型 1kW 脉冲模式源表

2440 型 5A 源表

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

45

电流 /电压源和测量产品
数字源表(SourceMeter ?) 指标
Voltage Accuracy (Local or Remote Sense)
SOURCE 1 ACCURACY (1 Year) PROGRAMMING 23℃ ± 5℃ RESOLUTION ±(%rdg.+volts) 5 ?V 0.02%+600?V 5 ?V 0 0.02%+600?V 50 ?V 0 0.02%+2.4mV 5 mV 0.02%+24mV 5 ?V 0.02%+600?V 5 ?V 0 0.02%+600?V 50 ?V 0 0.02%+2.4mV 5 ?V 0.02%+600?V 5 ?V 0 0.02%+600?V 50 ?V 0 0.02%+2.4mV 5 mV 0 0.02%+100mV 5 ?V 0.02%+600?V 5 ?V 0 0.02%+600?V 50 ?V 0 0.02%+2.4mV 15 mV . 0.02%+7.2mV 5 ?V 0.02%+600?V 5 ?V 0 0.02%+600?V 50 ?V 0 0.02%+2.4mV 25 mV . 0.02%+12mV 5 ?V 0.02%+600?V 5 ?V 0 0.02%+600?V 50 ?V 0 0.02%+2.4mV 25 mV . 0.02%+12mV 5 ?V 0.02%+600?V 5 ?V 0 0.02%+600?V 50 ?V 0 0.02%+1.2mV 5 mV 0.02%+4.8mV SOURCE NOISE (peak-peak) 0.1Hz- 10Hz 5 ?V 50 ?V 500 ?V 5 mV 5 ?V 50 ?V 500 ?V 5 ?V 50 ?V 500 ?V 20 mV 5 ?V 50 ?V 500 ?V 1.5 mV 5 ?V 50 ?V 500 ?V 2.5 mV 1 ?V 0 50 ?V 500 ?V 2.5 mV 10 ?V 50 ?V 20 ?V 5 1 mV MEASUREMENT2, 3, 4 OUTPUT SLEW DEFAULT ACCURACY (1 Year) MEASUREMENT 23 ℃± 5℃ RESOLUTION ±(%rdg.+volts) 1 ?V 0.012%+300 ?V 1 ?V 0 0.012%+300 ?V 10 ?V 0 0.015% +1.5 mV 1 mV 0.015% 10 mV + 1 ?V 0.012%+300 ?V 1 ?V 0 0.012%+300 ?V 10 ?V 0 0.015% +1.5 mV 1 ?V 0.012%+300 ?V 1 ?V 0 0.012%+300 ?V 10 ?V 0 0.015%+ 1 mV 1 mV 0 0.015%+50 mV 1 ?V 0.012%+300 ?V 1 ?V 0 0.012%+300 ?V 10 ?V 0 0.015%+ 1 mV 1 mV 0.015%+ 3 mV 1 ?V 0.012%+300 ?V 1 ?V 0 0.012%+300 ?V 10 ?V 0 0.015%+ 1 mV 1 mV 0.015%+ 5 mV 1 ?V 0.012%+300 ?V 1 ?V 0 0.012%+300 ?V 10 ?V 0 0.015%+ 1 mV 1 mV 0.015%+ 5 mV 1 ?V 0.012%+300 ?V 1 ?V 0 0.012%+300 ?V 10 ?V 0 0.015%+750 mV 1 mV 0.015%+ 3 mV

Rate (±30%)
100MA Compliance SOURCE/SINK LIMIT ±21V@±1.05A ±210V@±105mA

MODEL 2400, 2400-C

2400-LV

2410, 2410-C

2420, 2420-C

2425, 2425-C

2430, 2430-C

2440, 2440-C

RANGE 2 0 0 0 mV 0.0 2000 V .00 2.00 V 000 2000 V 0.0 2 0 0 0 mV 0.0 2000 V .00 2.00 V 000 2 0 0 0 mV 0.0 2000 V .00 2.00 V 000 10.0 V 000 2 0 0 0 mV 0.0 2000 V .00 2.00 V 000 6.00 V 000 2 0 0 0 mV 0.0 2000 V .00 2.00 V 000 1000 V 0.00 2 0 0 0 mV 0.0 2000 V .00 2.00 V 000 1000 V 0.00 2 0 0 0 mV 0.0 2000 V .00 1.00 V 000 4.00 V 000

0.08 V/?s 0.5 V/?s

±21V@±1.05A 0.08 V/?s ±21V@±1.05A ±1100V@±21mA

0.08 V/?s 0.5 V/?s

0.08 V/?s 0.14 V/?s

±21V@±3.15A ±63V@±1.05A

0.08 V/?s 0.25 V/?s

±21V@±3.15A ±105V@ ±1.05A

0.08 V/?s 0.25 V/?s

±105V@±1.05A ±105V@ ±10.5A (pulse only) mode ±105V@±5.25A ±42V@±1.05A

0.08 V/?s 0.25 V/?s

TEMPERATURE COEFFICIENT (0°–18°C & 28°–50°C): ±(0.15accuracy X specification)/°C. VOLTAGE REGULATION: Line: 0.01% range. of Load: 0.01% range 100?V. of + OVER VOLTAGE PROTECTION: selectable User values, tolerance. 5% Factory defaultnone. = CURRENT LIMIT: Bipolar current limit (compliance) with set single value. 0.1% range. Min. of OVERSHOOT: typical scale resistive 10mA <0.1% (full step, load, range).

ADDITIONAL PULSE MODE SOURCE SPECIFICATIONS (2430 and 2430-C only)
MAXIMUM CYCLE: hardware DUTY 8%, limited, range 10A only. other All ranges 100%. MAXIMUM PULSE WIDTH: from90% 5ms rising 90%falling to edge, 2.5ms range. 10A MINIMUMPULSEWIDTH:150?s. MINIMUM PULSE RESOLUTION: typical, max., 50?s 70?s limited system by jitter. SOURCE ACCURACY: Determined settling and by time source range specifications. OUTPUTSETTLINGTIME0.1%: 800?s typ., source= into ?, I 10A 10 limited voltage rate. by slew 500?s typ., source= into limited voltage rate. I 10A 1?, by slew OUTPUT SLEW RATE: Voltage load): (10 0.25V/?s on range. ±30% 100V 0.08V/?s on range, range. ±30% 20V 10A Current load): (0 0.25A/?s on range. ±30% 100V 0.08A/?s on range, range. ±30% 20V 10A

ADDITIONAL SOURCE SPECIFICATIONS (All Models)
TRANSIENT RESPONSE TIME: minimum the 30?s for output recover its to to spec. following a change load. step in COMMAND PROCESSING TIME: Maximum timerequired theoutputtobegin change for to following receipt :SOURce:VOLTage|CURRent the of <nrf> command. Autorange 10ms. On: Autorange 7ms. Off: OUTPUT SETTLING TIME: Time required reach of to 0.1% final value after command is processed. typical. 100?s Resistive 10?A 100mA load. to range. DCFLOATINGVOLTAGE:Outputcanbefloatedupto±250VDC (Model2440±40VDC) from chassis ground. REMOTESENSE: to1Vdropperloadlead. Up COMPLIANCE ACCURACY: 0.3% range ±0.02% reading base Add of and of to specification. OVER TEMPERATURE PROTECTION: Internally sensed temperature overload unit puts in standby mode. RANGE CHANGE OVERSHOOT: Overshoot into fully a resistive 100k load, ? 10Hz 1MHz to BW, adjacent ranges: 100mV typical, except 20V/200V (20V/60V Model on 2420), 20V/100V on Model and 2425 2430, range boundary, Model and 2440. MINIMUMCOMPLIANCEVALUE:0.1%ofrange.

NOTES
. 1 . 2 2400, Only: 2410 Specifications valid continuous for output currents below 105mA. operation For above 105mA continuous >1 for minute, derate accuracy 10%/35mA above 105mA. SpeedNormal PLC). 0.1 add = (1 For PLC, 0.005% range offset of to specifications, except 200mV, 10A 1A, ranges, 0.05%. 0.01 add add For PLC, 0.05% range offset of to specifications, except 200mV, 10A 1A, ranges, add 0.5%. Accuracies apply 2- 4-wire when to or mode properly zeroed. In pulse mode, limited 0.1 measurement. to PLC

. 3 . 4

www.keithley.com.cn
46
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

电流 /电压源和测量产品
Current Accuracy (Loca l or Remote Sense)
SOURCE 1, 3 ACC URACY (1 Year)3 PROGRAMMING MODEL RANGE 1 0 0 0 ?A .00 1 . 0 0 ?A 000 1 0 0 0 ?A 0.0 1 0 0 0 mA .00 1 . 0 0 mA 000 1 0 0 0 mA 0.0 2 1000 A .00 1 0 0 0 ?A .00 1 . 0 0 ?A 000 1 0 0 0 ?A 0.0 1 0 0 0 mA .00 2 . 0 0 mA 000 1 0 0 0 mA 0.0 2 1000 A .00 1 . 0 0 ?A 000 1 0 0 0 ?A 0.0 1 0 0 0 mA .00 1 . 0 0 mA 000 1 0 0 0 mA 0.0 1000 A .00 2 3000 A .00 1 . 0 0 ?A 000 1 0 0 0 ?A 0.0 1 0 0 0 mA .00 1 . 0 0 mA 000 1 0 0 0 mA 0.0 1000 A .00 2 3000 A .00 1 . 0 0 ?A 000 1 0 0 0 ?A 0.0 1 0 0 0 mA .00 1 . 0 0 mA 000 1 0 0 0 mA 0.0 1000 A .00 3000 A .00 2 / 4 1.00 A 000 1 . 0 0 ?A 000 1 0 0 0 ?A 0.0 1 0 0 0 mA .00 1 . 0 0 mA 000 1 0 0 0 mA 0.0 1000 A .00 5000 A .00 RESOLUTION 5 pA 0 50 pA 0 5 nA 5 nA 0 5 0 nA 0 5 ?A 5 ?A 0 5 pA 0 50 pA 0 5 nA 5 nA 0 5 0 nA 0 5 ?A 5 ?A 0 50 pA 0 5 nA 5 nA 0 5 0 nA 0 5 ?A 5 ?A 0 1 0 ?A 5 50 pA 0 5 nA 5 nA 0 5 0 nA 0 5 ?A 5 ?A 0 1 0 ?A 5 50 pA 0 5 nA 5 nA 0 5 0 nA 0 5 ?A 5 ?A 0 500 ?A 50 0 5 5 0 50 0 5 5 0 5 0 pA nA nA nA ?A ?A ?A

Measurement 5,6,7
DEFAULT MEASUREMENT RESOLUTION 10pA 100 pA 1nA 10 nA 100 nA 1?A 10?A 10pA 100 pA 1nA 10 nA 100 nA 1?A 10?A 100 pA 1nA 10 nA 100 nA 1?A 10?A 10?A 100 pA 1nA 10 nA 100 nA 1?A 10?A 10?A 100 pA 1nA 10 nA 100 nA 1?A 10?A 10?A 100 pA 1nA 10 nA 100 nA 1?A 10?A 10?A ACCURACY (1 Year)

