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ESO设备安全查核训练


工程师安全教育训练系列之

ESO设备安全查核训练课程
苏州环安部
2010.12.29

AUO Proprietary & Confidential ? 2010 AU Optronics Corporation – Proprietary and Confidential

Agenda
? 引言 ? Sign-Off制度简介

? Level 1 查核
? Level 2 查核 ? Level 3 查核 ? 常见查核缺失与重点

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引言——落实sign-off可避免下列意外事件
? 因设备厂商在机台端排气未标示排气种类导致hookup厂商配错排气管路(酸排→
碱排),使制程废气未处理排放至大气中。

? 24hr氮气保压、测漏以避免因管路焊道不佳,化学品/气体从焊道上的砂孔外泄,
化学品管路仍需保压测试。
标准管路焊道表面光 滑平整,无任何砂孔 。 焊道过深,管路强度减弱。

焊道砂孔为泄漏点。

? valve box相关阀件在氮气flush时应先行测试,以避免送气后发生阀件无法调压
或关闭之状况。

? 多次发生机台设备工程师、厂务hookup工程师在送酸前未确认管路衔接工程是
否完成,进行tool release时确认所有管路是否完成衔接作业

? 化学及气体管路因赶工而忽略相关管路标示导致配错管路。
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Sign-off制度简介

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设备请购流程
洽谈规格
–AUO机台设备安全规范 –Guarantee Letter –相关证明文件list 设备工程师

PR
– Guarantee Letter

设备工程师

tool safety review meeting
–vendor简介机台并说明安全设计 –相关证明文件完整性讨论

设备工程师 corp. & site ESH

PO

设备工程师

厂验
–确认是否符合AUO机台设备安全规范

设备工程师 corp. & site ESH 设备工程师 site ESH 设备工程师 site ESH

装机sign-off查核
–EQ 3 stage sign-off checklist

?项目式查核
(ex. small tool safety review)

tool release前验机
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?MOC

- 确认是否符合安全规范 - safety interlock功能测试 ? 2010 AU Optronics Corporation – Proprietary and Confidential

执行ESO目的
确保装机完 成,符合法 规要求; 避免装机时 或后续发生 事故/隐患。

ESO Equipment Installation Sign-off

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适用范围
一、 使用110V以上电源之机台设备;
(除工作桌、个人电脑、临时电器设备、检测设备、施工设备等)

二、使用制程危害物质(Hazardous Process Material-HPM)
(国内称之为危险化学品之设备。)【除CDA&水之外的所有液/气体】

三、移机之设备,厂务Hook-up; 四、 自动化/仓储系统。 五、 具有其它特殊危害之设备。

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权责
设备装机负 责工程师

?完成设备安全查核表单查核。 ?追踪厂务查核缺失改善。 ?完成设备查核缺失改善。 ?完成各项签核流程。

厂务部门

?完成厂务安全查核表单查核。 ?提供各项签核所需资料。 ?完成厂务查核缺失改善。

ESH

? 稽核各阶段之检查执行状况。 ? 确认、核可各阶段之查核已完成。 ? 协助供应特殊气体、化学品前安全确认。

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查核时机
送电/测试/供应非制程危 害物质前需完成一阶段。
Level-1





CDA

供应制程危害物质前完成 第二阶段。
Level-2

设备移交制程或制造前需 完成第三阶段。
Level-3
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Training

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缺失分类说明
一、 A类:风险特别高,若不符合及易造成严重危 害,未改善前不可送电/送气/使用学品; 二、B类:风险较高,若不符合佷可能造成危害,未 提出改善对策前不可送电/送气/使用化学品;

三、C类:风险一般,若不符合不会影响第一、二阶段的装机安全查 核之进行; (B类及C类项目缺失及不符合项目,须于机台交机前修改完成;)

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流程
Move-in前由EQ提出 至ESH & FE

步骤查核项目
1、装机安全查核证明; 2、施工状态表

备注
1.设备工程师向厂务提出装机之电、气 等需求,从环安领取表单;
2.于机台张贴查核证明; 1.FE完成厂务端供电、气、水;

装机前
FE进行Hookup工程 EQ装机测试
NO EQ Level-1 Check

(表单贴至现场)

查 核 项 目 改 善

1、ESO Level-1 Check-FE; 2、ESO Level-1 Check-EQ;

2.各系统管理二次配检查表;
3.Turn on 有害能量、辐射、镭射前 需完成所有Level-1查核;

Level-1

EQ提供机台操作 手册
NO EQ Level-2 Check

查 核 项 目 改 善

1、ESO Level-2 Check-FE; 1、ESO Level-2 Check-EQ;

1.EQ提出申请并完成签核;

Level-2

EQ机台测试 SOP建立
NO EQ Level-3 Check

查 核 项 目 改 善

1.资料包含各保养规范及测试资料; 1、ESO Level-3 Check 2.Level-3查核完毕后,各项数据、窗体 送交环安部存查;