23℃ ± 5℃ ±(%rdg.+amps)
0.035% 600 + 0.033%+ 2 0.031%+ 20 0.034% 200 + 0.045%+ 2 0.066%+ 20 0.27%+900 0.035% 600 + 0.033%+ 2 0.031%+ 20 0.034% 200 + 0.045%+ 4 0.066%+ 20 0.27%+900 0.033%+ 2 0.031%+ 20 0.034% 200 + 0.045%+ 2 0.066%+ 20 0.067% 900 + 0.059% 2.7 + 0.033%+ 2 0.031%+ 20 0.034% 200 + 0.045%+ 4 0.066%+ 20 0.067% 900 + 0.059% 2.7 + 0.033%+ 2 0.031%+ 20 0.034% 200 + 0.045%+ 2 0.066%+ 20 0.067% 900 + pA nA nA nA ?A ?A ?A pA nA nA nA ?A ?A ?A nA nA nA ?A ?A ?A mA nA nA nA ?A ?A ?A mA nA nA nA ?A ?A ?A

23℃± 5℃ ±(%rdg.+amps)
0.029% 300 pA + 0.027% 700 pA + 0.025%+ 6 nA 0.027%+ 60 nA 0.035% 600 nA + 0.055%+ 6 ?A 0.22%+570 ?A 0.029% 300 pA + 0.027% 700 pA + 0.025%+ 6 nA 0.027%+ 60 nA 0.035% 1.2 ?A + 0.055%+ 6 ?A 0.22%+570 ?A 0.027% 700 pA + 0.025%+ 6 nA 0.027%+ 60 nA 0.035% 600 nA + 0.055%+ 6 ?A 0.060% 570 ?A + 0.052% +1.71mA 0.027% 700 pA + 0.025%+ 6 nA 0.027%+ 60 nA 0.035% 600 nA + 0.055%+ 6 ?A 0.060% 570 ?A + 0.052% +1.71mA 0.027% 700 pA + 0.025%+ 6 nA 0.027%+ 60 nA 0.035% 600 nA + 0.055%+ 6 ?A 0.060% 570 ?A + 0.052% +1.71mA 0.027% 700 pA + 0.025%+ 6 nA 0.027%+ 60 nA 0.035% 600 nA + 0.055%+ 6 ?A 0.060% 570 ?A + 0.10%+3.42 mA

SOURCE/SINK LIMIT

2400, 2400-C, 2400-LV

±1.05A@±21V ±105mA@±210V8

2410, 2410-C,

±1.05A@±21V ±21mA@±1110V

2420, 2420-C,

±3.15A@±21V ±1.05A@±63V

2425, 2425-C,

±3.15A@±21V ±1.05A@ ±105V

2430, 2430-C,

±1.05A@ ±105V ±10.5A@ ±105V (pulse only) mode

0.059 +2.8 mA % 0.033%+ 2 0.031%+ 20 0.034% 200 + 0.045%+ 2 0.066%+ 20 0.067% 900 + 0.10%+ 5.4 nA nA nA ?A ?A ?A mA

2440, 2440-C,

±5.25A@ ±10.5V ±1.05A@±42V

TEMPERATURE COEFFICIENT (0°–18°C & 28°–50°C): ±(0.15X accuracy specification)/°C. CURRENT REGULATION: : 0.01% range. Line of Load: 0.01% range of (except Model 2440 range 5A 0.05%)100pA. + VOLTAGE LIMIT: Bipolar voltage limit (compliance) with set single value. 0.1% range. Min. of OVERSHOOT: <0.1% typical step, =10k 20V (1mA RL ?, range Model for 2400, 2410, 2420, 2425, 2430), (10V range Model for 2440).

NOTES
. 1 . 2 2400, Only: 2410 Specifications valid continuous for output currents below 105mA. operation For above 105mA continuous for minute, >1 derate accuracy 10%/35mA above 105mA. Full operation regardless load 30°C for (1A) of to (50°C Model and 2420 2440). Above (50°C Model and 30°C for 2420 2440) ambient, derate 35mA/°C prorate and 35mA/ load. ? 4-wire mode. current operation 1A, or ranges, For sink on 3A, 5A maximum continuous power limited approximately rated is to 1/2 power less, or depending current, to ambient. on up 30°C See equations the power in User’s Manual calculate to allowable cycle specific duty for conditions. . 3 For mode, to sink 1?A 100mA range, accuracy is: Model 2400: ±(0.15% offset*4). + Models 2410, 2420, 2425, 2430, 2440: ±(0.5% offset*3). + For range, 1A accuracy is: Model 2400: ±(1.5% offset*8). + Models 2410, 2420, 2425, 2430, 2440: ±(1.5% offset*3). + . 4 10A range in only pulse mode. Limited 2.5ms to pulse width maximum. duty 10% cycle maximum. . 5 SpeedNormal PLC). 0.1 add = (1 For PLC, 0.005% range offset of to specifications, except 200mV, 10A 1A, ranges, add 0.05%. 0.01 add For PLC, 0.05% range offset of to specifications, except 200mV, 10A 1A, ranges, 0.5%. add . 6 Accuracies apply 2- 4-wire when to or mode properly zeroed. . 7 In pulse mode, limited 0.1 measurement. to PLC . 8 Model and 2400 2400-C only.

CONTACT CHECK SPECIFICATIONS
SPEED: for 350?s verification notification. and CONTACT CHECK: 2 15 No contact failure check <1.00 ? <13.5 ? Always contact failure check >3.00 ? >16.5 ? 50 <47.5 ? >52.5 ?

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

47

电流 /电压源和测量产品
数字源表(SourceMeter ?) 指标(续)
RESISTANCE MEASUREMENT Accuracy (Local or Remote Sense)1, 2, 5
DEFAULT TEST CURRENT 2400, 2410 — — 100mA 10mA 1 mA 100?A 10 ?A 1 ?A 1 ?A 100nA — DEFAULT NORMAL TEST CURRENT ACCURACY (23°C ±5°C) 2420, 2425, 1 Year, ±(% rdg. + ohms) 2430, 2440 2400 2410 — SourceI +Meas.V SourceI +Meas.V ACC ACC ACC ACC 1 A SourceI +Meas.V SourceI +Meas.V ACC ACC ACC ACC 100mA 0.10%+0.003? 0.11%+0.006? 10mA 0.08%+ 0.03? 0.09%+ 0.1? 1 mA 0.07%+ 0.3? 0.08%+ 0.6? 100?A 0.06%+ 3? 0.07%+ 6 ? 10 ?A 0.07%+ 30? 0.07%+ 60? 1?A 0.11%+ 300? 0.12%+ 600? 1?A 0.11%+ 1 k? 0.12%+ 2.4k? — 0.66%+ 10k? 0.66%+ 24k? — SourceI +Meas.V SourceI +Meas.V ACC ACC ACC ACC ENHANCED ACCURACY (23°C ±5°C)4 1 Year, ±(% rdg. + ohms) 2400 SourceI +Meas.V ACC ACC SourceI +Meas.V ACC ACC 0.07%+0.001? 0.05%+ 0.01? 0.05%+ 0.1? 0.04%+ 1? 0.05%+ 10? 0.05%+ 100? 0.05%+ 500? 0.35%+ 5k? SourceI +Meas.V ACC ACC

RANGE <0.20000 3 ? 2.00000?3 20.0000? 200.000? 2.00000k? 20.0000k? 200.000k? 2.00000M?6 20.0000M?7 200.000M?3 >200.000 3 M?

DEFAULT RESOLUTION — 10?? 100?? 1 m? 10 m? 100m? 1? 10? 100? 1k? —

2420, 2425, 2430, 2440 SourceI +Meas.V ACC ACC 0.17%+ 0.0003 ? 0.10%+0.003? 0.08%+ 0.03? 0.07%+ 0.3? 0.06%+ 3? 0.07%+ 30? 0.11%+ 300? 0.11%+ 1k? SourceI +Meas.V ACC ACC SourceI +Meas.V ACC ACC

TEMPERATURECOEFFICIENT(0°–18°C28°–50°C): & ±(0.15Xaccuracy seiiain/ p c f c t o )C. ° SOURCEIMODE,MANUALOHMS:Totaluncertainty Isourceaccuracy = + measure V accuracy (4-wire remote sense). SOURCEVMODE,MANUALOHMS:Totaluncertainty=Vsourceaccuracy +measure I accuracy (4-wire remote sense). 6-WIRE MODE: OHMS Available using active guard guard ohms and sense. Max. Guard Output Current: (except range). 50mA 1A Accuracy load is dependent. to Refer White no. for Paper 2033 calculation formula. GUARDOUTPUTIMPEDANCE:<0.1? inohmsmode.

NOTES:
. 1 . 2 . 3 . 4 . 5 . 6 . 7 SpeedNormal PLC). 0.1 add = (1 For PLC, 0.005% range offset of to specifications, except 200mV, 10A 1A, ranges, 0.05%. 0.01 add For PLC, 0.05% range offset add of to specifications, except 200mV, 10A 1A, ranges, 0.5%. add Accuracies apply 2- 4-wire when to or mode properly zeroed. Manual only except ohms – 2420, 2425, 2430, for range 2410 2400 200M range. 2440 2? and or for ? Source readback enabled, offset compensation Also ON. available 2410, on 2420, 2425, 2430, 2440 similar and with accuracy enhancement. In pulse mode, limited 0.1 measurement. to PLC Except default current 5?A. 2440; test is Except default current 0.5?A. 2440; test is

www.keithley.com.cn
48
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

电流 /电压源和测量产品
System Speeds
MEASUREMENT1
MAXIMUMRANGECHANGERATE:75/second. MAXIMUMMEASUREAUTORANGETIME:40ms(fixedsource).2

Sweep Operation3 Reading Rates (rdg./second) for 60Hz (50Hz):
MEASURE NPLC/TRIGGER ORIGIN TO MEM. TO GPIB 0.0/nenl 1itra 281 (00 0 23) 154 7 0.01 t r a /x e n l e 139 (20 2 10) 154 2 0.01 t r a /n e n l i 281 (00 0 23) 198(20 1 11) 0.01 t r a /x e n l e 139 (20 2 10) 179(00 0 15) 0.10 t r a /n e n l i 50 (3) 1 43 59 (3) 0 43 0.10 t r a /x e n l e 48 (8) 3 30 48 (8) 3 30 1.00 t r a /n e n l i 5 (9 9 4) 5 (9 9 4) 1.00 t r a /x e n l e 5 (8 7 4) 5 (8 7 4) SOURCE-MEASURE5 TO MEM. TO GPIB 151(55 5 11) 169 3 118 0 (990) 135 0 151(55 5 11) 100 (0) 0 90 118 0 (990) 96 (3) 1 85 40(405) 7 40 (1) 7 40 49(360) 0 49 (6) 0 35 5 (48) 8 5 (8 8 4) 5 (48) 7 5 (7 7 4) SOURCE-MEASURE PASS/FAIL TEST4, 5 TO MEM. TO GPIB 92 (0) 0 90 91 8 80 (3) 3 80 86 8 92 (0) 0 90 89 (4) 0 80 80 (3) 3 80 76 (8) 5 70 39 (4) 8 33 38 (4) 8 33 34 (3) 7 33 34 (3) 7 33 5 6 (7 4) 5 (7 6 4) 5 6 (7 4) 5 (7 6 4) SOURCE-MEMORY4 TO MEM. TO GPIB 15 (6) 6 12 15 6 13 (6) 6 10 13 6 15 (6) 6 12 14 (6) 6 12 13 (6) 6 10 12 (6) 6 10 13 (2) 3 16 12 (2) 3 16 11 (2) 3 15 11 (2) 3 15 4 4 (8 3) 4 (8 4 3) 4 4 (8 3) 4 (8 4 3)

SPEED Fast IEEE-488.1 Mode Fast IEEE-488.2 Mode Medium IEEE-488.2 Mode Normal IEEE-488.2 Mode

Single Reading Operation Reading Rates (rdg./second) for 60Hz (50Hz):
SPEED Fast (488.1) Fast (488.2) Medium(488.2) Normal (488.2) NPLC/TRIGGER ORIGIN 0.01 / internal 0.01 / internal 0.10 / internal 1.00 / internal MEASURE TO GPIB 57 3 256 (256) 167 (166) 49 (42) SOURCE-MEASURE 5 TO GPIB 10 4 79 (83) 72 (70) 34 (31) SOURCE-MEASURE PASS/FAIL TEST 4,5 TO GPIB 15 3 79 (83) 69 (70) 35 (30)

Component for 60Hz (50Hz):4, 6
SPEED Fast Medium Normal
1 2 3

NPLC/TRIGGER ORIGIN 0.01 / external 0.10 / external 1.00 / external

MEASURE TO GPIB 1.04 (1.08 ms ms) 2.55 (2.9 ms ms) 17.53 (20.9 ms ms)

SOURCE PASS/FAIL TEST 0.5ms(0.5 ms) 0.5ms(0.5 ms) 0.5ms(0.5 ms)

SOURCE-MEASURE PASS/FAIL TEST5, 7 TO GPIB 4.82 (5.3 ms ms) 6.27 (7.1 ms ms) 21.31 (25.0 ms ms)

Reading applicable voltage current rates for or measurements. zero autorange filter display Auto off, off, off, off, trigger = and delay 0, binary reading format. Purely resistive lead. and ranges 1?A 10?A <65ms. 1000 point sweep characterized the was with source a onfixed range.

4 Pass/Fail performed test using high one limit one math and low limit. 5 Includes to time re-program source a level tonew before making measurement. 6 Time falling of from edge START TEST OF signal falling of of signal. to edge end test 7 Command processing of time :SOURce:VOLTage|CURRent:TRIGgered <nrf> command included. not

GENERAL

Noise Rejection:
NPLC NMRR Fast 00 .1 — Medium 01 . — Slow 1 60dB 1 Except lowestcurrent 2 ranges90dB. = CMRR 80dB 80dB 100 1 dB SOURCEMEMORYLIST:100pointsmax. PROGRAMMABILITY: IEEE-488 (SCPI-1995.0), RS-232, 5 user-definable power-up states factory plus default and *RST. DIGITAL INTERFACE: Interlock: low Active input. Handler Interface: Start test, of of end test,category 3 bits. 300mA +5V@ supply. Digital 1 I/O:trigger input,TTL/Relay 4 Drive outputs @ (33V500mA, diode clamped). POWER SUPPLY: to rms, 100V 240V 50–60Hz (automatically detected power at up). Model 2400: 190VA. Model 2410: 210VA. Model 2420: 220VA. Model 2425, 2430: 250VA. Model 2440: 240VA. COOLING: (Model 2410, 2420, 2425, 2430, 2440): Forced variable air, speed. WARRANTY: year. 1 EMC: Conforms European to Union Directive 89/336/EEC, 61326-1. EN SAFETY: Conforms European to Union Directive 73/23/EEC, EN61010-1. VIBRATION: MIL-PRF-28800F ClassRandom. 3 WARM-UP:hour rated 1 to accuracies. 9 DIMENSIONS: 89mm high 213mm X wide 370mm X deep 1?2inX83?8inX14?16in). (3 Bench Configuration 1 9 (with handle feet): & 104mm highX238mm wide 370mm X deep(4?8inX93?8inX14?16in). WEIGHT: 3.21kg (7.08 (Model lbs) 2425, 2430, 2440: 4.1kg, lbs). 9.0 ENVIRONMENT: Operating: 0°–50°C, 70%R.H. to up 35°C. Derate R.H./°C, 3% 35°–50°C. Storage: –25°C 65°C. to

LOAD IMPEDANCE: Stable 20,000pF into typical. COMMONMODEVOLTAGE:250VDC(40VDCforModel2440). COMMONMODEISOLATION:>109?, <1000pF. OVERRANGE: of 105% range, source measure. and MAX. VOLTAGE DROP BETWEEN INPUT/OUTPUT AND SENSE TERMINALS: 5V. MAX.SENSE LEADRESISTANCE: ?forrated 1M accuracy. 10 SENSEINPUTIMPEDANCE:>10 ?. GUARD OFFSET VOLTAGE: <150?V, typical (300?V Models for 2430, 2440). SOURCE OUTPUT MODES: Pulse (Model only) 2430 Fixed level DC Memory (mixed List function) Stair (linear log) and MEMORY BUFFER: 5,000 readings5 @ digits 2,500 (two point buffers). Includes selected measured value(s) time and stamp. Lithium battery backup yr+ (3 battery life).

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

49

电流 /电压源和测量产品

4500 型多通道 I-V 测试系统
● ●







4500 型多通道 I-V 测试系统是一个可以提供精密电流源、电 压源和测试功能的高通道密度的测试系统。它在不改变产品产能 和质量这个目标前提下,通过高速、多点的测试,减少整体的生 产制造成本。这种高速、低噪声的源输出、精确的测量能力、内 插卡的结构和整体机箱的设计,为光电器件等众多器件提供了一 个可以开发多种自动化测试方案的基础平台。





同时进行多达 36 个器件的测试 在一个通道上,精密地控制驱动 电流源和偏置电压,同时监测正 向压降和光电流 单个和多结器件特性的理想测试 工具 每个4500系列插卡上面嵌入式的 实时微处理器使得真正的多通道 并行测试成为现实 特定的驱动程序和实时的管理软 件使得实时的通道设置变得很容 易 以太网口的远程控制允许在多个 用户之间进行硬件资源的共享 标准的 PC 机的配置,内置 Windows 2000,GPIB、RS232 接口,键盘等

4500 系列插卡
4500-MTS 主机后面板有 9 个插槽,共有2 种 4500 型的插卡 可以兼容。这 2 种卡的功能可以满足动态的测试和测量领域里不 断出现的测试要求。 * 4510-QIVC 型插卡为可调谐激光器和 VCSELs 提供了理想 的驱动源范围, 同时也为收发模块和低功率的泵浦激光器提 供了 500mA 的量程。每个卡具有 4 个通道,每个通道都可 以提供驱动电流源、Kelvin 法电压测量,以及带可程控电压 偏置的光电流测量。

* 4511-QIVC 型插卡可以提供每个通道高达 1A 的连续 / 直流 测试能力,并且可以将4 个电流源并行的方式实现更高的电 流输出。 这种特性和高速的测试通过量极大的减少了针对多 波长的拉曼泵浦模块、高输出的收发模块和EDFA 泵浦激光 二极管的测试成本。

Test Time Per Channel

当测试和设置 是并行进行时,额 外的更多的通道不 会增加测试时间, 唯一增加的是测试 结果的传送时间。 这种情况下,测试 结果的下载时间是 测试设置和测试时 间的一部分。 显然, 每个通道的平均速 度随着额外的更多 通道的增加而增加。

1

2

4

8

NPLC 1 NPLC 0.5 NPLC 0.002

16

36

Number of Channels

www.keithley.com.cn
50
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

光电测试方案
技术介绍
有源光电器件的特性描述绝不仅仅 只需要一个电流源
Forward Voltage (VF) V Back Facet Detector Current (IBD) A Light Power Output (L) mW Kink Test (dL/dIF) IF Forward Current (IF ) mA
+100mA

L IBD dL/dIF VF

有限的电流避免了对器件造成永久的破坏, 同时可以进行精密的击穿电压的测试。 已知击穿 电压之后,就可以对器件加一个安全的反向偏 置,同时测试该器件的漏流。器件的漏电流指标 对于器件的进一步分析将会很有帮助。

Imeter/Compliance

Local Remote

IN/OUT HI SENSE HI

V source

Vmeter DUT Feedback to Adjust Vsource Remote Local SENSE LO IN/OUT LO

四象限的源输出能力
+1A

图 5,在电压源模式下,数字源表可以输出电压的同时 测试电流, 远端的电压Sense确保需要的电压全部到达 被测器件。
+20V +200V

图 1,典型的半导体激光二极管 LIV 曲线。

–200V

–20V

有源的光电器件是一个基本的半导体结, 为 了更全面的测试,不仅要求对其做正向的 I-V 特 性测试,也要求监测反向的 I-V 特性。传统的激 光二极管电流驱动在实验室级别是合适的, 但是 对于开发半导体器件完整的测试方案并不合适。 而 2400 系列数字源表将源输出与测量的能力集 成在一起,非常适用于半导体器件的特性分析。
I

2400 only –100mA

2400 only

接触检查功能
2400 数字源表系列都有具备接触检查功能 的选项, 这一功能使得在对器件激励信号或者测 试前自动地识别所有的测试线缆是否已经连接到 被测器件上。图6 显示了这一功能识别出了远端 的Sense 端没有连接到被测器件。 Sense 端没有 连接的话, 执行测试时, 电压嵌位功能没有作用。

Duty cycle limited –1A

图 3,2400型数字源表能够输出和接收负载电流或者电 压。2400 系列的其他型号可以提供不同的动态的量程, 从低到1?A或 200mV的量程到高到5A或1000V的量程。

V F test

数字源表系列集成了完整的四象限精密源 (图3)和测量能力。 源和测量的能力从低到1?A或 200mV 的量程到高到 5A 或1000V 的量程。这种 广泛的动态量程使得测试众多的器件成为可能, 例如 AlGaAs 激光二极管,Si 材料的光电管。
V

GUARD Pass Imeter 350?s Contact Check GUARD SENSE IN/OUT HI SENSE HI V or I V meter Source (optional) SENSE LO IN/OUT LO Pass Fail

I L test VR test
Imeter Local Remote Isource Vmeter/Compliance DUT IN/OUT HI SENSE HI

图6, 接触检查功能在执行测试之前, 识别Force, Sense 和 Guard 端是否连接到了被测器件处。

图 2,半导体结的特性需要测量反向击穿电压(V R),漏 电流(IL),和正向压降(VF)