移交制造/制程

Level-3
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步 骤
设备Move In/装机前:

EQ须提出装机需求至FE & ESH,并于机台定位后张贴
【查核证明】&【施工状态表】;

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第一阶段查核/Level-1:

一. 消防设施

四. 电气接线、标示

重点1 二. 逃生方向 三. 维修空间

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五.
Interlock、 EMO设置

八. 其它相关 安全设施

重点2 六. 管路标示 七. 危害警告标 示 ( 中 / 英)
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步 骤
【厂务部分】: A B C D 各厂务系统供应非HPM前完成二次配管路查核; 完成电盘至设备端的接电,并符合Level-1之要求; 完成消防设施的各项安全要求; 厂务在领取表单后,于Hook-Up时开始自行填此表单。

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【厂务部分】

A、厂房及建筑物的消防设备

1、建筑消防设施是否上线? 2、自动撒水系统经过测试功能是否正常? 3、是否在机台前后的走道上的天花板均装置撒水头以 涵盖整个机台? 4、厂务火警警报探测器(侦烟/侦温探测器)是否经过测 试且功能正常?

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B.电气系统

1.厂务相关电源线路由分电盘至机台端之联机及连接点正 确? 2.供应电盘端己标示使用机台、附属设备编号与机台主开 关位置. 3.机台端电源标示包含位置、供应盘位置、供应回路编号, 以及电盘开关编号和电压.插座都标示有breaker编号及 电盘编号。 4.接地?紧急电力? 设备标示正确否? 5.各管路的空间、标识(走向)是否完善? 6.管路保压是否完成?
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步 骤
【设备部分】: A 设备连接端各标示须和电盘保持一致;
B EMO&Interlock的设置是否涵盖整个操作区域; C Turn on有害能量/辐射/激光等之前,须完成所有Level-1检查; D 设备应在自行安表单要求装机的同时,关心厂务部分进展及安全要求。

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A.一般事项
1. 所有相关管路源头与衔接点,且于转 弯点及穿墙前加管路标示清楚。 2. 非HPM之管路于使用前是否经过饱压或 测漏测试确认管路无泄漏之疑虑?

B.净空
1. 主机台正面操作区及主信道宽度 须有一公尺。 2. 机台及相关附属设备之维修信道 宽度至少须有80公分。 3. 机台维修空间须足够电盘或控制 盘门完全开启。
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C.电气系统(EQ)
1. 若有接UPS之设备,UPS是否正确标示出其所 支持的机台? 2. 机台及厂务电盘上方若有可能的泄漏源,电 盘是否做好必要的保护措施? 3. 电线管理是否适当? 如避免绊倒、拉扯电线, 及维持良好的整洁。 4. 有湿式制程或电气组件相当有可能接触到液 体之机台,是否有漏电断路器装置,且此装 置是否有合格认证?
5. 易燃物品及设施:相关设备装于危险区或电气相 关组件暴露于易燃物之雾气中,其电气用品应为 防爆型。

漏电断路保护

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D.紧急停机装置

1、EMO是否有适当中英文标示? 2、EMO的设置是否覆盖整个操作区域?

3、EMO切断此系统电力供应时是否含设备附属UPS?
4、若己安装EMO 防护盖,此设置于紧急情况时仍可以掌握 跟压按?

5、确认EMO 复归后不会重新激活此设备?

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E.有害能量与防护
1.所有机械危害之防护及标示适当否(中、英文标示)? (挤压收缩、 切断、移动、往复运动) 2.所有机械臂移动范围适当围篱且有防护? 3.高低温危害防护及标示适当否(温度大于60℃之热表面、冷冻剂)。 4.电气危害之防护及标示适当否? (直流电>50伏特、交流电>30伏特) 己确认之危害位置Identify hazard locations: (之前相同机台己查核此项者可免填,资料见机台名称 ) 机械危害Mechanical hazards: 热危害Thermal hazards: 其它危害Other hazards:
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F.雷射
1、雷射分类等级: All laser classes: Class ______ 注1:Class 1 指正常操作下有雷射发生但不造成伤害性。 注2:3b 之雷射若眼睛直视会造成伤害。包括反射光之光束,正常 状况下,3b雷射之扩散光不会造成伤害。 注3:分类4之电射不但直视及反射光会造成伤害。而且扩散光亦会 造成伤害.此类电射可能会造成皮肤如冋火灼伤之危害。 2、电射系统己由机台制造商确认符合相关国际标准,且在此机台 外侧有明颢的合格标示 3、雷射光源附近己加防护外罩,张贴危险警示标帜。 5、所有与雷射相关之安全联锁皆功能正常? 6、己降低窗口孔之雷射危害等级至Class 1 以下?