Remote Local

SENSE LO IN/OUT LO

远端电压测量
数字源表系列仪器提供 2 线法和 4 线法的测 量能力。2 线法测试中的测试与源输出共用一套 表笔。如图7a。当输出高电流时,相比于被测器 件上的正向压降, 损耗在测试表笔上的电压降可 以忽略。

对于一个有源光电器件完整的特性分析需要 正向和反向的电压和电流源。例如,反向击穿测 试需要输出一个非常小的、精密的反向电流 (10nA)的同时测量电压。

图 4,在电流源模式下,数字源表可以在输出电流的 同 时测试电压。 远端的电压Sense确保电压没有超过程控 的嵌位值。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

51

光电测试方案

Output HI

2400 SourceMeter

Sense HI

+ -

回路的引入将测试线与围绕测试线的导体之间的 电势差降到最小(图 8)。当源测试线与保护线之 间的电势差很小时, 潜在的泄漏电流的通道就被 抑制住了。 这一技术需要一个额外的放大器, Sense程 控源的输出, 然后在足够的电流下驱动保护电路 达到同样的电势, 从而避免被保护的元件与地端 的任何泄漏电流。

可以在一起使用:一台数字源表做驱动,同时监 测电压响应, 另一台数字源表做光电二极管的偏 置,同时纪录有源器件的光 输出。图 11 显示了 2 台数字源表同步工作进行 LED 的特性分析。
2400 #1(LED)
INIT TRIG:INP SENS Line #1

Output LO

Sense LO

2400 #2(PD)
TRIG:INP SOUR Line #2

S D M
TRIG:OUTP SOUR Line #2

S D M
TRIG:OUTP DEL Line #1

图 7a,2 线法测试

触发 I/O
典型的传统仪器只支持简单的触发In和Out 的对话。 对于工程师的挑战是控制仪器之间的触 发序列。经常的情况是,简单的触发 I/O 并不能 允许仪器的不同动作,或者多个仪器之间的触 发。图 9 显示了大多数的光电仪器的触发原理。

图 11,SDM 触发同步 2 台数字源表仪器

Output HI

2400 SourceMeter

Sense HI

+ -

Output LO

Sense LO

Input Trigger

(A/D, Close Channel, etc.)

Meter Operation

Output Trigger

注意触发In和触发Out在各个阶段之间是互 相关联的,以确保对于LED 和 PD 的测试是同步 进行的。 这一技术也可以应用到数字源表仪器与 光谱仪等仪器一起工作的情况, 只有在数字源表 的驱动电流稳定之后, 光谱仪才可以进行相关的 测试。

图 7b,4 线法 /Kelvin 测试

图 9,典型的触发 输入 / 输出 原理

被测器件的完全保护
DUT 的保护在光电器件测试中是一个重要 的问题。 数字源表仪器是理想的为有源光电器件 提供安全的电子测试环境的仪器。 输出关掉后, 仪器驱动输出端口间的电压至 0V。这个动作将器件和导线上的能量放掉, 放电的比例可以通过源量程的设定来控制。 相对于传统的激光二极管驱动源所应用的短 路继电器来讲,这是一个更好的环境。


4 线法电压测试使用单独的表笔测试 DUT 上面的压降。 因为电压测试的回路具有非常高的 输入阻抗, 因此该回路中测量表笔上流过的电流 非常小, 相对于DUT上的电压降, 这个小电流在 表笔上所产生的压降就可以忽略。

Series 2400 SourceMeter

Output HI

Metal Case

数字源表仪器将测量周期分成3 部分,如图 10。分别是源阶段,延迟阶段和测试阶段 (称为 SDM周期)。 源表的触发模式允许对SDM周期中 的每个阶段进行程控,因此,每个阶段就可以接 受输入的触发, 并且每个阶段在结束后都可以程 控输出一个触发。 如果多个仪器都是仅仅只有单 一的触发In 和触发Out 的话,数字源表仪器可使 用 TriggerLink 来解决。
Before Source Before Delay Before Measure



Standoffs A Guard

RL1

R L2

SourceMeter Input Triggers

x1

Metal Plate

S
Output LO
Source

D
Delay

M
Measure (Sense)

数字源表仪器提供可程控的钳位, 量程钳位 和电压保护的设置,确保 DUT 不会遭受过 大的电压或者电流。 接触检查功能在对 DUT 激励之前确保所有 的测试表笔连接到了 DUT。

图 8,保护回路使得受保护的导体与输出高端等电势

After Source

After Delay

After Measure

SourceMeter Output Triggers



微弱电流的测试需要驱动保护(Driven Guard)
Keithley 的测量设备中独一无二的是,保护

图 10,数字源表仪器的触发 In 和触发 Out 原理

对有源光电器件精确的特性分析经常需要多 个测试仪器同时工作。例如,2 台数字源表仪器

除此之外, 数字源表仪器系列继承了精密半 导体元器件测试和比有源光电器件更灵敏的器件 测试的应用和特点。

www.keithley.com.cn
52
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

光电测试方案

系统 25 激光二极管 LIV 测试系统套装






在封装或温度控制之前简化激光 二极管 LIV 测试 芯片(chip)或棒料(bar)阶段 的激光二极管 LIV 生产测试的综 合解决方案 综合高精度的源与测量能力,用 于脉冲与 DC 测试

用于脉冲测量的 2520INT 积分球


新型号 2520 源与测量的同步能力确保了 很高的测量精度,即使是对500ns 的脉冲宽度 进行测试。 它可以进行最大5A的脉冲 LIV测试 和最大1A 的连续LIV 测试。 其脉冲测试能力使 它适合于测试多种激光二极管。主机与远端测 试头结构增强了脉冲测量的精度。

● ●

优化激光二极管脉冲 测试 内置锗探测器 极好地配合 2520 脉 冲激光二极管测试 系统

激光二极管支架(夹具)
854X 激光二极管支架系列提供了非常稳 定的温度控制简易平台,用于测试电信行业中 所使用的激光二极管。有三种不同的夹具设 计,它们都同 Keithley 流行的激光二极管 LIV 测试系统相兼容。 所有14针双列直插与蝶形封 装激光模块均可以安装在 854X 系列上。

2520型的短脉冲结合2520INT 的速度,可以在封装成带温控的模 块前, 理想地测量在芯片 (chip) 或 棒料 (bar) 阶段的激光二极管的光 功率。 当2520INT 通过低噪声三同 轴电缆同2520连接在一起时, 可以 使 2520 对激光二极管的光功率进 行直接的、高精度测量。

● ●



简化 LIV 测试系统的配置 有三种夹具设计可选择, 都带有必要的电缆 TEC 有环境温度控制

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

53

光电测试方案

系统 25 激光二极管 LIV 测试系统


● ● ● ●

可编程 LIV 测试系统,用于激光二极 管模块测试 在不到 8s 内扫描并且测试400 点 极低的驱动电流源噪声(50?A) 最大可到 5A 激光二极管驱动电流源 触发连接、源存储器以及缓冲存储 器,支持自动测试序列

Keithley的LIV(光强-电流-电 压)测试系统用于满足激光二极管 模块(LDM) 制造商生产测试的要 求,使他们增加产量和收益。LIV 测试系统将多台仪器组合起来, 包括测试激光二极管模块直流特 性、光功率与严格的温度控制等 仪器。系统全部采用 Keithley 仪 表,可以很容易地对基本配置进 行修改,增加新的测量功能或重 新连接。Keithley 已经开发了多种标准系统配置,包括用于与 PC 之间通 讯、 仪器之间的触发和连接至测试器件所需的所有电缆和适配器, 还包括 一套安装仪表的标准机柜。

2502 型双通道光电表


2502 型双通道光电表是为提高激光二 极管模块 LIV 测试系统的速度而设计的。这 台双通道的仪器很容易与系统中其他的仪器 进行匹配和同步, 对光功率测量等进行紧密 的控制。针对激光二极管直流 / 连续的测量 标准,2502 对背光探测器和 2500INT 积分 球中的探测器或者光纤耦合的探测器提供电 压偏置, 同时, 2502 测试这 2个探测器上面 的电流输出,并且转换为需要的功率值。校 准系数取决于激光器的波长。2502 支持已 经进行完光纤准直程序之后的激光器的测 试,无需将模块转移至指定的测试台,避免 了额外的生产流程。



● ●

● ●

针对光功率 / 光电流测试的 双通道仪表 将光纤准直和器件特性分析 整合在一起 ± 100V 的探测器电压偏置 光电流测试能力从 1fA 到 20mA 1fA 的暗电流测量分辨率 用户可编程的光电转换系数





硅、 锗或带制冷器 的铟镓砷探测器 Spectralon? 积分 球内表面确保了 高的反射率

2500INT 型积分球
当2500INT通过低噪声三同轴电缆同 2502型双通道光功率计连接 在一起时,可以对激光二极管的光功率进行直接的、高精度测量,结果 用瓦特表示。积分球简化了激光二极管(LD) 、发光二极管(LED)及 其它发光器件的生产测试,消除了同探测器对准、射束轮廓、极化以及 背反射有关的常见的光功率测量问题。2500INT 可以提供硅、锗或带制 冷器的铟镓砷探测器,并提供校准系数。

www.keithley.com.cn
54
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

光电测试方案

2510 型温控源表
● ● ● ●



● ● ●

提供完全数字化 PID 控制 用于激光二极管模块测试时控制温度 2510-AT 为温控回路提供自动调节的能力 宽的温度设置(-50 ?C 至 +225 ?C) ,分辨率 (± 0.001 ?C) ,稳定性(± 0.005 ?C) 支持多种温度传感器-热敏电阻、 铂电阻以及IC 传感器 保持恒定的温度、电流、电压和传感器阻抗 交流欧姆测量方法检测 TEC 机械损坏 控温时测量并显示 TEC 参数

2510 和 2510-AT 温度控制( TEC)源表,用于通信激 光二极管测试时对所测试的设备进行严格的温度控制。 它们结 合了Keithley在高速直流源与测量方面的优势, 以及准确控制 激光二极管模块的热电型制冷器的能力。 2510-AT通过提供自 动调节扩展了 2510 型的能力,这样用户就不需要通过实验来 确定 P-I-D(比例、积分与微分)系数的最佳值。

7090 型光开关卡


● ● ● ● ● ●

对一个器件进行多种测试,而不需要改变测 试设置 用一台仪表测试多个器件 1x4, 1x8 和 1x16 光开关卡 单模或多模光纤 极低的插入损耗,典型值为 0.6dB 0.03dB 重复性 可以提供 FC/SPC 和 FC/APC 光纤接头选件

7090 型光开关简化了从一个输入光纤通道到四个、八个或十六个输出光纤通道的准确连接。当同现有的 7001/7002 系列开关 插卡结合在一起时,这些光开关可以令单一的7001 或 7002 型开关主机进行光信号、射频与直流开关的混合切换,扩展自动测试的 能力。7090 型插卡同所有其它 7001/7002 系列开关插卡相兼容,这样它们可以同直流开关插卡一起使用,以控制LIV 测试系统并提 供射频信号切换的能力。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

55

半导体参数测试系统
技术介绍
从材料研究到成品测试和监控,Keithley 都是集成电路制造 者信赖的半导体测试解决方案的领导者。 在研发中心, Keithley 半 导体特性分析系统可以提供无可匹敌的灵敏度, 灵活的整合实验材 料和设备,描绘器件特性,验证新的设计。 Keithley 也为制造过程 管制提供自动化参数测试技术的监控, 而且有缩短测试周期的许多 革新,降低测试的费用。

半导体器件特性分析的解决方案
半导体制造业者仰赖 Keithley 工具和系统帮助他们比较快速地 进入市场,带来利润, 而且在最短的时间内达成最高的器件可靠性。 这些测试方案已经根据半导体工厂和研究人员的特殊需要而进行了 设计。 待测器件 应用需求
IV,CV测试

Keithley 解决方案
4200-SCS 590 C- V 分析系统 2400 数字源表 4200-SCS 590 C- V 分析系统 4200-SCS 2410 数字源表 590 C- V 分析系统 6517 静电计 4200-SCS 6517 静电计 2182 纳伏表 590 C- V 分析系统 6430 亚飞安远程源表 4200-SCS 2400/2410 数字源表 4200-SCS 2400 系列数字源表 6517 静电计 2000 系列数字万用表

材料研究的解决方案
我们的创新工具和系统正在下列的新兴技术应用中,像高 k 材料,铜痕迹,低 k 隔离,III -V 族的混合物,碳纳米管等发挥重 要的作用。 模块化设计, 灵活的组合和易于扩张, 可有效地减少重 组系统需要的费用。

晶体管

器件建模 电容

数据采集和参数提取 电容,电荷,低电流,击穿电压

材料
导体

应用需求
低电阻和电容测试

Keithley 解决方案
2182 纳伏表 2010 数字万用表 2750 多用表 / 开关系统 4200-SCS 2400/6430 数字源表 590 C- V 分析系统 3330 LCZ 表 6485 皮安表 4200-SCS 6430 亚飞安远程源表 2182 纳伏表 1801 前置放大器 2000 系列数字万用表 2510 温控数字源表 6517 静电计 6430 亚飞安远程源表 6485 皮安表 4200-SCS 6430 亚飞安远程源表 590 C- V 分析系统 707 /7174 开关系统 2000 系列 数字万用表 系统 82 C-V 分析系统

纳米电子 器件

CV 特性 低电阻测试 纳米电子,分子电子 IV 曲线

二极管 电阻

高击穿电压,IV 曲线 大范围,高精度,快速

小电流测试

超导体

低电压的低噪声快速测试 低电阻的低噪声快速测试

可靠性测试解决方案
Keithley为可靠性测试提供完整的解决方案 ,帮助制造业者控制 不良率,减少失败,和增加客户满意. 从晶圆级的器件到封装部份 测试,这些系统带着卓越的测量能力,以扩大产能。 测试 应用需求 Keithley 解决方案
2400 系列数字源表 2700 集成系列 4200-SCS 和 KTEI 5.0 2400 系列数字源表 6430 亚飞安远程源表 2700 集成系列 700 开关系统 2000 系列数字万用表 LabVIEW VI Drivers, VISA Drivers 2700 集成系列

绝缘体

高阻测试

半导体

可靠性测试, 电容测试, 电阻率测试

加速老化试验 AST 多器件测试 WLR HCI 质量控制 并行测试 客户自定义模块

实验室环境

监测温度,湿度 分布式 / 远距离通讯

www.keithley.com.cn
56
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

半导体参数测试系统

制程控制解决方案
Keithley帮助半导体工厂控制他们的参数测试费用,提高产能 和准确性,主要的特性包括超低的漏电线路,并行 (单一插入) 的 直流和射频测量,灵活地选择适合样品的测试,菜单管理软件使测 试计划更有效。 制程
工艺

应用需求
RF/DC, SOC, FeRAMs, MRAMs, LCD-TEGs MOSCAP GOI, ECD, Vt

Keithley 解决方案程
S400/S600 参数测试系统 4200-SCS 4200-SCS S400/S600 参数测试系统 2400 系列数字源表 S400/S600 参数测试系统 4200-SCS S400/S600 参数测试系统 S400/S600 参数测试系统 4200-SCS

栅极

第二层金属 连线 设备资格 晶圆

Contact check, 电迁移 EWR 杂质密度 晶体管,二极管,电容,电阻,

功能测试的解决方案
经济的,高速度的功能测试可从Keithley获得,甚至是小批量 的应用。 对封装后的器件进行高重复性的通过/失效检测, RFIC, 像 光电集成电路,其他的电路或特殊器件,可帮助减少制造业者测试 的总费用。 系统整合上的专长允许 Keithley 为多种应用提供器件筛 选和高速度的开关切换。 制程
IDDQ

应用需求
加电压,测小电流

Keithley 解决方案
2400/2420 数字源表 7000 系列开关系统 4500-MTS 2425 100W 数字源表 2520 脉冲二极管测试系统 7000 系列开关系统 4500-MTS 2400 系列数字源表 7000 系列开关系统 系统 40 RF/ 微波开关系统 4500-MTS 4500-MTS 2800 RF 功率分析仪

光电集成电路 和收发机

加电压,测电流 加电流,测电压

客户自定义小 量功能测试

顺序测试, 快速通过 / 失效测试, RF 多通道 IV 测试 RFIC 功率放大器测试

特殊测试

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

57

半导体参数测试系统

S400 直流 / 射频测试系统
● ● ●

● ●

用于半导体工艺 PCM(WAT)或半导体器件参数提取 可以提供三种不同的系统配置 可以用于高频器件工艺生产中的参数测试, 如移动电话及通讯基站所用元 器件测试 利用现有的基于 UNIX 的 S400 系统 晶片级 s- 参数测试: - 器件参数提取,可与 BSIMPRO,IC-CAP,UTMOST 软件兼容 - 工艺监控测试, (测试程序可将 s- 参数转换为射频参数,如 fmax, ft, Rbb 和 Q) - 复杂信号的常规分析,包括用户定义的 a1, a2, b1 与 b2 的组合

S600 直流 / 射频测试系统
● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

在一个测试系统 / 探针台组合中,综合了直流与射频测量功能 独立进行直流与射频参数测试 采用先进的矢量网络分析仪与直流 / 射频探针卡结合的测试技术 使用现有的 S600 与 S630 系统 12 项 SOLT 校准或用户自定义校准算法 1fA/1?V 直流精度 1kHz 频率分辨率 与 200mm,300mm 探针台相兼容 支持工厂自动化生产 配置灵活,经济实惠适用于新工艺与应用

Keithley 开发的测试平台在 KTE (Keithley Test Environment)软件下运 行,KTE 是一套强大的测试程序开发与 运行的软件包。其能力包括容易使用的 图形界面、 标准测试算法库、 开发测试宏 的能力、 支持客户编写的C程序、 本地语 言操作界面等。 可选的 KTE 产品工具:








Probe Card Manager(探针卡管理 系统)自动化管理探针卡库存并根 据用途支持计划的预防性维护 Copper Analysis Library (铜工艺分 析库) 提供了专业测量能力, 可以加 速并简化铜工艺监控 AdapTest 可以大大地节约测试时间 与工程建立时间

Keithley Recipe Manager(Keithley 方 法管理系统)使开发人员可以很快、 且很容易地创建、修改并且分配程序

www.keithley.com.cn
58
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

半导体参数测试系统

4200-SCS 型半导体特性分析系统
● ●













直观的、点击式 Windows 操作环境 独特的远端前置放大器, 将SMU 的分 辨率扩展至 0.1fA 内置PC提供快速的测试设置、 强大的 数据分析、 制图与打印、 以及测试结果 的大容量存储 独特的浏览器风格的软件界面,根据 器件的类型来安排测试,可以执行多 项测试并提供测试序列与循环控制功能 支持 Keithley590 型与 Agilent 4284型 C-V仪、Keithley 开关矩阵与 Agilent 81110 脉冲发生器等多种外围设备 硬件由 Keithley 交互式测试环境 (KITE)来控制 用户测试模块功能,可用于外接仪表 控制与测试平台集成, 是KITE 功能的 扩充 包括驱动软件,支持 Cascade Microtech Summit 12K 系列、 Karl Suss PA-200 和 PA-300, micromanipulator 的 8860 自动 和手动探针台

容易使用的 4200-SCS型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、 实时绘图与分析, 具有高精度和 亚 fA 级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力,包括完整的嵌入式PC 机,Windows NT 操作系统与大容量存储器。 其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程,这样用户可以更快地开始分析测试结果。4200-SCS 提供了很 大的灵活性,其硬件选项包括开关矩阵、Keithley 与 Agilent C-V 仪以及脉冲发生器等多种选择。 4200-SCS 为模块化结构配置非常灵活。系统最多可支持八个源-测量单元,包括最多四个具有1A/20W 能力的大 功率 SMU。远端前置放大器选件4200-PA,可以有效地减少长电缆所贡献的噪声,且使SMU 扩大五个小电流量程,使 其测量能力扩展到0.1fA。 前置放大器模块同系统有机地组合成一体, 从使用者看来, 相当于扩充了SMU的测量分辨率。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

59

半导体参数测试系统

4200-SCS 器件模型驱动器
Keithley 4200-SCS 具有很大灵活性,用于器件建模 / 电路 仿真环境设计工作。技术人员可以应用 Celestry BSIMPro 或 Agilent IC-CAP 参数提取软件,通过系统内置的 GPIB 接口来控 制 4200-SCS 系统。并通过仪器的驱动程序控制 4200-SCS,就 象 4200-SCS 的仪器被联接到建模系统中。4200-SCS 提供一组 GPIB 命令,可与4145 命令相兼容,使4200-SCS 用户可以充分 利用 4200-SCS 的源与测量能力。

Celestry BSIMPro 支持 4200-SCS

4200-SCS 提供 Agilent IC-CAP 驱动

www.keithley.com.cn
60
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

半导体参数测试系统

系统 82- 4200 和 82- WIN 同步 C-V 系统
Keithley C-V 软件提供 C-V 测量与计算参数的综合分析,对 半导体工艺进行质量监控,以提高器件的产量。我们的C-V 测量 广泛应用于全球的半导体制造行业和研究单位,其应用包括:
● ●

开发并集成半导体新工艺 研究开发新材料与器件结构,如薄氧化层, 高 -K/ 低 -K 电介质 金属化以后的工艺质量 器件可靠性 失效分析

● ● ●

系统82-WIN提供同步C-V测试 -可以在一次电压扫描中同 时进行准静态与高频 C-V 测量。Keithley 所特有的同步技术改善 了 C-V 测量精度。此技术消除了多次测量、理论曲线的引入以及 浓度分布图假设的需求。 同步C-V测试方法消除了分布测量中器件因电压应力引起 的变化产生的误差。 它也消除了由于各种因素引起的曲线对位误差。 此方法最大程 度地减少了软件与硬件集成问题,而自动测试程序也有助于提高产量。