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F.雷射
7、有使用分类3b或4之雷射否? 若有完成下列问题: a.密闭性 b.安全联锁.包括电力供应. c.防护区己告示 d.提供锁匙控制之开关 e.可拆缷之维修控制仪表板亦有安全联锁。 f.人员接触分类3b或4 之电射作业时,机台本身是否 有防护屏障或人员有配戴防护器具或有雷射剂量监控。 g.警示系统己运作否? h.有开放性光束暴露之可能性时,雷射区己公告成管 制区域? i.己指定且使用适当光学密度之眼部防护具? j.员工操作开放性光束己接受安全使用训练?
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G.辐射
1.是否有放射源? (如果有的话,请与ESH单位联络) 2.所有与辐射相关之安全联锁皆功能正常? 3.辐射相关警告标示己张贴完成? 4.辐射必要之阻绝挡板皆设置正常?紫外光源 5.如果有害的存在的话,此光源是否被隔绝或以安全连 销防护? 6.RF/微波源是否己被鉴定并标示? 7.RF是否接地?
60° 60° R 1.5R 5R

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步 骤 Level-2:
(未使用化學危險物品,不需進行Level-2的查核)

厂务: A 提供气体/化学品需求确认单所需资料; B 完成气体/化学品供应所需要求。

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Level-2:

设备: A 提出气体/化学品需求单; B 完成气体/化学品需求确认单签核流程;

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【厂务部分】

A、开孔等均已做好防火填塞; B、洗眼器的设置,并加以标示; C、有无侦测及ERC监控; D、机台之消防设备是否完善; E、通风、排气系统是否完善;

F、化学废液、废弃物质处置是否得当; G、气体化学品传送系统是否完善;
防火填塞 消防设施 废弃处理
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管路侦测

传送系统
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【设备部分】
A、机台操作或维修? 若是,这些局限空间之入口是否有标示? B、机台之消防设备,并联至ERC; C、安全相关之连锁装置是否完善; D、个人防护装备有无配备齐全; E、通风、排气有无完善; 应急措施 F、MSDS及应急设施; 个人防护 连锁装置 消防设备
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步 骤 Level-3:

设备: 完成设备各项SOP的建立,其SOP及附带 表单中须包含Level-3中所规范的内容要求。

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Level-3 查核重点

相关人员已受教育训练

设备安全保养(PM)程序

各阶段查核缺失及不符合项目 已改善完成

设备安全操作(Operation)程序

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Level-3 查核项
1. 所有LEVEL 1、2待改善项目均经工安工程师签名确认完成? 2. 员工已接受个人防护用具的训练,包含使用方式与挑选合适的 个人防护用具? 3. 员工已接受危害通识训练?包含各化学品之危害及标示方式? 4. 物质安全资料表备置于现场?

已建立操作保养规范?
? ? ? ? 与机台操作保养相关的特殊危害讯息已纳入操作保养规范之中? PM规范文件已明确定义所有必要之上锁或标示事项? 操作保养规范有明确定义穿戴之个人防护具(PPE)? 操作保养规范有适当说明紧急停机开关(EMO)和安全联锁之功 能?

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5、保养规范有明订以下要求: 紧急停机开关(EMO)和安全联锁至少一年测试一次,或当 维修过程使紧急停机开关(EMO)和安全连锁失效时需重新 测试? 6、操作保养规范有明订机台紧急关机程序、第一时问点应变程 序及其它紧急应变措施(如泄漏处理,停电处理等)? 7、辐射机台之PM规范包括辐射泄漏检测,至少一年一次,或护 盖被移走或连锁装置失效时作测漏? 8、员工已接受个人防护用具的训练,包含使用方式与挑选合适 的个人防护用具?

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9、是否有抽风系统失效警报之紧急应变程序?

10、维修保养操作规范是否已建立有电之作业程序?
如有程序书是否包括下列项目: a.最高潜在危害类型; b.降低潜在危害类别的步骤? c.哪些危害类型已被降低(指有电作业时的危害)

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最终之查核…

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常见查核缺失与重点

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Sign-off查核常见缺失-管路篇

开口过大需加护盖防护

Exhaust上缺少标示

不必要之标示需移除

管路开孔应密封!

管路施工不确实(如双 套管、exhaust管等)
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管路材质错误

Sign-off查核常见缺失-安全警告标识篇

机台外观无任何危害警告标示 但事实上里头有robot机械夹伤和电气危害
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Sign-off查核常见缺失-防护不足篇
Area sensor防 护区不足

高架作业需有防坠措施 虽维修门有 interlock, 但人员可能 由下方钻入 Breaker 端 子及碍子无 绝缘防护

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Sign-off 查核常见缺失-EMO/安全联锁篇

EMO盖过高(中文化)

EMO无法断电
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Sensor &Interlock不完善
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Sign-off 查核常见缺失-消防及其他篇

阻挡安全指示标识

使用化学品机台防爆 电器不全

维修空间狭窄

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