595 型准静态 C-V 仪

590 C-V 分析仪



● ● ●

测量准静态电容(10fF-20nF) 及直流电流(1fA-200?A) 背景泄漏电流的电容读数校正 快速达到器件平衡状态 卓越的信噪比性能

● ● ● ●

100kHz、1MHz 或 100kHz/1MHz 测试频率 测量电容(10fF-20nF)与电导(0.1nS-1?S) 内部校正由于电缆、连接及切换路径引起的误差 内置式测试设置与纠正值储存、分析与绘图控制,以减 少电脑编程

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

61

低电流/高阻测量
技术介绍
电流表是测量电流流动的仪器, 以安培为单 位。一般有两种主要的电流表结构:分流式和反 馈式。 理想电流表不会改变电流流经的道路, 所以 它具有零输入电阻和零输入端压降。 一个实际的 电流表总会引入一个非零的输入端压降。 通常情 况下, 该误差项由电流表除以被测电路的电阻表 征。 分流式电流表的输入端压降通常在几百毫伏 数量级。 图 3 说明了在测量晶体管的发射极电流时 由高输入端压降造成的问题。 虽然基本被测 电流 可以用 DMM 很好的测出,但 DMM 的输入端压 降显著地减小了加在DUT上的电压, 造成了发射 极上的电流小于所要测的。 如果用一个皮安表或 静电计代替, 输入端压降所造成的发射极电流的 改变就很微小了。

分流或与反馈式电流表
分流式电流表是最常见的型式并且在很多应 用中用到;反馈式电流表在测量小电流时更加合 适;由于现在的被测电流幅度越来越小,他们的 用途越来越多。但是,选择合适的电流表不仅由 被测电流的大小决定, 还要分析被测器件的特性 (最典型的例如阻抗) 。

产生电流误差的源
低电流测量受一系列会对测量精度造成影响 的误差源的决定。 所有的电流表都会产生一些小 的电流源,即使在输入端开路时也是。这些偏置 电流能够通过打开仪器电流抑制来部分消除。 外 部的电流泄漏是附加的误差源;因此,适当的防 护 / 或屏蔽是很重要的。DUT 的源内阻也会影响 到电流表的噪声性能。另外,测试系统里还有一 些外来生成的电流会加到被测电流上,引起误 差。 下面几段会讨论各种类型的生成电流和如何 使他们对测量的影响最小。

分流式电流表与数字多用表
分流式电流表是最常见的电流表类型并且在 几乎所有的数字多用表(DMMs)里都含有。这 些表通过测量在输入端形成的与被测电流成比例 的电压得出电流。 (如图 1)
图2

反馈式电流表
反馈式电流表比分流式电流表更接近“理 想”表,并且用于测量微安(10-6A) 或 更小电 流尤其在严格要求电流表具有低输入阻抗时。 与 分流式电流表不同, 反馈式电流表在一个高增益 运放的反馈回路上产生一个电压(如图2) ,此电 压依然与被测电流成比例;但是,在仪器的输入 端观测不到这个电压,而是在运放的输出端。输 入电压等于输出电压除以运放的增益 (典型值为 100, 000) 所以输入端压降就比毫伏显著减小。 , 反馈电流表的结构具有更小的输入端压降, 所以 它会在测量小电流时和由低阻器件产生的电流时 减小误差。Keithley 的静电计和皮安表都运用反 馈电流表的技术。

图1

分流式电流表的主要缺点是他们原理上的高 输入阻抗设计。在电流减小时这种缺点更加明 显。 因为必须要用较大的分流电阻以生成一个可 测量的电压。 但是, 在分流电阻显著小于DUT并 且被测电流不是非常小(不小于微安〔 10 -6 A〕 ) 时,分流电 流表工作良好。

图4

300mV – VBURDEN

摩擦生电效应是由于导体和绝缘体之间摩擦 造成的电荷的失衡产生的, 如图4。Keithley的低 噪声电缆通过在外层绝缘层下采用包裹石墨的聚 乙烯作为内层绝缘材料来显著地减小这种效应。 石墨可以提供润滑作用, 还能形成等电位层以中 和并最大限度地减小电荷产生。 压电电流是当压力作用在用于绝缘端和内部 连接硬件的晶体材料上时产生的。某些塑料,有 电荷储存的容器就具有类似于压电材料的特性。 一个采用压电绝缘材料的例子如图 5。为使这种 效应产生的电流最小, 要使压力不作用于绝缘体 并且使用压电及储存电荷效应最小的绝缘材料。

输入端压降
电流表的输入端电压称为输入端压降。 相比 于电流表接入前, 此电压会通过仪表形成一个非 常小的电流,因此,电流表就无法读取到真正的 被测电流。

1V 0.7V I V BURDEN

图3

www.keithley.com.cn
62
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

低电流/高阻测量

料并且将湿度保持在合适的水平。同时,使所有 的绝缘体清洁无污染。 图 7 归纳了不同的生成电流的大概幅度。

变极性测量方式
当测量极高阻率的材料时, 背景电流会造成 显著的测量误差。 他们可能是由于材料的电荷储 存 (介质吸收) ,静电或摩擦电荷, 或压电效应来 产生的。 变换极性方式可以做到消除样品上的背景电 流的各种影响。 用此方式, 先加一个正向电压, 然 后在一预先设定的延迟后测量电流。接下来,电 压极性反向,用同样的延迟后再次测量电流。极 性反向的过程可以重复任意次。 电阻由最近测量 的电流值的加权平均来计算出。许多Keithley 的 皮安表和静电计在预置的测试序列里有交换极性 方式。

高阻测量
对于高阻测量(>1G Ω) ,最常用的是在未 知电阻上加一个恒定电压。 产生的电流可以用串 联的电流表测出,电阻就可以用欧姆定律得出 (R=V/I) 这种加电压测电流的方式 。 (相对应的是 加电流测电压)更适用于高阻测量,因为大电阻 通常是所加电压的函数。因此,在一个适当的并 且可控制的电压下测量电阻是很重要的。 这种方 式绝大部分需要用一静电计或皮安表测量小电 流。 所有的前段所述的小电流技术和误差源在这 里都适用。 在高阻测量里,泄漏电流是典 型的误差源。他们由在测量电路和 附近电压源之间不希望的高阻通路 产生(泄漏电阻) ;可以用适当的防 护技术, 使用清洁、 质量好的绝缘及 尽量降低湿度来减小。 图8中显示了各种绝缘材料的典 型阻值。同样的绝缘材料,吸去水分 可以使电阻提高几个数量级。表 显 1 示了他们的吸水和其他性质的描述。

图5

Printed Wiring

Epoxy Printed Circuit Board

I

+ –
I

Flux or other chemical “track” and moisture

图6

污染和潮湿能产生误差电流, 这是由于沾污 和潮湿发生的电化学效应(离子化学的形式)产 生一个弱的“电池”在电路板的两个导体端。例 如,通常使用的环氧印刷线路板,如果没有彻底 清洁腐蚀液,熔融剂,油,盐(如指印)或其他 污染,能在导体间产生几个nA 的电流(见图6) 。 为避免污染和潮湿的效应, 选择不吸水的绝缘材

图7

图8

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

63

低电流/高阻测量

弱电流 / 高阻测量产品选择指南
皮安表 Picoammeters
型号 电流 从1 到 电压 从2 到 电阻 4 从5 到6 电荷 从2 到 输入插头 特性 6485 20 fA 20mA 6487 20 fA 20mA 6514 <1 fA 20mA 10?V 200 V 10? 1P? 10? 200G? 1f 0c 20?C 3 Triax Slot
1 2 5/ s. digit

静电计 Electrometers
6517A <1 fA 20mA 10?V 200 V 100? 10P?3 1f 0c 20?C 3 Triax Slot
1 5d2gi . il-i / tsBu t n i

源-测量单元 Source-Measure Units
6430 400 aA 100mA 10?V 200 V 100?? 10P?3 236 30 fA 100mA 10?V 110 V 100?? 0.1 3 P? 237 30 fA 100mA 10?V 1100 V 100?? 1P?3 238 30 fA 1 A 10?V 110 V 50?? 0.1 3 P?

BNC
1 2 5/ s. digit

3 Triax Slot
1 2 5/ s. digit

3 Triax Slot SourceMeter with Remote PreAmp to minimize cable nie os.

3 Triax Slot

3 Triax Slot

3 Triax Slot

Source/measure capability.
1 Higpe 5? it h ed. 2 s. s dig

Aut ngi 100 ora ng. 0 rgs d/.

B i t i0 V u l -5 0 n suc. ore A t r a iv l a e l e n t no t g g method HI-R for sep w es

Rpae e l c Models s 6512, 617-HIQ.

±1kV source. Temperature, RH measurements. Atraig lentn pola metho rity d f r -R u i o I . g-n H Pl s itc ds w ch ar aalbe vial.

CE
. 1 . 2 . 3 . 4 . 5 . 6

Ys e

Ys e

Ys e

Ys e

Ys e

Ys e

Ys e

Ys e

Includes noise. Digital resolution limit. may to added. Noise have be P?(Petaohms) 10 ?. = 15 Resistance measured the 237, 238 is with 236, and using Source V/Measureor I Source I/Measure but directly V, not displayed. Lowest resistance measurable better 1% with than accuracy. Highest resistance measurable better 10% with than accuracy.

www.keithley.com.cn
64
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

低电流/高阻测量

6487 型皮安表 / 电压源

● ● ● ● ● ● ● ●



10fA 分辨率 5 1/2 位读数 输入端压降<200?V 自动电压扫描,用于 I-V 特性分析 浮地测量至 500V 速度可达 1000 个读数 / 秒 数字 I/O 提供 LabWindowsTM/CVI, Visual Basic, C/C++, 及 TestPointTM 驱动程序 包括 ExceLINXTM Excel 内插式软件

6487 的其它特性包括: ● 使用源电压测量电流的方法进行直接的电阻测量 ● 交替电压极性法电阻测量, 此方法改善了背景电流或噪 声大的情况下电阻的测量,把可测电阻扩展至 1016 ? ● 500V 过载保护 ● 后面板三同轴输入,这样皮安表可以用于浮地操作, 最大 500V ● RS-232 与 IEEE-488 接口 ● 比例化电压模拟输出,此输出使 6487 可以把测量结 果传递给以下装置,如 DMM、数据采集卡、示波器 或波形记录仪 ● 内置触发连接接口,简化了 6487 同其它仪表及电 压源的同步 ● 显示器开 / 关功能,适用于研究光敏器件 ● 单触式前面板设计 ● 数字化校正

6487 皮安表 / 电压源具有八个电流测量量程和 高速自动量程,可测量的电流从20fA 到 20mA,按照 每秒最多 1000 个读数的速度进行测量,电压源从 200?V 到 505V。其 10fA 的分辨率、卓越的灵敏度、 电压扫描以及交变电压极性测量使它非常适合于低电 流器件特性分析。它使用最新的电流测量技术,比类 似功能的其它仪表便宜得多, 如光功率计、 兆欧表、 其 它的皮安表或用户自制系统。 6487 相当于一台高级 万用表的价格, 是任何实验室或生产车间都负担得起 的皮安表。 数字表一般使用分流电流表电路来测量电流, 而 6487 采用反馈式电流表。此设计把输入端压降减少 了几个数量级,使在低量程上压降小于200?V。低的 输入端压降使 6487 的功能更象一个理想的安培计, 而不是数字表,所以它可以很准确地测量电流,即使 是源电压很低的电路。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

65

低电流/高阻测量

6514 型静电计
● ● ● ● ● ● ● ● ●

6 1/2 位分辨率 速度可达 1200 个读数 / 秒 简易的用户界面 <1fA 噪声 电压测量时>200T? 输入阻抗 内置恒定电流源 主动消除电压与电流偏移 IEEE-488 与 RS-232 接口 数字I/O和 Handler接口, 用于自动测试
6514 型静电计适合快速和准确的低电流、高源内阻电压、电荷及高阻的测量。对于不需要使用电压 源的场合,它在合适的价格下提供卓越的测量性能。6514 的价格相当于一台高档数字表,但是它比数字 表提供更高的电流灵敏度和更低的输入端压降(低至 20?V) 。内置恒定电流源简化了电阻测量,2V 模拟 输出与前置放大器输出可以用于波形记录仪记录数据。

6485 型皮安表

● ● ● ● ● ● ●

高性价比低电流测量解决方案 10 fA 分辨率 5 1/2 位分辨率 <200?V 输入端压降 速度可达 1000 个读数 / 秒 IEEE-488 与 RS-232 接口 模拟输出

5 1/2位6485型皮安表是高性价比小电流测试 仪器,可以测量 20fA 到 20mA 的电流,按照每秒 最快1000个读数的速度进行测量。 它具有的10fA 的分辨率与高灵敏度,使它特别适合于低电流测 试场合, 而它20mA的量程使它可以测量较高的电 流,如测量4-20mA 的传感器电流。尽管 6485 使 用了最新的电流测量技术,但它仍比类似功能的 其它仪表便宜得多, 比如光功率计, 其它的皮安表 或用户自制的系统。6485 的价格相当于通用的数 字表, 用它进行皮安级的电流测量, 任何实验室或 生产车间都可以负担得起。数字表一般使用分流

www.keithley.com.cn
66
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

低电流/高阻测量

6514 设计用于快速、灵敏的测量,其低廉的价格 使它可以适合于各种低电流测量场合, 如测试开关、 继 电器与其它部件中的阻抗与泄漏电流。内置式 IEEE488、 RS-232与数字式I/O接口使它可以很容易地配置 为全自动、高速系统,用于低电平测试。6514 可提供 高达每秒 1200 个读数的快速测量。它在2nA 信号上提 供 10fA 的分辨率,达到最终值的10% 内的建立时间仅 为 15ms。 6514反馈式电流表的设计最大程度地减少了会干 扰准确的低电流测量的输入端压降。 在最低电流测量量 程内不到 20?V 的输入端压降以及不到3fA 的输入偏置 电流,使6514 准确地提供极低电流测量。通过手动或 者是总线操作,6514 还可消除残留的输入电压或电流 偏置。

6430 型亚 fA 远程源表



电流表电路来测量电流, 而6485采用反馈式皮安 表。此设计把输入端压降减少了几个数量级,使 在低量程上输入端压降小于 200?V。低的输入端 压降使 6485 的功能比数字表更象一个理想的安 培计,所以它可以很准确地测量电流,既使是源 电压很低的电路。



● ● ● ●

0.4fA p-p (4E-16A)噪声 远端前置放大器可以位于信号源处,放大后传输以减少 噪声 输入阻抗>1016 ? 高速-可达 2000 读数 / 秒 6 1/2 位分辨率 快速元器件特性测试,带可编程数字式 I/O 接口

6430亚fA程控源表集合了Keithley源表产品和源测量单元(SMU) 的电压电流源及测量功能, 比静电计灵敏度更高, 噪声更低, 输入阻抗 更高。这种独特的性能是通过6430 远端前置放大器实现的,它提供非 常灵敏的双向放大器,用于测量或产生被测试器件的电流。 6430 按照 静电计无法达到的速度测量电压、电流与电阻。它可以每秒读取最多 2000 源 / 测量读数,读入内部存储器中。可以测量快速小电流, 100nA 量程可响应短至 5ms 的信号,较大量程可响应几百微秒的信号。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

67

低电流/高阻测量

6517A 型 静 电 计/ 高 阻 系 统
● ● ● ● ● ● ● ● ● ●

电流测量范围 100aA-20mA 电压测量范围 10?V-200V 电阻测量可达 1017? 电荷测量范围 10fC-2?C 简易的类似 DMM 的操作界面 最小电流量程输入压降<20?V 200T? 输入阻抗 <2fA 偏置电流 噪声 0.75fA p-p 内置± 1kV 电源

6521 和 6522 型 10 通道扫描卡,插入6517A 的后面板插 槽,可以测量多路弱电流。

6517A 型静电计 / 高阻表集合了高精度,高分辨率和丰富的功能,使 测量高阻和绝缘材料电阻率变得简单。它具有125 读数 / 秒的读数率,比同 类型的静电计快很多。在最小量程上,6517A 型的电流输入放大器具有偏 置电流<2fA,噪声 0.75fAp-p 和<20?V 输入压降。电压和电阻测量输入阻 抗是 200T?,非常接近理想电路的负载。这些指标使 6517A 能够满足低 电流,高源内阻电压、电阻和电荷测量对灵敏度和准确度的要求。内置的 ± 1kV 电压源,具有扫描的功能,简化了漏电、击穿和电阻测试,以及绝 缘材料的体电阻(? - cm)和表面电阻率(?/square)的测量。 6517A 有几个特性可以保证高阻测量的准确性。例如:内置电压源可 简化判定绝缘电阻和所加电压之间的关系。非常适用于电容漏 电,绝缘电阻、印刷电路板的表面绝缘电阻,电阻器的电压系数 和二极管漏电参数等测试。 内置测试序列, 采用反转电压极性法, 用于极高电阻测量, 特别适用于具有本底电流的材料和样品的测 试。

65 型高阻测量系统包含 6517A 和 6524 软件,它通过PC 控 制,可简便操作 6517A 和帮助优化测试参数(延时,电压 等) ,这个系统包含 8009 型电阻率测试夹具和静电计以及 所需的电缆。

www.keithley.com.cn
68
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

低电流/高阻测量

236/237/238 源测量单元


● ● ● ● ● ● ●

四表合一(电压源,电压表,电流源, 电流表) 10fA,10?V 的测量分辨力 1100V 电压源和测量能力(仅 237) 1A 电流源和测量能力(仅 238) 标准和用户定义扫描模式 (支持脉冲方式) 每秒 1000 次输出 / 测量操作 四象限工作能力 1000 个读数内存

SMU 源能力

236,237 和 238 源测量单元(SMU)可以完全进行程控,能 够同时输出和测量电压或电流。这些设备真正实现电压源,电流源, 电压表, 电流表四种功能合一。 能够满足多种测试应用的需求, 包括 半导体器件特性分析, 漏电流测量以及绝缘阻抗测量等。 在自动测试 装置(ATE)中作为源测量设备非常实用。 236 输出电压从 100?V 到 110V,电流从 100fA 到 100mA。也 能测量此范围的电压或电流。 237提供了增强的电压源及电压测量的 能力(1100V) ,在这个高压量程,电流源和测量最大可达到10mA。 238 提供了增强的电流源和测量能力(1A) ,在这个大电流量程,电 压源及电压测量最高可达 15V。 236,237 和 238 可以设置成扫描电压或电流的模式,扫描模式有三种,线性,对 数或脉冲。 236,237 和 238 源端和测量端具有等电势保护线。可以使用 4 线或 2 线连接方 式。输出端可以浮地达± 200V。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

69

低电压/低阻测量产品
技术介绍
电压表是一种测量两点间电势差的仪表, 以 伏特为单位。 在电路中使温度梯度降至最低也可减少热电 动势。 一个减小温度梯度的方法是将所有接点放 在很接近的地方并保证与一个公共的大热沉有好 的热耦合。如果这样难以实现,就热耦合每一对 相应的不同材料的接点使它们的温差最小, 这也 有助于减小热电动势。

如何选择电压表
许多种仪器可以测量电压, 包括数字多用表 (DMM) 静电计, , 和纳伏表。 要想成功测量电压, 需要电压表的输入阻抗远远大于被测器件 (DUT)的内部阻抗 (源阻抗) 。如果不是这样, 电压表测量的电压会比接入表以前的电压更小。 静电计有很高的输入阻抗(典型在 100T? 量级 〔1014 ?〕, ) 所以他们被用来测量高内 阻的电压, DMM 和纳伏表可以测量 10M? 或更低源电阻的 电压。 纳伏电压表更适合测量低内阻的源的小电 压(毫伏或微伏) 。

Johnson 噪声
电压表能测量的电压的极限的限制是由 Johnson(热)噪声决定的。这种噪声是与电子 热运动产生的相关电压。所有的电压源都有内 阻,这就会产生Johnson 噪声。某一电阻产生的 噪声电压大小由下面的公式计算出:

图 2a 多个接地(地回路)

低电压测量
当测量较高电压时可以忽略的偏置电压和噪 声源,在低电压测量时会带来很明显的误差。固 定的偏压通常可以通过输入端短路, 然后用仪器 的回零(相对)功能来使其为零。下面几段中讨 论会影响到低电压测量的不稳定的误差源以及如 何使他们对测量的影响最小。

k= Boltzmann’s 常数(1.38 × 10-23 J/K) T =源的绝对温度 K B =噪声带宽 Hz R =源内阻 ? 从这个公式可以得知, Johnson噪声可以通 过降低温度,减小测量的带宽来减小。减小测量 的带宽相当于增加仪器的响应时间;因此,额外 增加滤波,通过增加仪器的积分时间(典型值为 电源周期的整数倍)来减小带宽。

热电动势
在低电压测量中最常见的误差源是热电动势 (热电EMF) 这是由导体的节点间温度的差异造 , 成的(如图 1) 。

地线回路
当信号源和测量仪器都连接到同一地线上 时,地线回路就形成了(如图2a) 。比如说这样 一种情况,几台仪器在不同机架上,电源插在同 一接线板上。 经常在地线上的不同点处有不同电 位。这个电位差 -- 甚至很小的 -- 就能形成电 路中很大的电流并产生不希望的电压降。 解决的 方法是将整个测量电路以一点接地。 最简单的办 法是隔离DUT (源)并且为测量系统找一个单一 的良好接地点, 如图2b。 要避免将灵敏测量线路 与使用中的其他仪器, 机械装置及大功率设备接 入同一地线系统。
图 2b 单一的系统接地

为使感应出的磁感应电压最小, 引线必须被 放置在一起并系紧以减少移动。 双绞电缆从两方 面减小磁场效应:一, 减小磁场影响的闭环区域; 二, 双绞线上相邻闭环产生的电压极性相反可以 互相抵消。 (图 3b)

低电阻测量
低电阻(<10?)最好是用加电流源测电压 的方法测量。对极低电阻(微欧或更小)或其他 有功率限制的地方, 常常要用到纳伏表。 因此, 所 有前面提到的低电压技术和误差源, 在这里都适 用。低电阻测量还多些其他的误差源。下段里介 绍使这些误差最小的方法。

图 1:热电动势 EMF

磁场
磁场能在如下两种环境下产生虚假电压 :1) 如果磁场随 时间变化,2)电路和磁场有相对运 动(图 3a) 。导体在磁场中的运动,测量系统中 的元件引起的本地的交变电流, 或磁场的有意的 变化如磁阻测量等都能产生变化的磁场。

构造电路时导体都使用同种材料可以使生成 的热电动势最小。例如,由铜的接线片或接线柱 形成铜-铜接触的结, 这样会产生最小的热电动 势。而且,结点必须清洁,未被氧化。

www.keithley.com.cn
70
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

低电压/低阻测量产品

Area A (enclosed)

DMM HI R LEAD Test Current (I)

a. Offset compensation measurement cycle One measurement cycle

I

VM

VM

Lead Resistances R LEAD

VR

RS

Resistance Under Test

On

Voltmeter B The voltage developed due to a field passing through a circuit enclosing a prescribed area is: VB = dφ dt = d (BA) dt = B dA dt + A dB dt
LO

Source Current

Thermal offset measurement

VM = Voltage measured by meter VR = Voltage across resistor Measured Resistance = Actual Resistance = VR I VM I = RS + (2 × RLEAD)
b. Voltage measurement with source current on c. Voltage measurement with source current off

= RS
VEMF V M1 IS RS VM1 RS VEMF

图 3a

磁场产生的电压 图 4a 2 线电阻测量:引线电阻误差

a.
Source Measuring Instrument

DMM or Micro-ohmmeter Source HI Sense HI RLEAD RLEAD Test Current (I)

VM1 = VEMF + IS RS

VM2 = VEMF

VM = (VM1– VM2 ) = IS RS
Sense Current (pA)

图 5a
I VM VM Lead Resistances VR RLEAD RLEAD RS Resistance Under Test

偏置补偿法减去热电动势 EMFs
a. Measurement with Positive Polarity

b.

Sense LO

Source LO

VEMF IS RS VM+

Source

Measuring Instrument

VM = Voltage measured by meter VR = Voltage across resistor Because sense current is negligible, V M = VR and measured resistance = VM I = VR I

图 3b

用双绞线使磁场的干扰最小

图 4b

4 线电阻测量
VM+ = VEMF + IS RS b. Measurement with Negative Polarity

引线电阻和四线方法
在常用范围(>10?)的电阻测量时常用如 图 4a 所示的两线方法。两线方法对于低电阻 (<10?)测量的主要问题是引线电阻带来的误 差。 仪表所测的电压是通过测试电阻的电压与通 过引线的电压降之和。 典型的引线电阻在1m?到 100m?之间。 因此, 如图4b所示的四线 (Kelvin) 连接方式更适合低电阻测量。在这种配置下,测 试电流通过一对引线加到被测器件上, 同时电压 由另外一对引线测量,称为感应(sense)引线。 这里流经感应引线的电流非常小, 所以感应引线 的电阻就被有效地消除掉了。

1)偏置补偿技术(图 5a) 是在部分周期加测量电流到被测电阻上。当 电流源加上时,仪器测量的总电压是电流引 起的电压和所有的电路中存在的热电动势的 总和。 在测量周期的另一半, 电流源关断, 就 只测到由热电动势引起的电压。这部分不需 要的偏置电压就可以从前半周期测量的电压 中减去。 2)电流反向技术 /Delta 法(图 5b) 热电动势也可以通过测量两个反极性测试电 流的电压来消除掉。测试电流形成的电压可 以用图5b 所示的公式计算。这种方式有更好 的噪声抑制,因此,比偏置补偿技术有更好 的精度。 (这种方式用 2182 型纳伏电压表和 2400 型数字源表配合完成。 ) 执行这些方式时, 连续的测量与被测电路变 热的时间常数相比需要更快。如果仪器响应速度 太低,在测量周期内的温度变化会造成热电动势 的变化,这样就造成热电动势不能完全被消除。

VEMF IS RS VM–

VM– = VEMF – IS RS VM = VM+ – VM– 2 = IS RS

热电动势 EMF
热电压会严重地影响低电阻测量的精度。 由 于已知电阻测量涉及控制电流通过被测器件, 所 以这里有两种在低阻测量时提到方法以外的克服 这种误差的方法, 称为偏置补偿欧姆法和电流反 向方法。

图 5b

电流反向法消除热电动势 EMFs

干电路测试
在测量涉及接触电阻测量的应用中, 需要保 证已存在的氧化层不被击穿。 这点可以通过限制 测试电流小于 100mA 及通过样品的电压降不超 过 20mV 来实现。大多数低阻表都内置有“干电 路”测量功能。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

71

低电压/低阻测量产品

低电压 / 低电阻测量 仪器选择指南
型号
电压量程 1 (满量程) 噪声 电阻 1 (满量程) 温度 (热电偶)
输入连接 特性

1801 + 2001 或 2002
20 ?V 到2 mV 0.12 rms nV 2 m? 到200 ? –200°C到1820°C
铜 多功能 温度, I EE48 E - 8

2182
10 mV 到100 V 1.2 rms nV
2

–200°C到1820°C
特殊低热电势的铜 DELTA模式 模拟输出, IEEE-488, RS-232 是

CE
1



数字分辨极限,可能有噪声加入。 2 Delta 模式,用外部电流源补偿电压偏移量。

www.keithley.com.cn
72
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

低电压/低阻测量产品

2182 纳伏表
● ● ● ● ●

快速且极低噪声 Delta 模式测量 与电源同步 双通道输入 直接读出比率

2182 纳伏表比早期型号的纳伏表或者灵敏的数字多用表具有更低噪声。而且,它设计 用于通过反转极性测试方法来测量低阻材料或器件, 并对低噪声测量速度进行了优化。 结果 2182 纳伏表不仅噪声极低,而且在实际测量中速度很快。换句话说,测试速度快于样品的 热平衡时间常数。 这样使它比数字多用表或早期纳伏表更适合去研究、 计量和做极低电压测 试。与任何别的纳伏表相比,它不但价格便宜,而且用作灵敏I-V 测试的时候提供了与外部 精密电源之间协调工作的控制功能,而不需要外接计算机。

该图显示 2182 纳伏表、182、nV/?? 计的噪声参数。所有的数据是在输入端用低热电势短路 头短路时以每秒 10 读数情况下得到的。

www.keithley.com.cn
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

73

低电压/低阻测量产品

1801 纳伏前置放大器( 2001 或 2002 数字多用表选件)
● ● ● ● ● ●

<600pV p-p DCV 噪声 10nV/ 天电压稳定度 10G? 隔离和 175dB CMRR 500?s 到 10s 上升时间 斩波式设计,消除闪烁噪声 与 2001 或 2002 配合扩充低 电压测试量程和灵敏度

1801 纳伏前置放大器与 2001 或2002 数 字表配合使用, 构成最灵敏的室温下可用的低 电压、 低阻测量仪表, 只有0.6nVp-p 噪声。 而 且它还适于极低交流电压、四线电阻、频率 / 周期和温差的测试应用。它把测量 2001 和 2002 数字多用表的低电平测量量程和电压灵 敏度向下延伸了1000倍。 1801通过仪器后面 板插槽来连接前置放大器部分与数字表系统, 这样既可与数字表机箱内的电噪声环境隔离,又可充 分利用数字表灵活的用户操作界面, 测量和显示功能。

www.keithley.com.cn
74
A GRE ATER MEA SURE OF CONFIDENCE

数据采集产品
技术介绍:PCI, ISA, PCMCIA 总线插卡
选择一个合适的数据采集产品
模拟输入
精度(位)的选择 数据采集的模拟输入信号的指标包含很多的 参数。最为普通的是模数转换 (ADC) 中的精度 (位)。这个指标时常被应用到系统能检测到的最 小信号变换。例如,模拟信号数据采集器有 12bit 的转换能力,量程为 0 到 10 伏,这时采集器 随输入电压的变化即10V/4096(12-bit)=2.44mV。 虽然这是数据采集器真实的最小分辨率, 但用户 可以选择合适量程以优化显示。 举例来说,在热电偶测温的应用中,一种每摄 氏度有 10?V 电压输出的热电偶

相关文章:
吉时利2701实例
吉时利2701实例_机械/仪表_工程科技_专业资料。KEITHLEY 2701 摘要 2701 是一台...同时 2701 又是一台将高灵敏的数字万用表与开关 箱结合为一的数据采集产品,...
吉时利2000型数字多用表说明书-中文
吉时利 2000 型数字多用表说明书 打印版本 以下所列的打印版本清单列出了所有的...产品用户类型: 负责人:对设备使用与维护负责的个人或团队,确保按说明操作 设备...
吉时利3390
新兴测量需求解决方案领导者美国吉时利(Keithley)仪器公司,日前发布推出了 3390 型 50MHz 任意波形/函数发生器, 该发生器在市场同类产品中具有最高的波 形分辨率和...
附录2:IC知名厂商详细资料
输入产品前缀 查找 Isocom Incorporated ISSI ITT 德国 ITT 半导体公司 IXYS 共查到字母 K 开头的厂商 3 家,显示如下: Kawasaki LSI KEC 韩国电子公司 KEITHLEY ...
合肥联诚测控科技有限公司产品选型手册
产品型号 配套设备 多通道数据采集器 采集卡 PR120 型 PR200 —●●○○— 5 1/2 显示 PR120-1 型 KEITHLEY2700 KEITHLEY7700X2 ●●○○● 6 1/2...
硬件可靠性测试标准(20100217)
测试仪器:CMU200, PC 机,Keithley 电源 4. 测试方法: 打开 skyworks 软件,...判定标准:待测机音质优于其他公司同类产品,在环境噪声高于 50db 时,测试人员...
2600系列数字源表,用于半导体测试
它们还具备更高的源测量通道密 度并且比同类产品显著地降低了使用成本。专利的...这些 I/O 线也兼容 Keithley 较早 的 Trigger Link 仪器触发技术。这些线路...
仪表堂与仪器设备知识库_图文
? 仪表堂和仪器设备知识库的关系产品参数比对、资料查看、精准查询、信息查看、...//www.keithley.com.cn http://www.rohde-schwarz.com.cn http://www.bk...
ZC-90系列高绝缘电阻测量仪说明书
ZC-90G 的高阻测量范围及微电流测量灵敏度达到了 KEITHLEY 6517A( 世界名牌产品 )的最 高水平, 两者主要技术性能对比如下: 项目 电阻测量范围 电流测量范围 ...
美国阀门大全
NelesMoore—美国慕尔产品公司 MOGAS 美国默科思工业公司 Masoneilan( 美国 梅索尼兰 ) 阀门系列产品 Limitorque 电动执行机构 LESLIE(莱斯利)KEITHLEY—美国吉时利仪器...
更多相关标签: